一种无尘工业烤箱的制作方法

本发明涉及到一种烘干，具体涉及到一种无尘工业烤箱。

背景技术：

1、在半导体生产过程中，其中一个工序是半导体框架的生产，而半导体框架在生产过程中需要进行热处理。现有的半导体框架的热处理过程为：通常将半导体框架放置在料箱中，并将料箱逐箱搬进烘箱后，再关闭烘箱的门体，使半导体框架在烘箱内烘烤而完成热处理过程。

2、现有工艺过程中，由于烘箱的烘烤腔室底面与地面之间有高度差，无法采用推车的形式将料箱从烘箱外推入到烘箱中，只能通过人工将料箱逐箱搬进烘箱，一是烘箱的内部空间小，操作不方便；二是搬送料箱的过程比较费力，效率低。这样现有采用逐箱搬进烘箱的过程导致操作不方便、工作效率低。

技术实现思路

1、本发明的主要目的在于提供一种方便将烘干小车和其内的半导体框架一同放进内部进行烘干的无尘工业烤箱。

2、为了实现上述目的，本发明提供的技术方案是：

3、一种无尘工业烤箱，包括箱体，箱体内部固定设置有热风循环系统，箱体前侧通过竖直的转动杆转动连接有门板，门板与转动杆固定连接，转动杆下部上设置有离合组件，离合组件能够沿转动杆的轴向方向滑动，离合组件一侧的箱体底板内设置有传动组件，离合组件上行前离合组件与传动组件传动连接，箱体的底板前侧开设有凹槽，凹槽下方的箱体底板内开设有插槽，插槽下方的箱体底板内开设有上小下大的阶梯槽，凹槽、插槽和阶梯槽连通，插槽内的竖直方向上滑动插接有承载板，承载板下端内开设有矩形的滑孔，滑孔内滑动设置有方杆，方杆与从动轴同心固定连接，从动轴贯穿凹槽，从动轴与箱体的底板转动连接，从动轴一端与传动组件传动连接，阶梯槽内弹性滑动设置有提升组件，提升组件与离合组件下端通过下拉力传递组件连接，把手的转轴与门板转动连接，把手的转轴通过上拉力传递组件与离合组件上端连接，门板朝向箱体内的端面上设置有能够驱动承载板下行的导向组件，承载板上固定有第一钩板，门板朝向箱体内的一侧固定有第二钩板，门板关闭过程中导向组件能够驱动承载板下行，门板关闭后第二钩板能够与第一钩板扣合。

4、具体的，所述箱体内固定有温度探头，箱体外侧固定设置有操控箱，操控箱上固定设置有仪表和控制面板，箱体的侧壁内加工有夹套，夹套内填充有保温材料。

5、具体的，所述箱体底板内开设有槽孔，转动杆转动设置在槽孔内，离合组件包括上套环，上套环下端同心转动连接有第一齿环，第一齿环下端同心转动连接有下套环，下套环内设置有单向轴承，单向轴承的外圈与下套环固定连接，下套环下端固定有多个插板，槽孔下方的箱体底板上开设有与插板上下对应的滑槽，滑槽与槽孔连通，插板插接在其下方的滑槽内，转动杆贯穿上套环、第一齿环、下套环和单向轴承，第一齿环内缘圆周均布开设有多个键槽，第一齿环内侧的转动杆外缘上圆周均布固定有多个平键，平键插接在第一齿环内侧的键槽中，单向轴承的内圈内缘上圆周均布开设有多个键槽，第一齿环上方的转动杆上开设有竖槽，竖槽内滑动设置有牵引板，牵引板固定在上套环内，牵引板、上套环、第一齿环、下套环和插板上行后，平键能够插接在单向轴承内圈内侧的键槽内。

6、具体的，所述槽孔一侧的箱体底板内开设有内槽，内槽与槽孔连通，传动组件包括转动设置在内槽内的主动轴，主动轴外侧套设固定有连接套，连接套外侧套设有第二齿环，第二齿环与第一齿环啮合，第二齿环内缘开设有盲孔，盲孔内安装有第二弹力定位球，第二弹力定位球的球体部分卡接在连接套外缘的卡孔内，主动轴上端同心固定有第二锥齿轮，从动轴一端同心固定有第一锥齿轮，第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合，箱体的底板内开设有与从动轴同心的弧形槽，从动轴上固定有弧形块，弧形块转动设置在弧形槽内。

7、具体的，所述提升组件包括滑动设置在阶梯槽大槽内的顶块，顶块与底板通过第一弹簧连接，顶块上端固定有楔块，楔块贯穿阶梯槽的小槽，楔块的斜面与承载板下端接触，顶块和楔块向承载板下方运动过程中在楔块斜面的导向作用下承载板能够上行运动。

