立式热处理设备的制作方法

本发明属于太阳能光伏电池生产设备领域，更具体地说，是涉及一种立式热处理设备。

背景技术：

1、随着全球对可再生能源需求的不断增加，太阳能光伏产业得到了快速发展。其中，立式炉体设备可以实现对硅片进行特定的镀膜、扩散、氧化和薄膜沉积等工艺。

2、在现有的立式炉体中，通常采用单个传输装置直接传动的方式对立式舟进行传输和吊装。例如专利文献cn114203611 a中，由一个石英舟取放装置用于带动石英舟在缓存架、反应腔室和翻舟装置之间进行转移；具体而言，石英舟取放装置包括移动轨道组件、机械手和夹取组件，夹取组件与机械手相连，机械手安装在移动轨道组件上，移动轨道组件用于带动机械手沿移动轨道组件来回移动以实现带动石英舟在缓存架、反应腔和翻舟装置之间进行转移，夹取组件用于实现夹紧石英舟。该方式传输行程长，使装置长时间进行承载作业导致其变形，同时长行程也对设备空间提出了较高的要求，对工作人员的操作维护带来了极大的不便性。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种立式热处理设备，实现分段式进行上下料，每一段传输装置的传输行程较短，使其能够在较短时间内完成作业，降低其对强度的要求，减少变形，同时有利于提高设备空间的利用率。

2、为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

3、提供一种立式热处理设备，其特征在于，包括：立式炉体、暂存冷却部和分段式上下料结构；其中，所述分段式上下料结构具有第一段传输装置和第二段传输装置；

4、所述第一段传输装置位于所述立式炉体的下方，用于将立式舟送入或送出所述立式炉体；

5、所述第二段传输装置用于带动立式舟在所述暂存冷却部与所述第一段传输装置之间进行转移。

6、进一步，所述第一段传输装置包括：

7、第一水平导轨，位于所述立式炉体的下方，所述第一水平导轨的一端处于所述第一段传输装置与所述第二段传输装置的舟转移区；

8、第一支撑部件，滑动设置在所述第一水平导轨上，用于支撑立式舟；

9、第一驱动部件，用于驱动所述第一支撑部件在所述第一水平导轨上移动；

10、顶升移动部件，连接于所述第一水平导轨，用于带动所述第一水平导轨和所述第一支撑部件沿竖直方向运动以将立式舟送入或送出所述立式炉体。

11、进一步，所述第二段传输装置包括：

12、第一升降导轨，位于所述立式炉体的一侧，所述第一升降导轨的一端处于所述第二段传输装置与所述第一段传输装置的舟转移区；

13、第一机械手结构，滑动设置在所述第一升降导轨上，所述第一机械手结构具有第一挂取部件和水平移动部件，所述第一挂取部件设置在所述水平移动部件上并用于挂取立式舟，所述水平移动部件用于带动所述第一挂取部件沿水平方向运动以将立式舟送入或送出所述暂存冷却部；

14、第二驱动部件，用于驱动所述第一机械手结构在所述第一升降导轨上移动。

15、进一步，所述第一段传输装置包括：

16、第二机械手结构，具有竖立设置的第一级传输部件和第二级传输部件，所述第一级传输部件沿竖向方向的舟传输路径与所述第二级传输部件的舟传输路径至少部分重叠，且所述第一级传输部件与所述第二级传输部件配合沿竖向方向分段传送立式舟，以将立式舟送入或送出所述立式炉体；

