一种冷却水调节系统及碳化硅生产设备的制作方法

本技术涉及碳化硅生产领域，具体而言，涉及一种冷却水调节系统及碳化硅生产设备。

背景技术：

1、碳化硅生产设备包括刻蚀设备、打磨设备等，在工作过程中需要配置制冷机进行降温，制冷机的冷却水管路通常接入外部循环管路，通过循环管路对其冷却水进行温度与流量调节，从而充分满足制冷机工作的要求。

2、目前市面上的冷却系统结构复杂，对于制冷机的冷却水的温度调节的精度差，能耗高，严重影响制冷机的性能。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种冷却水调节系统，其具有结构简单、温度调节精度高、能耗低的特点。

2、本实用新型的另一目的在于提供一种碳化硅生产设备，其具有性能更佳的特点。

3、本实用新型提供一种技术方案：

4、一种冷却水调节系统，包括控制器、制冷机管段、出水管段、回水管段及多个冷却管段，所述制冷机管段的两端分别与所述出水管段及所述回水管段各自的一端连接，多个所述冷却管段并联设置在所述出水管段及所述回水管段各自的另一端，所述回水管段上设置有第一测温件，多个所述冷却管段上均设置有冷却塔，所述冷却塔设置有用于对流经所述冷却塔的冷却水吹风的风机，所述控制器分别与所述第一测温件及多个所述风机通信连接，用于根据所述第一测温件的检测结果分别调节多个所述风机的工作状态。

5、进一步地，所述制冷机管段连接所述回水管段的一端设置有变频水泵，所述变频水泵用于将所述回水管段中的冷却水向所述制冷机管段泵送。

6、进一步地，所述制冷机管段的数量为多个，多个所述制冷机管段并联设置在所述出水管段与所述回水管段各自的一端。

7、进一步地，所述冷却水调节系统还包括旁通管段，所述旁通管段的两端分别与所述出水管段及所述回水管段连接，所述旁通管段上设置有旁通阀，所述控制器与所述旁通阀通信连接，用于根据所述第一测温件的检测结果选择性控制所述旁通阀开启。

8、进一步地，在所述出水管段的延伸方向上，所述出水管段与所述旁通管段连接的位置相较于连接多个所述冷却管段的位置更加靠近所述制冷机管段；

9、在所述回水管段的延伸方向上，所述回水管段与所述旁通管段连接的位置相较于所述第一测温件更加靠近所述制冷机管段。

10、进一步地，所述回水管段上还设置有第二测温件，在所述回水管段的延伸方向上，所述第二测温件相较于所述回水管段与所述旁通管段连接的位置更加靠近所述制冷机管段，所述控制器与所述第二测温件通信连接，还用于根据所述第二测温件的检测结果选择性控制所述旁通阀关闭。

11、进一步地，多个所述冷却管段均包括第一支段及第二支段，所述冷却塔均设置有布水器，所述第一支段的一端与所述出水管段连接，所述第一支段的另一端与所述布水器连接，所述布水器用于将所述第一支段中的冷却水喷洒入所述冷却塔内部，所述风机用于对喷洒状态下的冷却水吹风，所述第二支段的一端与所述冷却塔内部连通，所述第二支段的另一端与所述回水管段连接。

12、进一步地，多个所述冷却管段对应的多个所述第一支段上均设置有流量控制阀，多个所述流量控制阀分别与所述控制器通信连接，多个所述流量控制阀用于在所述控制器的控制下调节流入对应的所述布水器的冷却水流量。

13、进一步地，多个所述冷却管段对应的多个所述第一支段上均设置有流量检测件，多个所述流量检测件分别与所述控制器通信连接，所述控制器用于根据多个所述流量检测件的检测结果控制多个所述流量控制阀的开度。

14、本实用新型的实施例还提供一种碳化硅生产设备，包括所述的冷却水调节系统，所述冷却水调节系统包括控制器、制冷机管段、出水管段、回水管段及多个冷却管段，所述制冷机管段的两端分别与所述出水管段及所述回水管段各自的一端连接，多个所述冷却管段并联设置在所述出水管段及所述回水管段各自的另一端，所述回水管段上设置有第一测温件，多个所述冷却管段上均设置有冷却塔，所述冷却塔设置有用于对流经所述冷却塔的冷却水吹风的风机，所述控制器分别与所述第一测温件及多个所述风机通信连接，用于根据所述第一测温件的检测结果分别调节多个所述风机的工作状态。

15、相比现有技术，本实用新型提供的冷却水调节系统，出水管段将制冷机管段中的冷却水引入多个冷却管段，多个冷却管段均设置有用于对流经的冷却水降温的冷却塔，各个冷却塔均配置有风冷的风机，多个冷却管段将冷却后的冷却水经回水管段输送回制冷机管段。可见，本实用新型提供的冷却水调节系统结构简单。风机的工作状态包括运行与停机，控制器根据第一测温件的检测结果控制多个风机中处于开机运行状态的数量，从而实现对冷却水降温效果的精确控制。并且，控制多余的风机停机，能够避免产生额外能耗。因此，本实用新型提供的冷却水调节系统的有益效果包括：结构简单、温度调节精度高、能耗低。

