一种坩埚生产用冷却装置的制作方法

文档序号:36054274发布日期:2023-11-17 20:14阅读:26来源:国知局
一种坩埚生产用冷却装置的制作方法

本技术属于坩埚生产设备,具体涉及一种坩埚生产用冷却装置。


背景技术:

1、单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势,制作单晶硅棒所使用的石英坩埚的需求量也快速增加。坩埚是实验室中使用的一种杯状器皿,用来对固体进行高温加热。坩埚在制作成型后需要将其冷却在做打磨处理,而现有的坩埚冷却采用自然晾干的方式,速度较慢,因此,一种自动化长度搞,且能够快速制冷的坩埚冷却设备是本领域技术人员一直研究的方向之一。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种坩埚生产用冷却装置,解决现有的坩埚生产时候冷却效率较低的问题。

2、为解决上述的技术问题,本实用新型采用以下技术方案:

3、一种坩埚生产用冷却装置,包括固定架、连接槽、载物台、驱动电机及水冷机构,所述固定架不锈钢矩形支架,且固定架的上部通过连接槽和连接杆与载物台相连接;所述载物台的上部设置有固定板,且固定板的通孔内部设置有转盘,转盘的上部设置有若干限位组件;所述载物台的上部设置有水冷机构,所述水冷机构包括连接支架、导水泵、喷淋管及集水槽,所述连接支架固定设置在载物台的上部,且连接支架的上部设置有导水泵,所述导水泵出水端与喷淋管相连接;所述集水槽位于喷淋管正下方。

4、进一步, 所述限位组件包括滑动台、限位螺丝、连接杆及限位套,所述滑动台通过一端的滑块与转盘上的滑槽滑动连接,且滑动台的一端设置有连接杆,连接杆的上部套设有限位套。

5、进一步, 所述滑动台通过限位螺丝与滑槽侧边上的限位螺孔相对应。

6、进一步, 所述连接杆活动设置在连接槽内部,且连接槽的外部设置有若干限位杆。

7、进一步, 所述固定板的上部设置有驱动电机,且驱动电机通过连接件与转盘相连接;所述驱动电机的两侧设置有防护栏。

8、进一步, 所述集水槽的底部导水口通过管道与净化箱的进水口相连接,所述净化箱的内部设置有过滤板。

9、进一步,所述净化箱的内部通过隔离板分割为若干过水腔室,且净化箱的一端设置有出水口。

10、进一步,所述载物台的上部设置有偶透水槽;所述固定架的底部设置有若干万向轮,且万向轮至少设置有四只。

11、与现有技术相比,本实用新型至少具有以下有益效果之一:

12、1. 在固定架的上部设置有载物台,能够通过连接杆进行高度的调节,且在载物板的上部设置有固定板,其上设置有转盘和驱动电机,转盘上部的限位组件用于固定坩埚,便于坩埚在驱动电机的驱动下转动,配合上部水冷机构,实现冷却。

13、2. 水冷机构的设置,能够在坩埚的转动下实现喷淋冷却,并且将冷却后的水渍进行收集,通过净化箱进行过滤,冷却在循环使用。

14、3. 整个限位组件采用滑动台及限位螺丝的方式,在滑动台的连接杆上套设限位套,将坩埚进行卡位,便于与之一起转动,而采用可调节的限位组件,便于不同直径的坩埚使用。



技术特征:

1.一种坩埚生产用冷却装置,包括固定架(1)、连接槽(3)、载物台(5)、驱动电机(13)及水冷机构,其特征在于:所述固定架(1)不锈钢矩形支架,且固定架(1)的上部通过连接槽(3)和连接杆(4)与载物台(5)相连接;所述载物台(5)的上部设置有固定板(24),且固定板(24)的通孔内部设置有转盘(14),转盘(14)的上部设置有若干限位组件;

2.根据权利要求1所述的一种坩埚生产用冷却装置,其特征在于:所述限位组件包括滑动台(15)、限位螺丝、连接杆及限位套(17),所述滑动台(15)通过一端的滑块与转盘(14)上的滑槽(16)滑动连接,且滑动台(15)的一端设置有连接杆,连接杆的上部套设有限位套(17)。

3.根据权利要求2所述的一种坩埚生产用冷却装置,其特征在于:所述滑动台(15)通过限位螺丝与滑槽(16)侧边上的限位螺孔相对应。

4.根据权利要求1所述的一种坩埚生产用冷却装置,其特征在于:所述连接杆(4)活动设置在连接槽(3)内部,且连接槽(3)的外部设置有若干限位杆(25)。

5.根据权利要求1所述的一种坩埚生产用冷却装置,其特征在于:所述固定板(24)的上部设置有驱动电机(13),且驱动电机(13)通过连接件与转盘(14)相连接;所述驱动电机(13)的两侧设置有防护栏(12)。

6.根据权利要求1所述的一种坩埚生产用冷却装置,其特征在于:所述集水槽(11)的底部导水口通过管道与净化箱(19)的进水口(21)相连接,所述净化箱(19)的内部设置有过滤板(20)。

7.根据权利要求6所述的一种坩埚生产用冷却装置,其特征在于:所述净化箱(19)的内部通过隔离板(22)分割为若干过水腔室,且净化箱(19)的一端设置有出水口(23)。

8.根据权利要求1所述的一种坩埚生产用冷却装置,其特征在于:所述载物台(5)的上部设置有透水槽(10);所述固定架(1)的底部设置有若干万向轮(2),且万向轮(2)至少设置有四只。


技术总结
本技术公开了一种坩埚生产用冷却装置,包括固定架、连接槽、载物台、驱动电机及水冷机构,所述固定架不锈钢矩形支架,且固定架的上部通过连接槽和连接杆与载物台相连接;所述载物台的上部设置有固定板,且固定板的通孔内部设置有转盘,转盘的上部设置有若干限位组件;所述载物台的上部设置有水冷机构,所述水冷机构包括连接支架、导水泵、喷淋管及集水槽,所述连接支架固定设置在载物台的上部,且连接支架的上部设置有导水泵,所述导水泵出水端与喷淋管相连接;所述集水槽位于喷淋管正下方。本技术用于解决现有的坩埚生产时候冷却效率较低的问题。

技术研发人员:侯建,蒋泽林
受保护的技术使用者:曲靖开发区佑鑫石英有限公司
技术研发日:20230523
技术公布日:2024/1/15
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