废液处理装置制造方法
【专利摘要】本发明提供废液处理装置，其将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的水，即使经过分离时间也能够高效地将废液分离成硅屑和水。废液处理装置（1）具备：分离次数存储部（322），其按照各个硅吸附板（21）中的每一个对从硅吸附板（21）分离出硅屑的次数进行计数并存储；判断部（323），其判断存储在分离次数存储部（322）中的分离次数是否达到了规定的次数；以及报知部（324），其在判断部（323）判断为各个硅吸附板（21）的分离次数达到了规定的次数的情况下进行报知，因此对于分离次数达到了规定的次数的硅吸附板（21），能够判断为劣化后的硅吸附板（21）并从液槽（20）取出，能够长期高效地将含有硅屑的废液分离成硅屑和净水。
【专利说明】废液处理装置【技术领域】
[0001]本发明涉及将含有硅屑的液体分离成硅屑和液体的分离装置。
【背景技术】
[0002]在娃器件的制造中，存在着将娃淀切断而形成娃晶片的工序、研磨娃晶片的工序、以及在娃晶片的表面上呈格子状地排列的大量区域中形成IC (Integrated Circuit:集成电路)、LSI (large scale integration:大规模集成电路)等电路并将各区域沿规定的切断线切断而形成一个一个的硅芯片的工序等。在这些工序中，例如为了对切削刀、加工点、研磨部分等进行冷却、或者冲走硅屑而采用了水。
[0003]硅屑是微细的粒子，以悬浊的状态包含于废液中。另一方面，近些年，出于水的再利用、硅的再利用的观点，要求将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的水的技术，已知通过过滤和离心分离法进行物理分离的方法、以及利用药品进行化学分离的方法(例如，参照专利文献I)。
[0004]然而，在物理分离的方法中，存在着在过滤时发生网眼堵塞、或者硅颗粒竟然穿过的问题。特别是在离心分离法中，存在着硅颗粒相对于水分的浓度过稀而使离心分离的效率差的情况。此外，在化学分离的方法中，由于使用药品，因此存在着难以将液体(水)再利用的问题。因此，采用了通过硅吸附板吸附废液中的硅屑而高效地分离成硅屑和水的分离装置(例如，参照专利文献2)。
[0005]【专利文献I】日本特开平8-164304号公报
[0006]【专利文献2】日本特开2012-024661号公报
[0007]但是，在上述分离装置中，通过分离板刮落硅屑来对硅屑进行了回收，但通过反复上述回收，存在硅吸附板表面粗糙，从而硅屑的回收量减少的问题。
【发明内容】
[0008]本发明正是鉴于上述情况而做出的，其目的在于在将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的水的分离装置中，即使经过分离时间也能够高效地将废液分离成硅屑和水。
[0009]本发明涉及一种废液处理装置，其用于将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的净水，所述废液处理装置的特征在于，所述废液处理装置由以下构件构成:从废液分离成硅屑和不含硅屑的净水的分离处理构件、和回收通过分离处理构件分离出的硅屑的回收构件，分离处理构件具备:液槽，其用于积存废液；硅吸附板，其带有正电并在液槽中等间隔地配置了多个，且该硅吸附板用于吸附废液中的带负电的硅屑；阴极板，其带有负电，且以与硅吸附板相对地与硅吸附板隔开间隔的方式交替地配设了多个；搬出部，其配设在阴极板的上部，将澄清液体搬出到液槽外；以及电场形成部，其以硅吸附板为阳极并以阴极板为阴极，在硅吸附板与阴极板之间形成电场，回收构件具备:分离部，其用于从硅吸附板分离出硅屑；吸附板移动部，其用于将硅吸附板从分离处理构件的液槽中移动至分离部；以及管理构件，其管理硅吸附板，管理构件具备:吸附时间计数部，其按照各个硅吸附板中的每一个硅吸附板对向硅吸附板通电而吸附了硅的累积时间进行计数；指令部，其送出指令，所述指令表示应将累积时间经过了规定的时间的硅吸附板移动至分离部而从硅吸附板分离出硅屑；分离次数存储部，其按照各个硅吸附板中的每一个硅吸附板对由分离部从硅吸附板分离出硅屑的次数进行计数并存储；以及判断部，其判断存储在分离次数存储部中的分离次数是否达到了规定的次数，所述废液处理装置具备报知部，在判断部判断为各个硅吸附板的分离次数达到了规定的次数的情况下，该报知部进行报知。
