一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱的制作方法

本发明涉及sic功率模块领域，尤其是涉及一种半导体制程设备全自动氮气无氧化固化炉烘箱。

背景技术：

1、半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。半导体在制备过程中，经常需要通过全自动无氧化烘烤箱进行加工。

2、目前，现有的全自动无氧化烘烤箱需要多人进行进料、加热和出料步骤，如此，增加人工劳动力，耗时较长，降低工作效率。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，克服了现有技术的不足。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，包括箱体，所述箱体内分别安装有四组加热炉和四组冷却炉，所述冷却炉与加热炉内部结构相同，所述加热炉安装在冷却炉前端，且四组加热炉与冷却炉分别通过对接通道相连通，所述冷却炉与加热炉一侧的侧壁上均安装有气动门，所述箱体上安装有升降机构，所述升降机构上安装有输送机构，且输送机构位于对应的气动门位置设置。

3、通过采用上述技术方案，在使用时，产品自动流入输送机构上，通过输送机构来对产品进行运输，并且，打开气动门，来使产品进入到加热炉内，自动启动板式加热组件，加热炉就会对产品自动进行产品加热，当产品加热固化完成后，再通过输送机构将产品进行氮气冷却，冷却好后自动运输出来，再通过升降机构来使输送机构程控运动，精准自动运行，对接配方中任意通道，当输送机构移动到冷却炉的位置时，将冷却炉上的气动门打开，再通过输送机构将产品运送到冷却炉内，冷却时间到达后，再打开冷却炉自动门，来对产品进行自动下料，再通过输送机构将产品从冷却炉移出即可，通过上述结构可以自动来对产品进行上料、加热和冷却加工，不需要多人进行手动操作，如此，减少人工劳动力，节约时间，提高工作效率。

4、作为本发明的一种优选技术方案，所述加热炉与冷却炉内均安装有氮气集气盒，所述加热炉内安装有发热板机构，且发热板机构位于氮气集气盒下方位置，确保所加工产品位于中间，产品精准输送到板式加热器上方，板式加热器顶起，托住产品固化，固化自动计时，时到板式加热器气动下降，产品自动放到插件输送链上自动流入氮气冷却炉，位于所述氮气集气盒下方位置的加热炉与冷却炉内均安装有插件输送链，所述加热炉与冷却炉顶端均安装有氮气进气接头。

5、通过采用上述技术方案，通过氮气进气接头来将氮气排入到加热炉和冷却炉内，来对产品进行冷却，同时，加热炉内的发热板机构可以对产品进行加热，并且，通过插件输送链可以对产品进行输送，氮气集气盒可以对氮气进行均匀保护产品不被氧化，从而保证产品优良性。

6、作为本发明的一种优选技术方案，所述加热炉与冷却炉一侧的侧壁上安装有用于调节输送插件线宽窄的调整手轮。

7、通过采用上述技术方案，通过调整手轮或伺服电机来对输送插件的线宽窄进行调节，来满足不同条件下的需求。

8、作为本发明的一种优选技术方案，所述加热炉与冷却炉一侧的侧壁上均安装有可视窗。

9、通过采用上述技术方案，方便对加热炉和冷却炉内部进行观察。

10、作为本发明的一种优选技术方案，所述箱体正面的侧壁上均匀等距的安装有若干个活动封板，所述箱体正面的侧壁上分别安装有触摸屏、加热段氮气流量计、操作面板和冷却段氮气流量计。

11、通过采用上述技术方案，通过触摸屏和操作面板对箱体内部进行控制，并且，通过加热段氮气流量计和冷却段氮气流量计对氮气进行监控并防呆，缺气，少气自动警报，触屏画面提示，mes数据管控。