8、具体的，所述下拉力传递组件包括第二拉绳，第二拉绳一端与顶块固定连接，第二拉绳另一端穿过开设在箱体底板内的绳槽后与其中一个插板下端固定连接。

9、具体的，所述上拉力传递组件包括第一拉绳，第一拉绳一端与把手的转轴固定连接，第一拉绳的另一端穿过门板内的绳槽与牵引板固定连接，把手的转轴上安装有第一弹力定位球，把手的转轴转动设置在门板的穿孔内，门板穿孔的孔壁上圆周均布开设有四个孔槽，第一弹力定位球的球体部分卡接在其中一个孔槽内。

10、具体的，所述导向组件包括压板，压板上固定有滑板，门板朝向箱体内部的一端开设有立槽，滑板滑动设置在立槽内，滑板上端与立槽的上槽壁通过第二弹簧连接，压板朝向箱体内部的端面为斜面，斜面下端向门板方向倾斜，承载板上端加工有倾斜的接触面，接触面上端向箱体内部方向倾斜，第一钩板固定在接触面下方的承载板上，第二钩板固定在门板朝向箱体内部的一端上，第二钩板位于压板下方。

11、具体的，所述方杆下端和承载板下端均固定有磁铁，上方的磁铁和下方的磁铁上下对应，上方的磁铁和下方的磁铁相对端部的磁极相反，第二弹簧的弹力大于上方的磁铁和下方的磁铁的磁吸力。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果为：

13、1、通过设置承载板，转动把手和转轴后承载板能够在提升组件的作用下上行，承载板上行后其下端能够从插槽内退出，第一钩板和第二钩板分离，承载板下端从插槽内脱出后能够旋转，打开门板并使得承载板上端向箱体前方旋转，当接触面与地面接触后，烘干小车可通过承载板移动至箱体内，方便将烘干小车和其内的半导体框架一同转移至箱体中。

14、2、关闭门板时，在离合组件和传动组件的作用下承载板能够旋转至竖直状态，在导向组件的作用下，门板关闭后第一钩板和第二钩板扣合进而对门板进行锁定，门板锁定方便。

技术特征：

1.一种无尘工业烤箱，包括箱体(1)，箱体(1)内部固定设置有热风循环系统，其特征在于：箱体(1)前侧通过竖直的转动杆(3)转动连接有门板(2)，门板(2)与转动杆(3)固定连接，转动杆(3)下部上设置有离合组件，离合组件能够沿转动杆(3)的轴向方向滑动，离合组件一侧的箱体(1)底板内设置有传动组件，离合组件上行前离合组件与传动组件传动连接，箱体(1)的底板前侧开设有凹槽(38)，凹槽(38)下方的箱体(1)底板内开设有插槽(39)，插槽(39)下方的箱体(1)底板内开设有上小下大的阶梯槽(40)，凹槽(38)、插槽(39)和阶梯槽(40)连通，插槽(39)内的竖直方向上滑动插接有承载板(20)，承载板(20)下端内开设有矩形的滑孔(21)，滑孔(21)内滑动设置有方杆(22)，方杆(22)与从动轴(23)同心固定连接，从动轴(23)贯穿凹槽(38)，从动轴(23)与箱体(1)的底板转动连接，从动轴(23)一端与传动组件传动连接，阶梯槽(40)内弹性滑动设置有提升组件，提升组件与离合组件下端通过下拉力传递组件连接，把手(14)的转轴(15)与门板(2)转动连接，把手(14)的转轴(15)通过上拉力传递组件与离合组件上端连接，门板(2)朝向箱体(1)内的端面上设置有能够驱动承载板(20)下行的导向组件，承载板(20)上固定有第一钩板(27)，门板(2)朝向箱体(1)内的一侧固定有第二钩板(28)，门板(2)关闭过程中导向组件能够驱动承载板(20)下行，门板(2)关闭后第二钩板(28)能够与第一钩板(27)扣合。

2.根据权利要求1所述一种无尘工业烤箱，其特征在于，所述箱体(1)内固定有温度探头，箱体(1)外侧固定设置有操控箱，操控箱上固定设置有仪表和控制面板，箱体(1)的侧壁内加工有夹套，夹套内填充有保温材料。

3.根据权利要求1所述一种无尘工业烤箱，其特征在于，所述箱体(1)底板内开设有槽孔，转动杆(3)转动设置在槽孔内，离合组件包括上套环(10)，上套环(10)下端同心转动连接有第一齿环(9)，第一齿环(9)下端同心转动连接有下套环(6)，下套环(6)内设置有单向轴承(8)，单向轴承(8)的外圈与下套环(6)固定连接，下套环(6)下端固定有多个插板(7)，槽孔下方的箱体(1)底板上开设有与插板(7)上下对应的滑槽(5)，滑槽(5)与槽孔连通，插板(7)插接在其下方的滑槽(5)内，转动杆(3)贯穿上套环(10)、第一齿环(9)、下套环(6)和单向轴承(8)，第一齿环(9)内缘圆周均布开设有多个键槽，第一齿环(9)内侧的转动杆(3)外缘上圆周均布固定有多个平键(4)，平键(4)插接在第一齿环(9)内侧的键槽中，单向轴承(8)的内圈内缘上圆周均布开设有多个键槽，第一齿环(9)上方的转动杆(3)上开设有竖槽(12)，竖槽(12)内滑动设置有牵引板(11)，牵引板(11)固定在上套环(10)内，牵引板(11)、上套环(10)、第一齿环(9)、下套环(6)和插板(7)上行后，平键(4)能够插接在单向轴承(8)内圈内侧的键槽内。

