烘干装置和激光加工设备的制作方法

本申请涉及光伏电池制造，具体而言，涉及一种烘干装置和激光加工设备。

背景技术：

1、在光伏电池的制备过程中，硅片上会有水分残留，例如采用激光无损切割硅片的过程中，需要给激光划过的硅片喷水雾，以使硅片裂半。一般在硅片运输中通过热风吹干硅片，这种方式，需要在运输硅片的皮带上设置真空吸附装置，以防吹偏硅片，如此，部件繁多，结构复杂。因而，相关技术烘干硅片上的水分的方式，通常是将硅片收集起来后，采用热风循环去烘干硅片上的水分，但这种方式的烘干效率低且能耗高。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请提供一种烘干装置和激光加工设备，能够在运输硅片的同时烘干硅片。

2、本申请的一实施例提供一种烘干装置，用于烘干硅片。烘干装置包括移送组件、加热组件和隔热组件。移送组件包括第一移送件和第二移送件。第一移送件和第二移送件均被配置为沿第一方向移送硅片。第二移送件和第一移送件沿第二方向间隔设置。第一方向和第二方向相互垂直。加热组件设于第一移送件和第二移送件之间。隔热组件包括第一隔热件和第二隔热件。第一隔热件设于加热组件与第一移送件之间。第二隔热件设于加热组件与第二移送件之间。

3、本申请的一些实施例中，加热组件包括制热件和均热件。均热件包括均热板。制热件和均热板沿第三方向分布。均热板沿第三方向的投影覆盖制热件沿第三方向的投影。第一方向和第二方向均垂直于第三方向。

4、本申请的一些实施例中，均热件还包括第一导热板和第二导热板，第一导热板和第二导热板均垂直于第二方向设置，第一导热板设于第一隔热件和制热件之间，且与第一隔热件间隔设置，第一导热板和均热板连接，第二导热板设于第二隔热件和制热件之间，且与第二隔热件间隔设置，第二导热板和均热板连接。

5、本申请的一些实施例中，第一移送件沿第三方向的一侧形成第一移送面。第二移送件沿第三方向的一侧形成第二移送面。均热板沿第三方向的相对两侧分别设有吸热面和放热面。吸热面朝向制热件。第一移送面、放热面和吸热面沿平行于第三方向的方向依次分布。且第一移送面和放热面沿平行于第三方向的方向间隔分布。第二移送面、放热面和吸热面沿平行于第三方向的方向依次分布。且第二移送面和放热面沿平行于第三方向的方向间隔分布。

6、本申请的一些实施例中，隔热组件还包括第三隔热板。第一隔热件和第二隔热件均与第三隔热板连接。且第一隔热件和第二隔热件均位于第三隔热板沿第三方向的同一侧。制热件沿第三方向位于第三隔热板与均热板之间。

7、本申请的一些实施例中，加热组件与第三隔热板连接。加热组件沿第二方向与第一隔热件间隔设置。第二隔热件沿第二方向与加热组件间隔设置。

8、本申请的一些实施例中，第三隔热板沿第三方向的厚度大于第一隔热件沿第二方向的厚度。第三隔热板沿第三方向的厚度大于第二隔热件沿第二方向的厚度。

9、本申请的一些实施例中，烘干装置还包括测温件和温控件。测温件被配置为测量均热板的温度。温控件与测温件电连接或信号连接。温控件与制热件电连接或信号连接。

10、本申请的一些实施例中，第一移送件包括第一移送部和第二移送部。第二移送部和第一移送部沿第二方向间隔设置。第二移送件包括第三移送部和第四移送部。第四移送部和第三移送部沿第二方向间隔设置。第三移送部和第二移送部沿第二方向间隔设置。加热组件设于第二移送部和第三移送部之间。

11、本申请的一实施例提供一种激光加工设备。激光加工设备包括激光装置和的烘干装置，激光装置用于对硅片进行激光加工。烘干装置包括移送组件、加热组件和隔热组件。移送组件包括第一移送件和第二移送件。第一移送件和第二移送件均被配置为沿第一方向移送硅片。第二移送件和第一移送件沿第二方向间隔设置。第一方向和第二方向相互垂直。加热组件设于第一移送件和第二移送件之间。隔热组件包括第一隔热件和第二隔热件。第一隔热件设于加热组件与第一移送件之间。第二隔热件设于加热组件与第二移送件之间。