17、移动平台，连接于所述第二级传输部件，用于带动所述第二级传输部件沿水平方向移动，以将立式舟在所述第二级传输部件与所述第二段传输装置之间进行转移。

18、进一步，所述第一级传输部件包括：

19、第二升降导轨，设置在立式炉体的下方，且位于所述第二级传输部件的一侧；

20、升降支撑架，滑动设置在所述第二升降导轨上；

21、第二水平导轨，设置在所述升降支撑架上；

22、第二支撑部件，滑动设置在所述第二水平导轨上，用于支撑立式舟；

23、第三驱动部件，用于驱动所述升降支撑架在所述第二升降导轨上移动，以将立式舟送入或送出所述立式炉体；

24、第四驱动部件，用于驱动所述第二支撑部件在所述第二水平导轨上移动，以承接所述第二级传输部件上的立式舟或将立式舟转移至所述第二级传输部件。

25、进一步，所述第二级传输部件包括：

26、第三升降导轨，设置在立式炉体的下方，且在竖向方向低于所述第二升降导轨；

27、第二挂取部件，滑动设置在所述第三升降导轨上，用于挂取所述立式舟；

28、第五驱动部件，用于驱动所述第二挂取部件在所述第三升降导轨上移动。

29、进一步，所述第二段传输装置包括彼此并列设置且传输方向相反的进舟传输通道和出舟传输通道，所述进舟传输通道和出舟传输通道的部分传输路径对应于所述暂存冷却部；

30、所述移动平台设置在所述进舟传输通道与所述出舟传输通道之间，用于带动所述第二级传输部件沿水平方向移动，以将立式舟在所述第二级传输部件、所述进舟传输通道与所述出舟传输通道之间进行转移。

31、进一步，所述立式炉体包括共同围成加热腔室的外炉体、内炉体以及下炉门，所述加热腔室内设有用于挂放多个立式舟的舟支撑架。

32、进一步，所述立式炉体还包括分别设置在所述下炉门上的转动卡盘和第六驱动部件，所述第六驱动部件连接于所述转动卡盘，用于带动所述立式炉体整体进行旋转，使所述舟支撑架上的部分个挂放位对应于所述第一段传输装置。

33、进一步，所述分段式上下料结构每次传送两个立式舟。

34、与现有技术相比，本发明提供的立式热处理设备的有益效果在于：通过立式热处理设备中设置有分段式上下料结构，避免了直接由单个传输装置进行上下料的过长行程问题，使得每一段传输装置的传输行程较短，便能够在较短时间内完成作业，降低其对强度的要求，减少变形，同时有利于提高设备空间的利用率。

技术特征：

1.一种立式热处理设备，其特征在于，包括：立式炉体、暂存冷却部和分段式上下料结构；其中，所述分段式上下料结构具有第一段传输装置和第二段传输装置；

2.如权利要求1所述的立式热处理设备，其特征在于，所述第一段传输装置包括：

3.如权利要求1或2所述的立式热处理设备，其特征在于，所述第二段传输装置包括：

4.如权利要求1所述的立式热处理设备，其特征在于，所述第一段传输装置包括：

5.如权利要求4所述的立式热处理设备，其特征在于，所述第一级传输部件包括：

6.如权利要求5所述的立式热处理设备，其特征在于，所述第二级传输部件包括：

7.如权利要求4-6任一项所述的立式热处理设备，其特征在于，所述第二段传输装置包括彼此并列设置且传输方向相反的进舟传输通道和出舟传输通道，所述进舟传输通道和出舟传输通道的部分传输路径对应于所述暂存冷却部；

8.如权利要求1所述的立式热处理设备，其特征在于，所述立式炉体包括共同围成加热腔室的外炉体、内炉体以及下炉门，所述加热腔室内设有用于挂放多个立式舟的舟支撑架。

9.如权利要求8所述的立式热处理设备，其特征在于，所述立式炉体还包括分别设置在所述下炉门上的转动卡盘和第六驱动部件，所述第六驱动部件连接于所述转动卡盘，用于带动所述立式炉体整体进行旋转，使所述舟支撑架上的部分个挂放位对应于所述第一段传输装置。

10.如权利要求1所述的立式热处理设备，其特征在于，所述分段式上下料结构每次传送两个立式舟。

技术总结
本发明提供了一种立式热处理设备，其包括立式炉体、暂存冷却部和分段式上下料结构；分段式上下料结构具有第一段传输装置和第二段传输装置；第一段传输装置位于立式炉体的下方并用于将立式舟送入或送出立式炉体；第二段传输装置用于带动立式舟在暂存冷却部与第一段传输装置之间进行转移；通过立式热处理设备中设置有分段式上下料结构，避免了直接由单个传输装置进行上下料的过长行程问题，使得每一段传输装置的传输行程较短，便能够在较短时间内完成作业，降低其对强度的要求，减少变形，同时有利于提高设备空间的利用率。

技术研发人员：谭惊电,邓金生,罗宾,彭亚萍
受保护的技术使用者：常州捷佳创精密机械有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/11/14