4.根据权利要求3所述一种无尘工业烤箱，其特征在于，所述槽孔一侧的箱体(1)底板内开设有内槽，内槽与槽孔连通，传动组件包括转动设置在内槽内的主动轴(34)，主动轴(34)外侧套设固定有连接套(35)，连接套(35)外侧套设有第二齿环(36)，第二齿环(36)与第一齿环(9)啮合，第二齿环(36)内缘开设有盲孔，盲孔内安装有第二弹力定位球(37)，第二弹力定位球(37)的球体部分卡接在连接套(35)外缘的卡孔内，主动轴(34)上端同心固定有第二锥齿轮(33)，从动轴(23)一端同心固定有第一锥齿轮(32)，第一锥齿轮(32)与第二锥齿轮(33)啮合，箱体(1)的底板内开设有与从动轴(23)同心的弧形槽(25)，从动轴(23)上固定有弧形块(24)，弧形块(24)转动设置在弧形槽(25)内。

5.根据权利要求3所述一种无尘工业烤箱，其特征在于，所述提升组件包括滑动设置在阶梯槽(40)大槽内的顶块(17)，顶块(17)与底板通过第一弹簧(18)连接，顶块(17)上端固定有楔块(19)，楔块(19)贯穿阶梯槽(40)的小槽，楔块(19)的斜面与承载板(20)下端接触，顶块(17)和楔块(19)向承载板(20)下方运动过程中在楔块(19)斜面的导向作用下承载板(20)能够上行运动。

6.根据权利要求5所述一种无尘工业烤箱，其特征在于，所述下拉力传递组件包括第二拉绳(16)，第二拉绳(16)一端与顶块(17)固定连接，第二拉绳(16)另一端穿过开设在箱体(1)底板内的绳槽后与其中一个插板(7)下端固定连接。

7.根据权利要求3所述一种无尘工业烤箱，其特征在于，所述上拉力传递组件包括第一拉绳(13)，第一拉绳(13)一端与把手(14)的转轴(15)固定连接，第一拉绳(13)的另一端穿过门板(2)内的绳槽与牵引板(11)固定连接，把手(14)的转轴(15)上安装有第一弹力定位球，把手(14)的转轴(15)转动设置在门板(2)的穿孔内，门板(2)穿孔的孔壁上圆周均布开设有四个孔槽，第一弹力定位球的球体部分卡接在其中一个孔槽内。

8.根据权利要求4所述一种无尘工业烤箱，其特征在于，所述导向组件包括压板(29)，压板(29)上固定有滑板(30)，门板(2)朝向箱体(1)内部的一端开设有立槽，滑板(30)滑动设置在立槽内，滑板(30)上端与立槽的上槽壁通过第二弹簧(31)连接，压板(29)朝向箱体(1)内部的端面为斜面，斜面下端向门板(2)方向倾斜，承载板(20)上端加工有倾斜的接触面(26)，接触面(26)上端向箱体(1)内部方向倾斜，第一钩板(27)固定在接触面(26)下方的承载板(20)上，第二钩板(28)固定在门板(2)朝向箱体(1)内部的一端上，第二钩板(28)位于压板(29)下方。

9.根据权利要求8所述一种无尘工业烤箱，其特征在于，所述方杆(22)下端和承载板(20)下端均固定有磁铁，上方的磁铁和下方的磁铁上下对应，上方的磁铁和下方的磁铁相对端部的磁极相反，第二弹簧(31)的弹力大于上方的磁铁和下方的磁铁的磁吸力。

技术总结
本发明涉及到一种烘干技术领域，具体涉及到一种无尘工业烤箱。包括箱体，箱体前侧转动连接有门板，转动杆下部上设置有离合组件，离合组件能够沿转动杆的轴向方向滑动，离合组件一侧的箱体底板内设置有传动组件，插槽内的竖直方向上滑动插接有承载板，滑孔内滑动设置有方杆，方杆与从动轴同心固定连接，从动轴与箱体的底板转动连接，从动轴一端与传动组件传动连接，阶梯槽内弹性滑动设置有提升组件，提升组件与离合组件下端通过下拉力传递组件连接，把手的转轴与门板转动连接，把手的转轴通过上拉力传递组件与离合组件上端连接。通过设置承载板，烘干小车可通过承载板移动至箱体内。

技术研发人员：陈善胜,易勇怀,龙春,陈星尧
受保护的技术使用者：广东立一科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/3/10