12、本申请的烘干装置和激光加工设备中，第一隔热件将加热组件与第一移送件分隔、第二隔热件将加热组件与第二移送件分隔，避免加热组件直接烘烤第一移送件和第二移送件，降低第一移送件和第二移送件过热损坏的可能，提升移送组件移送硅片的稳定性。在第一移送件和第二移送件沿第一方向移送硅片时，加热组件在第一移送件和第二移送件之间发热，而第一隔热件和第二隔热件仅在第二方向或第二方向的反方向上阻拦热交换，热量在垂直于第一方向和第二方向上经空气传递至两侧的硅片，使得硅片在移送过程中实现烘干。并且通过加热组件烘烤硅片的方式，能够降低造成硅片相对移送组件移动的可能，从而无需额外设置将硅片固定至移送组件的结构，从而简化烘干装置的结构。

技术特征：

1.一种烘干装置，用于烘干硅片，其特征在于：所述烘干装置包括：

2.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：所述加热组件包括制热件和均热件，所述均热件包括均热板，所述制热件和所述均热板沿第三方向分布，所述均热板沿所述第三方向的投影覆盖所述制热件沿所述第三方向的投影，所述第一方向和所述第二方向均垂直于所述第三方向。

3.根据权利要求2所述的烘干装置，其特征在于：所述均热件还包括第一导热板和第二导热板，所述第一导热板和所述第二导热板均垂直于所述第二方向设置，所述第一导热板设于所述第一隔热件和所述制热件之间，且与所述第一隔热件间隔设置，所述第一导热板和所述均热板连接，所述第二导热板设于所述第二隔热件和所述制热件之间，且与所述第二隔热件间隔设置，所述第二导热板和所述均热板连接。

4.根据权利要求2所述的烘干装置，其特征在于：所述第一移送件沿所述第三方向的一侧形成第一移送面，所述第二移送件沿所述第三方向的一侧形成第二移送面，所述均热板沿所述第三方向的相对两侧分别设有吸热面和放热面，所述吸热面朝向所述制热件，所述第一移送面、所述放热面和所述吸热面沿平行于所述第三方向的方向依次分布，且所述第一移送面和所述放热面沿平行于所述第三方向的方向间隔分布，所述第二移送面、所述放热面和所述吸热面沿平行于所述第三方向的方向依次分布，且所述第二移送面和所述放热面沿平行于所述第三方向的方向间隔分布。

5.根据权利要求2所述的烘干装置，其特征在于：所述隔热组件还包括第三隔热板，所述第一隔热件和所述第二隔热件均与所述第三隔热板连接，且所述第一隔热件和所述第二隔热件均位于所述第三隔热板沿所述第三方向的同一侧，所述制热件沿第三方向位于所述第三隔热板与所述均热板之间。

6.根据权利要求5所述的烘干装置，其特征在于：所述加热组件与所述第三隔热板连接，所述加热组件沿所述第二方向与所述第一隔热件间隔设置，所述第二隔热件沿所述第二方向与所述加热组件间隔设置。

7.根据权利要求6所述的烘干装置，其特征在于：所述第三隔热板沿所述第三方向的厚度大于所述第一隔热件沿所述第二方向的厚度，所述第三隔热板沿所述第三方向的厚度大于所述第二隔热件沿所述第二方向的厚度。

8.根据权利要求2所述的烘干装置，其特征在于：所述烘干装置还包括测温件和温控件，所述测温件被配置为测量所述均热板的温度，所述温控件与所述测温件电连接或信号连接，所述温控件与所述制热件电连接或信号连接。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的烘干装置，其特征在于：所述第一移送件包括第一移送部和第二移送部，所述第二移送部和所述第一移送部沿所述第二方向间隔设置，所述第二移送件包括第三移送部和第四移送部，所述第四移送部和所述第三移送部沿所述第二方向间隔设置，所述第三移送部和所述第二移送部沿所述第二方向间隔设置，所述加热组件设于所述第二移送部和所述第三移送部之间。

10.一种激光加工设备，其特征在于：包括激光装置和如权利要求1至9中任一项所述的烘干装置，所述激光装置用于对所述硅片进行激光加工。

技术总结
本申请提供了一种烘干装置和激光加工设备。烘干装置用于烘干硅片。烘干装置包括移送组件、加热组件和隔热组件。移送组件包括第一移送件和第二移送件。第一移送件和第二移送件均被配置为沿第一方向移送硅片。第二移送件和第一移送件沿第二方向间隔设置。第一方向和第二方向相互垂直。加热组件设于第一移送件和第二移送件之间。隔热组件包括第一隔热件和第二隔热件。第一隔热件设于加热组件与第一移送件之间。第二隔热件设于加热组件与第二移送件之间。本申请提供的一种烘干装置，能够在运输硅片的同时烘干硅片。

技术研发人员：蔡永甫,于帅帅,董雪迪
受保护的技术使用者：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
技术研发日：20240305
技术公布日：2024/10/21