[0010]在本发明的废液处理装置中，具备:分离次数存储部，其按照各个硅吸附板中的每一个硅吸附板对从硅吸附板分离出硅屑的次数进行计数并存储；判断部，其判断存储在分离次数存储部中的分离次数是否达到了规定的次数；以及报知部，其在判断部判断为各个硅吸附板的分离次数达到了规定的次数的情况下进行报知，因此对于分离次数达到了规定的定次数的硅吸附板，能够判断为劣化后的硅吸附板并从液槽取出，能够长期高效地将含有硅屑的废液分离成硅屑和净水。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是示 出废液处理装置的一例的内部构造的立体图。
[0012]图2是示出使部分断裂后的状态下的液槽以及硅吸附板和阴极板的一例的分解立体图。
[0013]图3是示出在收纳到液槽中的硅吸附板与阴极板之间形成了电场的状态的截面图。
[0014]图4是示出废液处理装置中的处理内容的流程图。
[0015]标号说明
[0016]1:废液处理装置；2:分离处理构件；20:液槽；200:侧板；200a:槽；21:硅吸附板；210:被卡合片；211:卡合孔；22:阴极板；220:排出部；221:吸引管；222:吸引口 ；223:送出口 ；25:泵；3:回收构件；30:分离部；300:狭缝；300a:闸板；301:分离容器；302:氢气排出构件；31:吸附板移动部；32:管理构件；320:吸附时间计数部；321:指令部；322:分离次数存储部；323:判断部；324:报知部；33:保持部；330:基台；331:卡盘缸；332:缸主体；333:销；34:升降部；340:铅直滚珠丝杠；341:导轨；342:带；35:水平移动部；350:水平滚珠丝杠；351:导轨；352:吊持部；40:废液收纳箱；41:净水贮水箱；410:箱主体；411:消泡倾斜板；412:供给口 ；5:电场形成部；50:阳极；51:阴极；60:娃屑箱；61:重量计:排出部；70:输送配管；71:开闭阀。
【具体实施方式】
[0017]图1所示的废液处理装置I具备从废液分离成硅屑和不含硅屑的净水的分离处理构件2、和回收通过分离处理构件2分离出的硅屑的回收构件3。
[0018]分离处理构件2具备液槽20，所述液槽20由合成树脂等的绝缘部件形成且积存作为处理对象的废液。在液槽20的前方，设置有收纳含有硅屑的废液的废液收纳箱40，通过未图示的泵，将废液从废液收纳箱40导入到液槽20中。如图2所示，液槽20是上部开口的容器，在长度方向的侧板200的内周面上形成有铅直方向上延长的槽200a。
[0019]在槽200a中交替插入了硅吸附板21和阴极板22。硅吸附板21和阴极板22分别等间隔地配置有多个。
[0020]硅吸附板21由铜、不锈钢等导电性部件构成，在液槽20中等间隔地配设有多个。在硅吸附板21的上部，在宽度方向上隔开间隔地以向上方突出的状态形成了一对被卡合片210。在被卡合片210中形成有在硅吸附板21的宽度方向上贯通的卡合孔211。
[0021]阴极板22与硅吸附板21相对，并且与硅吸附板21隔开间隔地配设有多个。在阴极板22的上部，具备将液槽20的澄清液体搬出到液槽20外的搬出部220。搬出部220具备在阴极板22的宽度方向上伸展的圆筒形状的吸引管221。在吸引管221的侧面上沿着长度方向设置有多个吸引口 222。此外，在一个端部上形成有送出口 223。吸引管220能够从吸引口 221吸入液槽20中的澄清液体，并从送出口 223搬出到液槽20外。