12、作为本发明的一种优选技术方案，所述活动封板的侧壁上安装有过滤网。

13、通过采用上述技术方案，对外界的灰尘进行过滤。

14、作为本发明的一种优选技术方案，所述箱体两侧对称的侧壁上均安装有光栅。

15、通过采用上述技术方案，用于信息传递。

16、作为本发明的一种优选技术方案，所述箱体底端均匀等距的连接有若干个活动脚轮和支撑脚杯。

17、通过采用上述技术方案，方便对箱体进行支撑和移动。

18、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

19、本发明通过设置箱体、加热炉、冷却炉、对接通道、气动门、升降机构、输送机构、氮气集气盒、铝质，铜质发热板机构、输送插件、氮气进气接头、调整手轮和可视窗等结构，通过输送机构来对产品进行运输，并且，打开气动门，来使产品进入到加热炉内，再启动加热炉，加热炉就会对产品进行加热加工，当产品加热完成后，再通过输送机构将产品运输出来，再通过升降机构来使输送机构向上运动，当输送机构移动到冷却炉的位置时，将冷却炉上的气动门打开，再通过输送机构将产品运送到冷却炉内，再打开冷却炉，来对产品进行冷却加工，当产品加工完成后，再通过输送机构将产品从冷却炉移出即可，通过上述结构可以自动来对产品进行上料、加热和冷却加工，不需要多人进行手动操作，如此，减少人工劳动力，节约时间，提高工作效率，且一机多用，软件实现保留一组通道直通，其它通道任意正常生产，真正实现配方输入，完全无人化生产，固障时，尾料时均通过机器本身软件程序实现自动一键清料。

技术特征：

1.一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内分别安装有四组加热炉(2)和四组冷却炉(3)，所述冷却炉(3)与加热炉(2)内部结构相同，所述加热炉(2)安装在冷却炉(3)前端，且两组加热炉(2)与冷却炉(3)分别通过对接通道(4)相连通，所述冷却炉(3)与加热炉(2)一侧的侧壁上均安装有气动门(5)，所述箱体(1)上安装有升降机构(6)，所述升降机构(6)上安装有输送机构(7)，且输送机构(7)位于对应的气动门(5)位置设置。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，其特征在于：所述加热炉(2)与冷却炉(3)内均安装有氮气集气盒(8)，所述加热炉(2)内安装有自动程序控制发热板机构(9)，且发热板机构(9)位于氮气集气盒(8)下方位置，位于所述氮气集气盒(8)下方位置的加热炉(2)与冷却炉(3)内均安装有输送自动可调宽窄机构(10)，所述加热炉(2)与冷却炉(3)顶端均安装有氮气进气接头(11)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，其特征在于：所述加热炉(2)与冷却炉(3)一侧的侧壁上安装有用于调节输送插件(10)线宽窄的调整手轮(12)。

4.根据权利要求2所述的一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，其特征在于：所述加热炉(2)与冷却炉(3)一侧的侧壁上均安装有可视窗(13)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，其特征在于：所述箱体(1)正面的侧壁上均匀等距的安装有若干个气动活动封板(14)，所述箱体(1)正面的侧壁上分别安装有触摸屏(15)、加热段氮气流量计(16)、操作面板(17)和冷却段氮气流量计(18)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，其特征在于：所述活动封板(14)的侧壁上安装有过滤网(19)。

7.根据权利要求5所述的一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，其特征在于：所述箱体(1)两侧对称的侧壁上均安装有安全光栅(20)。

8.根据权利要求7所述的一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，其特征在于：所述箱体(1)底端均匀等距的连接有若干个活动脚轮(21)和支撑脚杯(22)。

技术总结
本发明公开了一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，属于SiC同IGBT功率半导体工业模块技术领域，包括箱体，箱体内分别安装有四组氮气加热炉和四组氮气冷却炉，冷却炉与加热炉内部结构相同，加热炉安装在冷却炉前端，且每组加热炉与冷却炉分别通过所对接平行通道的气动门自动连通，冷却炉与加热炉一侧的侧壁上均安装有气动门，箱体进出料口安装自动上下料机构，升降机构上安装有自动对位输送机构。本发明克服了现有技术的不足，通过设置加热炉、冷却炉、升降机构、输送机构、发热板机构和输送插件等结构之间的相互配合可以自动来对产品进行上料、加热和冷却加工，不需要多人进行手动操作，如此，减少人工劳动力，节约时间，提高工作效率。

技术研发人员：龙积强
受保护的技术使用者：东莞市三仓机械有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/11/18