技术特征：

1.一种冷却水调节系统，其特征在于，包括控制器、制冷机管段(110)、出水管段(120)、回水管段(130)及多个冷却管段(140)，所述制冷机管段(110)的两端分别与所述出水管段(120)及所述回水管段(130)各自的一端连接，多个所述冷却管段(140)并联设置在所述出水管段(120)及所述回水管段(130)各自的另一端，所述回水管段(130)上设置有第一测温件(131)，多个所述冷却管段(140)上均设置有冷却塔(150)，所述冷却塔(150)设置有用于对流经所述冷却塔(150)的冷却水吹风的风机(151)，所述控制器分别与所述第一测温件(131)及多个所述风机(151)通信连接，用于根据所述第一测温件(131)的检测结果分别调节多个所述风机(151)的工作状态。

2.根据权利要求1所述的冷却水调节系统，其特征在于，所述制冷机管段(110)连接所述回水管段(130)的一端设置有变频水泵(111)，所述变频水泵(111)用于将所述回水管段(130)中的冷却水向所述制冷机管段(110)泵送。

3.根据权利要求1所述的冷却水调节系统，其特征在于，所述制冷机管段(110)的数量为多个，多个所述制冷机管段(110)并联设置在所述出水管段(120)与所述回水管段(130)各自的一端。

4.根据权利要求1所述的冷却水调节系统，其特征在于，所述冷却水调节系统(100)还包括旁通管段(160)，所述旁通管段(160)的两端分别与所述出水管段(120)及所述回水管段(130)连接，所述旁通管段(160)上设置有旁通阀(161)，所述控制器与所述旁通阀(161)通信连接，用于根据所述第一测温件(131)的检测结果选择性控制所述旁通阀(161)开启。

5.根据权利要求4所述的冷却水调节系统，其特征在于，在所述出水管段(120)的延伸方向上，所述出水管段(120)与所述旁通管段(160)连接的位置相较于连接多个所述冷却管段(140)的位置更加靠近所述制冷机管段(110)；

6.根据权利要求5所述的冷却水调节系统，其特征在于，所述回水管段(130)上还设置有第二测温件(132)，在所述回水管段(130)的延伸方向上，所述第二测温件(132)相较于所述回水管段(130)与所述旁通管段(160)连接的位置更加靠近所述制冷机管段(110)，所述控制器与所述第二测温件(132)通信连接，还用于根据所述第二测温件(132)的检测结果选择性控制所述旁通阀(161)关闭。

7.根据权利要求1所述的冷却水调节系统，其特征在于，多个所述冷却管段(140)均包括第一支段(141)及第二支段(142)，多个所述冷却塔(150)均设置有布水器(152)，所述第一支段(141)的一端与所述出水管段(120)连接，所述第一支段(141)的另一端与所述布水器(152)连接，所述布水器(152)用于将所述第一支段(141)中的冷却水喷洒入所述冷却塔(150)内部，所述风机(151)用于对喷洒状态下的冷却水吹风，所述第二支段(142)的一端与所述冷却塔(150)内部连通，所述第二支段(142)的另一端与所述回水管段(130)连接。

8.根据权利要求7所述的冷却水调节系统，其特征在于，多个所述冷却管段(140)对应的多个所述第一支段(141)上均设置有流量控制阀(143)，多个所述流量控制阀(143)分别与所述控制器通信连接，多个所述流量控制阀(143)用于在所述控制器的控制下调节流入对应的所述布水器(152)的冷却水流量。

9.根据权利要求8所述的冷却水调节系统，其特征在于，多个所述冷却管段(140)对应的多个所述第一支段(141)上均设置有流量检测件(144)，多个所述流量检测件(144)分别与所述控制器通信连接，所述控制器用于根据多个所述流量检测件(144)的检测结果控制多个所述流量控制阀(143)的开度。

10.一种碳化硅生产设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的冷却水调节系统(100)。

技术总结
本技术公开了一种冷却水调节系统及碳化硅生产设备，涉及碳化硅生产领域。该冷却水调节系统包括控制器、制冷机管段、出水管段、回水管段及多个冷却管段，制冷机管段的两端分别与出水管段及回水管段各自的一端连接，多个冷却管段并联设置在出水管段及回水管段各自的另一端，回水管段上设置有第一测温件，多个冷却管段上均设置有冷却塔，冷却塔设置有用于对流经冷却塔的冷却水吹风的风机，控制器分别与第一测温件及多个风机通信连接，用于根据第一测温件的检测结果分别调节多个风机的工作状态。本技术提供的冷却水调节系统具有结构简单、温度调节精度高、能耗低的特点。

技术研发人员：张哲,罗鸿,吕芳栋,卫元元,叶水全,李书文,王奇缘,徐江,李建,简征程,卿成,张建,张旭
受保护的技术使用者：通威微电子有限公司
技术研发日：20230303
技术公布日：2024/1/14