[0022]如图3所示，插入到液槽20的硅吸附板21与由直流电源构成的电场形成部5的阳极50连接，带正电而成为阳极，阴极板22与直流电源5的阴极51连接，带负电而成为阴极，因此在硅吸附板21与阴极板22之间形成有电场。废液中的硅屑带负电，因此从带负电的阴极板22排斥开，被吸附到带正电的硅吸附板22。此外，阴极板22具备的送出口 223与输送泵25连通。
[0023]如图1所示，回收构件3具备:分离部30，其配设于分离处理构件2的侧方，使硅屑从硅吸附板21分离；吸附板移动部31，其将硅吸附板21从分离处理构件2的液槽20中移动至分离部30 ;以及管理构件32，其与硅吸附板21电连接并对硅吸附板21进行管理。
[0024]分离部30具备:箱状的分离容器301，其在上表面设有能够供硅吸附板21通过的狭缝300并且下方开口 ；未图示的一对刮具，其设于分离容器301内；和未图示的旋转机构，其用于使刮具 旋转。在狭缝300设有闸板300a，所述闸板300a用于供硅吸附板21通过且防止异物的进入。刮具由橡胶等具有弹性的合成树脂构成，将收纳于分离容器301内的硅吸附板21定位于刮具彼此之间。刮具形成为带板状，长度方向设为与液槽20的宽度方向平行。通过利用旋转机构驱动刮具而使其旋转，刮具的下端部与在分离容器301内收纳的硅吸附板21的表面接触或分离。旋转机构使刮具的中央部绕与液槽20的宽度方向平行的轴心旋转。
[0025]在分离部30的下方，配设有收纳通过回收构件3回收的硅屑的硅屑箱60。硅屑箱60是上部开口的容器，所述硅屑箱60与分离部30的下方连接，并贮藏由分离部30分离的硅屑。
[0026]而且,分离部30具备氢气排出构件302,所述氢气排出构件302将从忙藏于娃屑箱60的硅屑产生的氢气排出到外部。氢气排出构件302贯通分离容器301的壁，从而将分离容器301的内外连通，使分离容器301的内部向大气敞开。
[0027]在硅屑箱60的下方配设有重量计61。重量计61构成为具备公知的测压元件等，测定硅屑箱60的重量，并将测定结果输出至管理构件32。
[0028]如图1所示，吸附板移动部31配设于液槽20的上方，并具备保持硅吸附板21的保持部33、使保持部33升降的升降部34、以及使保持部33和升降部34水平移动的水平驱动部35。
[0029]保持部33具有在内部具有螺母的基台330和安装于基台330的下方的一对卡盘缸331，卡盘缸331在液槽20的宽度方向隔开间隔地进行配设。卡盘缸331由以下部分构成:固定于基台330的缸主体332 ;以及从缸主体332自由出入的销333。销333形成为可插入到形成于娃吸附板21的被卡合片210的卡合孔211的圆柱状。
[0030]升降部34由以下部件构成:在铅直方向上伸展的铅直滚珠丝杠340 ;与铅直滚珠丝杠340平行地配设的导轨341 ；以及将未图示的电动机作为驱动源而使铅直滚珠丝杠340转动的带342，带342成为如下结构:使铅直滚珠丝杠340转动，从而保持部33的基台330被导轨341引导着进行升降。并且，通过基台330的升降，安装于基台330的卡盘缸331也进行升降，因此能够使卡合到卡盘缸331的销333的硅吸附板21升降。
[0031]水平驱动部35具备:在液槽20的长度方向上伸展的水平滚珠丝杠350 ;与水平滚珠丝杠350平行地伸展的导轨351 ;吊持部352，其在内部具有与滚珠丝杠350旋合的螺母并且吊持升降部34 ;以及使水平滚珠丝杠350转动的未图示的电动机，水平驱动部35是如下结构:水平滚珠丝杠350通过电动机的驱动而转动，由此吊持部352被导轨341引导着在水平方向上移动。水平滚珠丝杠350和导轨351具有从液槽20的上方到分离部30的上方的长度，能够通过吊持部352的水平移动，将保持部33所保持的硅吸附板21从液槽20移动到分离部30。
