切割液回收利用的方法
【专利摘要】本发明涉及一种切割液回收利用的方法，属于蓝宝石加工【技术领域】，?本发明切割液回收利用的方法采用的技术方案为：将需回收的切割液送到回收缸内，加入废液体积15~20%的水；加入活性剂搅拌，搅拌电机转速为30rpm，对混合液进行加热，加热温度控制为65℃，时间为2小时；将混合液冷却沉淀，沉淀6小时后，提取清液；在提取的清液中加入为所述清液重量0.5%~1%的原切割液。本发明切割液回收利用的方法，制得的切割液可按原切割工艺使用，使用寿命与原液寿命相同，本发明切割液回收利用的方法，简单便捷的将已经达到使用寿命的切割液再次回收利用，且保证回收液使用后晶片表面的品质，降低了蓝宝石切割用切割液33%的成本。
【专利说明】切割液回收利用的方法
【技术领域】
[0001]本发明属于蓝宝石加工【技术领域】，尤其涉及一种蓝宝石切片用切割液回收利用的方法。
【背景技术】
[0002]蓝宝石是加工蓝光二极管的重要材料，在半导体领域具有举足轻重的地位。在形成用于制作蓝宝石衬片之前，要对蓝宝石进行切片，切割液主要作用为溶解切片时产生的蓝宝石粉，同时润滑金钢线，降低钢线温度，从而保证切割后晶片表面的品质。切割液是蓝宝石切割中的一个重要及高成本的辅料，合理的使用切割液将直接关系到切片后晶片的品质及成本。
【发明内容】
[0003]针对上述技术问题，本发明提供一种切割液回收利用的方法，解决现有切片用切割液成本高的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本发明切割液回收利用的方法采用的技术方案为:
[0005](I)将需回收的切割液送到回收缸内，加入废液体积15?20%的水；
[0006](2)加入活性剂搅拌,搅拌电机转速为30rpm,对混合液进行加热,加热温度控制为65°C，时间为2小时；
[0007](3)将混合液冷却沉淀，沉淀6小时后，提取清液；
[0008](4)在提取的清液中加入为所述清液重量0.59Tl%的原切割液。
[0009]本发明切割液回收利用的方法，制得的切割液可按原切割工艺使用，使用寿命与原液寿命相同，本发明切割液回收利用的方法，简单便捷的将已经达到使用寿命的切割液再次回收利用，且保证回收液使用后晶片表面的品质，降低了蓝宝石切割用切割液33%的成本。
【具体实施方式】
[0010]以下结合具体实施例对本发明做出进一步说明。
[0011]本发明切割液回收利用的方法，主要步骤分为:回收存储、加水稀释、加入活性剂、搅拌、加热、冷却沉淀、提取并补液、切割。
[0012]在回收存储部分步骤，其目的在于，将需回收的切割液全部抽打到回收缸内，回收缸为特制，可按要求加热、搅拌、排液。 [0013]然后加水稀释，其目的在于，降低回收液浓度，提高提纯后的质量，一般加入废液体积的15?20%即可。
[0014]再加入活性剂，其目的在于，增溶作用。表面活性剂在水溶液中形成胶束后具有使不溶于水的有机物的溶解度显著增大的能力，且此时溶液呈透明状，胶束的这种作用称为增溶。能产生增溶作用的表面活性剂叫做增溶剂，被增溶的有机物称为被增溶物。如果在已增溶的液体中继续加入被增溶物，达到一定量后，溶液透明状变为乳浊状，这种乳液即为乳状液，在此乳状液中再加入表面活性剂，溶液又变得透明无色。虽然这种变化是连续的，但乳化和增溶本质上是不同的。增溶作用可使被增溶物的化学势显著降低，使体系变得更稳定，即增溶在热力学上是稳定的，只要外界条件不变，体系不随时间变化。而乳化在热力学上是不稳定的。
[0015]进行搅拌，其目的在于，使得后续加入的水和活性剂能够与回收液充分融合，保证回收效果。搅拌时搅拌叶片需特制且电机转速不宜过高，一般为30rpm。
[0016]对混合液进行加热，其目的在于，提高活性剂活力，促使回收液中的有效成分与杂质分离的更彻底，提高回收液品质，加热温度控制为65°C，时间为2小时。
[0017]将混合液冷却沉淀，其目的在于，使回收液中杂质沉淀到回收缸底部，方便提取上层清液，提取清液在沉淀6小时后进行。
[0018]提取清液后，补充原切割液，其目的在于，提高回收后切割液的冷却剂排泄能力。提取时必须使用洁净容器提取沉淀后的上层清液，提取后需补充原切割液，一般为清液重量的 0.5°/ 。
[0019]作为优选，所述步骤均在不锈钢容器中进行，且使用前必须清洁干净，避免切割液
二次污染。
[0020]该回收后切割液可按原切割工艺使用，使用寿命与原液寿命相同，必须注意，为保证切片后晶片的品质，切割液回收只可以回收利用一次，回收后切割液使用完后只能作为废液处理，不建议再次回收。
[0021]本发明简单实用，降低33%切割液成本。使用回收切割液，切割2寸晶片表面warp< 15um, ttv < 10,品质合格。
[0022]以上实施例的描述较为具体、详细，但并不能因此而理解为对本专利范围的限制，应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种切割液回收利用的方法，其特征在于包括以下步骤: (1)将需回收的切割液送到回收缸内，加入废液体积15?20%的水； (2)加入活性剂搅拌，搅拌电机转速为30rpm,对混合液进行加热，加热温度控制为65°C，时间为2小时； (3)将混合液冷却沉淀，沉淀6小时后，提取清液； (4)在提取的清液中加入为所述清液重量0.59Tl%的原切割液。
2.根据权 利要求1所述切割液回收利用的方法，其特征在于:所述步骤均在不锈钢容器中进行。
【文档编号】C02F9/10GK103435210SQ201310304315
【公开日】2013年12月11日 申请日期:2013年7月19日 优先权日:2013年7月19日
【发明者】戴磊, 王禄堡 申请人:江苏吉星新材料有限公司