一种扩散炉尾排改善机构的制作方法

本技术涉及扩散炉，具体为一种扩散炉尾排改善机构。

背景技术：

1、扩散炉是一种半导体的生产加工用具，是太阳能行业的主要设备之一，太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、氧化、镀膜、丝网印刷和烧结测试这七大工序。

2、现有的扩散炉的尾排反应腔室内反应的气体和产生的一些固态颗粒随尾排一起通过真空泵经冷却瓶抽出，由于尾排抽出气体在管道中冷却，冷凝会产生固态物质，此固态物质会粘附在尾排三通管内壁，导致三通管内部容易堵塞造成泵速异常的情况，影响扩散炉的正常使用。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种扩散炉尾排改善机构，以解决上述背景技术中存在三通管内壁粘附有固态物质对其内部容易造成堵塞的至少一个技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种扩散炉尾排改善机构，其包括：

4、三通管，所述三通管的对接端安装有尾排接管，所述三通管的外部及内部安装有清除机构，所述清除机构用于对所述三通管内壁粘附的固态物质进行清除；所述清除机构包括驱动组件、传动组件、排出组件与三个刮环；所述驱动组件用于驱动所述传动组件与一个所述刮环进行同步运行；运行状态的所述传动组件用于带动另外两个所述刮环进行同步运行；且同步运行的三个所述刮环用于将所述三通管内壁粘附的固态物质进行清除；所述排出组件用于供被清除的固态物质进行排出。

5、优选的，所述驱动组件包括电机、转轴、固定杆、丝杆、连接件、第一锥齿轮与第二锥齿轮；所述电机安装于所述三通管的外壁，所述转轴连接于所述电机的输出轴端部，所述固定杆固定连接于所述三通管的内壁，所述丝杆转动安装于所述固定杆的端部，所述连接件的中心处与所述丝杆通过丝杆座连接，所述第一锥齿轮装配于所述丝杆的外壁，所述第二锥齿轮装配于所述转轴的端部，且所述第一锥齿轮、第二锥齿轮相啮合，啮合状态的所述第一锥齿轮、第二锥齿轮用于带动所述丝杆进行转动。

6、优选的，运行状态的所述电机的输出轴用于带动所述转轴进行转动，且转动状态的所述转轴用于带动所述第一锥齿轮、第二锥齿轮进行同步转动。

7、优选的，一个所述刮环与所述连接件的突出部固定连接，且三个所述刮环均滑动安装于所述三通管的内壁。

8、优选的，所述传动组件包括齿条、连杆与齿轮；所述齿轮装配于所述丝杆的底部，所述齿条与所述齿轮相啮合，所述连杆固定连接于所述齿条的顶部，且所述连杆与另一个所述刮环固定连接。

9、优选的，转动状态的所述齿轮用于带动两个所述齿条进行同步移动，且同步移动状态的两个所述齿条分别带动另外两个所述刮环进行同步相远离或相靠近移动。优选的，所述排出组件包括连接管、内螺纹与螺纹头；所述连接管固定连接于所述三通管的外壁，且所述连接管与所述三通管的内部相连通，所述内螺纹设置于所述连接管的内壁，所述螺纹头与所述内螺纹螺纹连接，且拧紧状态的所述螺纹头用于对所述连接管的开口处进行封堵。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1.本实用新型通过设置清除机构，使同步运行的三个刮环对三通管内壁粘附的固态物质进行刮除，且相聚拢的三个刮环将刮除的固态物质集中到连接管开口处并排出至三通管外部，从而有效对三通管内壁粘附的固态物质进行完全清除，避免三通管内壁粘附有固态物质对其内部容易造成堵塞的情况。

技术特征：

1.一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于，其包括：

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述驱动组件包括电机（301）、转轴（302）、固定杆（303）、丝杆（304）、连接件（305）、第一锥齿轮（3012）与第二锥齿轮（3013）；所述电机（301）安装于所述三通管（1）的外壁，所述转轴（302）连接于所述电机（301）的输出轴端部，所述固定杆（303）固定连接于所述三通管（1）的内壁，所述丝杆（304）转动安装于所述固定杆（303）的端部，所述连接件（305）的中心处与所述丝杆（304）通过丝杆座连接，所述第一锥齿轮（3012）装配于所述丝杆（304）的外壁，所述第二锥齿轮（3013）装配于所述转轴（302）的端部，且所述第一锥齿轮（3012）、第二锥齿轮（3013）相啮合，啮合状态的所述第一锥齿轮（3012）、第二锥齿轮（3013）用于带动所述丝杆（304）进行转动。

3.根据权利要求2所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：运行状态的所述电机（301）的输出轴用于带动所述转轴（302）进行转动，且转动状态的所述转轴（302）用于带动所述第一锥齿轮（3012）、第二锥齿轮（3013）进行同步转动。

4.根据权利要求2所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：一个所述刮环（306）与所述连接件（305）的突出部固定连接，且三个所述刮环（306）均滑动安装于所述三通管（1）的内壁。

5.根据权利要求2所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述传动组件包括齿条（307）、连杆（308）与齿轮（3014）；所述齿轮（3014）装配于所述丝杆（304）的底部，所述齿条（307）与所述齿轮（3014）相啮合，所述连杆（308）固定连接于所述齿条（307）的顶部，且所述连杆（308）与另一个所述刮环（306）固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：转动状态的所述齿轮（3014）用于带动两个所述齿条（307）进行同步移动，且同步移动状态的两个所述齿条（307）分别带动另外两个所述刮环（306）进行同步相远离或相靠近移动。

7.根据权利要求1所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述排出组件包括连接管（309）、内螺纹（3010）与螺纹头（3011）；所述连接管（309）固定连接于所述三通管（1）的外壁，且所述连接管（309）与所述三通管（1）的内部相连通，所述内螺纹（3010）设置于所述连接管（309）的内壁，所述螺纹头（3011）与所述内螺纹（3010）螺纹连接，且拧紧状态的所述螺纹头（3011）用于对所述连接管（309）的开口处进行封堵。

技术总结
本技术公开了一种扩散炉尾排改善机构，其包括。该一种扩散炉尾排改善机构，三通管，所述三通管的对接端安装有尾排接管，所述三通管的外部及内部安装有清除机构，所述清除机构用于对所述三通管内壁粘附的固态物质进行清除，所述清除机构包括驱动组件、传动组件、排出组件与三个刮环，所述驱动组件用于驱动所述传动组件与一个所述刮环进行同步运行，通过设置清除机构，使同步运行的三个刮环对三通管内壁粘附的固态物质进行刮除，且相聚拢的三个刮环将刮除的固态物质集中到连接管开口处并排出至三通管外部，从而有效对三通管内壁粘附的固态物质进行完全清除，避免三通管内壁粘附有固态物质对其内部容易造成堵塞的情况。

技术研发人员：蔡宗捷,朱滨泉,苏新巍
受保护的技术使用者：潍坊芯微电子设备有限公司
技术研发日：20240409
技术公布日：2024/11/28