[0032]管理构件32具备CPU和存储器，所述管理构件32具备:吸附时间计数部320，其按照各个硅吸附板21中的每一个对向硅吸附板21通电且吸附硅的累积时间进行计数；指令部321，其将指令送出到吸附板移动部31和分离部30，所述指令表示应将累积时间经过规定的时间的硅吸附板21移动到分离部30而从硅吸附板21分离出硅屑；分离次数存储部322，其按照各个硅吸附板21中的每一个对由分离部30从硅吸附板21分离出硅屑的次数进行计数并存储；判断部323，其判断存储在分离次数存储部322中的分离次数是否经过了规定的次数；以及报知部324，其在判断部323判断为分离次数经过了规定的次数的情况下报知该消息。
[0033]在液槽20 的前方配设有从液槽20排出净水的排出部7。排出部7具备配设于液槽20的侧面的输送配管70、和与输送配管70连结的开闭阀71。
[0034]在废液收纳箱40的上方配设有净水贮水箱41，所述净水贮水箱41贮存由分离处理构件2分离出的不含硅屑的净水。净水贮水箱41具备箱主体410、用于消除净水中的气泡的倾斜消泡板411、和多个供给口 412。
[0035]消泡倾斜板411形成为沿着箱主体410的长度方向在上下方向上倾斜的平板状，将箱主体410分隔为上下两个空间。在消泡倾斜板411的长边侧和箱主体410的内壁之间设有供净水通过的间隙。
[0036]供给口 412将从排出口 7排出的净水供给至箱主体410内。供给口 412设置有相同数量的排出部7的输送配管70和开闭阀71。供给口 412贯通箱主体410的上部。
[0037]以下，参照图4的流程图说明如上那样构成的废液处理装置I的动作。
[0038]在废液处理装置I中，通过图3所示的电场形成部5在硅吸附板21与阴极板22之间形成电场。另一方面，将在研磨装置、切削装置等中产生的带硅屑的废液收纳到处理装置I的废液收纳箱40中。
[0039]在设为关闭开闭阀71的状态，将废液收纳箱40内的废液收纳到液槽20时，废液积存到液槽20内，成为硅吸附板21和阴极板22浸溃在废液内的状态。
[0040]在液槽20内积存规定的量的废液时，打开所有的开闭阀71。在打开所有的开闭阀71之前，带负的电荷的硅屑被吸附到带正电的硅吸附板21。另一方面，去除硅屑后的净水由泵25从配设于图3所示的阴极板22的上部的吸引口 222吸引出，经过送出口 223到达图1所示的供给口 412，并被引导至净水贮水箱41 (步骤SI)。
[0041]构成管理构件32的吸附时间计数部320按照每个硅吸附板21，对与电场形成部5的阳极50通电而吸附硅的累积时间进行计数(步骤S2)。并且，当存在该累积时间经过了规定的时间的硅吸附板21时，指令部321将指令送出到吸附板移动部31和分离部30，所述指令使该硅吸附板21移动到分离部30而从该硅吸附板21分离去除硅屑(步骤S3、S4)。另一方面，当不存在累积吸附时间经过规定的时间的硅吸附板的情况下，继续进行从废液分离硅屑的处理(步骤S3、SI)。
[0042]当从指令部321输出应分离除去硅屑的指令时，通过在管理构件32进行的管理下使水平滚珠丝杠350转动，使保持部33移动到要分离硅屑的硅吸附板21的正上方。并且，在该状态下，通过使铅直滚珠丝杠340转动而降下保持部33时，将卡盘缸331定位到硅吸附板21的被卡合片210的水平方向延长部分上。
[0043]接着，通过使卡盘缸331的销333从缸主体332突出，在形成于被卡合片210的卡合孔211中插入并卡合销333。并且，通过在该状态下使铅直滚珠丝杠340朝反向转动而使保持构件33上升，将硅吸附板21提起到液槽20的上方。
[0044] 在这样将硅吸附板21提起到液槽20的上方时，在管理构件32进行的控制下，关闭提起后的硅吸附板21的近邻的开闭阀71，并停止自此之后的向净水贮水箱41的输送。
[0045]接着，吸附板移动部31通过使水平滚珠丝杠350转动，将保持硅吸附板21的保持部33移动到分离部30的正上方。并且，通过使铅直滚珠丝杠340转动而降下保持部33，将硅吸附板21经过狭缝300插入到分离容器301内。此时，分离部30具备的未图示的一对刮具成为相互隔开间隔地平行的状态。
[0046]在硅吸附板21降下后，使刮具的下端部接触硅吸附板21，并在该状态下使铅直滚珠丝杠340朝反向转动而使保持部33和所保持的硅吸附板21上升时，随着硅吸附板21上升，通过刮具刮落而分离出硅屑(步骤S5)。分离出的硅屑被收纳到硅屑箱60中。
[0047]这样分离硅屑后的硅吸附板21上升，并被提起到分离部30的上方时，使水平滚珠丝杠350与向分离部30搬送硅吸附板22时相反的方向转动，从而将硅吸附板21移动到液槽20的原来的收纳位置的上方。然后，使铅直滚珠丝杠340转动，使硅吸附板21返回到液槽20的原来的位置。
[0048]构成管理构件32的分离次数存储部322按照每个硅吸附板确保存储硅吸附板21的分离次数的存储区域，当步骤S5完成后，对该硅吸附板21的分离次数进行向上计数并存储到分离次数存储部322中(步骤S6)。
[0049]构成管理构件32的判断部323判断分离次数存储部322所存储的分离次数是否达到了规定的次数(步骤S7)，在判断为分离次数达到了规定的次数的情况下，从报知部324向操作员报知该情况(步骤S8)。认为硅屑的分离次数达到了规定的次数的硅吸附板21由于分离作业而劣化，因此能够通过从液槽20中该取出硅吸附板21，并重新将另一硅吸附板收纳到液槽20，长期高效地将含有硅屑的废液分离成硅屑和净水。
[0050]重量计61测定硅屑箱60的重量，在达到规定的重量时，将该情况通知给管理构件32，管理构件32通过从报知构件324报知该情况，向操作员促使从硅屑箱60取出硅屑。
[0051]如上所述，废液处理装置I能够通过带正电的硅吸附板21吸附硅屑，将废液分离成硅屑和净水。因此，能够将含有硅屑的废液高效地设为可再利用的状态。
[0052]此外，在吸附硅屑的累积时间达到了规定的时间的情况下，从硅吸附板21进行硅屑的去除，因此能够在吸附能力降低前的适当时机去除硅屑。而且，按照各个硅吸附板21中的每一个进行上述管理，因此能够按照每个硅吸附板始终维持吸附能力。
[0053]并且，按照各个硅吸附板21中的每一个对分离次数进行计数，对于分离次数达到了规定的次数的硅吸附板21，能够通过报知该情况，将劣化后的硅吸附板更换为新的硅吸附板，因此能够长期高效地将含有硅屑的废液分离成硅屑和净水。
【权利要求】
1.一种废液处理装置，其将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的净水， 该废液处理装置的特征在于， 该废液处理装置由以下部分构成: 分离处理构件，其从废液分离成硅屑和不含硅屑的净水；以及 回收构件，其回收通过该分离处理构件分离出的硅屑， 该分离处理构件具备: 液槽，其积存该废液； 硅吸附板，其带有正电并用于吸附该废液中的带负电的硅屑，且该硅吸附板在该液槽中等间隔地配置了多个； 阴极板，其带有负电，且以与该硅吸附板相对并与该硅吸附板隔开间隔的方式交替地配设了多个； 搬出部，其配设在该阴极板的上部并用于将澄清液体搬出到该液槽外；以及电场形成部，其以该硅吸附板为阳极并以该阴极板为阴极，在该硅吸附板与该阴极板之间形成电场， 该回收构件具备: 分离部，其从该硅吸附板分离出硅屑； 吸附板移动部，其将该硅吸附板从该分离处理构件的该液槽中移动至该分离部；以及 管理构件，其对该硅吸附板进行管理， 该管理构件具备: 吸附时间计数部，其按照各个硅吸附板中的每一个对向该硅吸附板通电而吸附了硅的累积时间进行计数； 指令部，其送出指令，该指令表示应将该累积时间经过了规定的时间的硅吸附板移动至分离部而从该硅吸附板分离出硅屑； 分离次数存储部，其按照各个硅吸附板中的每一个对通过该分离部从该硅吸附板分离出硅屑的次数进行计数并存储；以及 判断部，其判断存储在该分离次数存储部中的分离次数是否达到了规定的次数，该废液处理装置具备报知部，在该判断部判断为各个硅吸附板的分离次数达到了规定的次数的情况下，该报知部进行报知。
【文档编号】C02F1/48GK103896375SQ201310728262
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2013年12月25日 优先权日:2012年12月26日
【发明者】吉田干, 藤田敦史, 石黑裕隆 申请人:株式会社迪思科