有机源蒸发孔清理设备、系统及其清理方法与流程

本发明涉及有机源清理技术领域，特别是涉及一种有机源蒸发孔清理设备、系统及其清理方法。

背景技术：

oled(organiclight-emittingdiode，有机发光二极管)显示装置多需要采用有机源进行蒸镀工艺制备，蒸镀工艺中，可采用多种材料进行混合蒸镀，以改善载流子的注入、提高传输能力，可增加其发光效率、使用寿命等。

有机源的蒸发孔孔径通常较小，有机源在进行蒸镀工艺之后，在蒸发孔的内壁上很容易堆积升华型材料，致使蒸发孔发生堵塞。

目前采用的蒸发孔的清理方法主要是，通过机械式插杆插入蒸发孔中对蒸发孔内壁进行清理，清理过程中，在短时间内，人为使用插杆难以将蒸发孔的内壁清理干净。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明提供一种有机源蒸发孔清理设备、系统及其清理方法，主要解决的技术问题是在短时间内，人为机械式对有机源蒸发孔清理，难以将蒸发孔的内壁清理干净。

为达到上述目的，本发明主要提供如下技术方案：

一方面，本发明的实施例提供一种有机源蒸发孔清理设备，包括：

扣压部件，用于扣合于有机源的蒸发孔；

驱动部件，其驱动端与所述扣压部件连接，以驱动所述扣压部件在第一位置和第二位置之间的移动。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，前述的有机源蒸发孔清理设备，其中扣压部件包括第一端开口的套筒，所述套筒的内径尺寸大于有机源蒸发孔的内径尺寸。

可选的，前述的有机源蒸发孔清理设备，其中所述套筒包括保温材质制备的第一筒。

可选的，前述的有机源蒸发孔清理设备，其中所述套筒的内壁设置有材料收集器。

可选的，前述的有机源蒸发孔清理设备，其中所述材料收集器包括设置在套筒的内壁的针刺或挂片。

可选的，前述的有机源蒸发孔清理设备，其中所述针刺或挂片的端部朝向套筒的第二端倾斜。

可选的，前述的有机源蒸发孔清理设备，其中还包括：

压力传感器，其压力检测端位于所述套筒内。

另一方面，本发明的实施例提供一种有机源系统，包括：

有机源，其上设置有蒸发孔；

清理设备，采用上述的有机源蒸发孔清理设备；

当扣压部件在第一位置，扣压部件扣合于有机源的蒸发孔；

当扣压部件在第二位置，扣压部件扣合与有机源的蒸发孔分离。

再一方面，本发明的实施例提供一种有机源蒸发孔清理设备的清理方法，包括：

驱动部件驱动扣压部件至第一位置，使扣压部件扣合于有机源的蒸发孔，使蒸发状态的蒸发孔升压；

驱动部件驱动扣压部件至第二位置，使扣压部件从扣合于有机源的蒸发孔的位置分离。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，前述的清理方法，其中驱动部件驱动扣压部件至第二位置，之前还包括：

检测蒸发孔内的压力值；

驱动部件驱动扣压部件至第二位置，具体为：

若检测的压力值大于设定阈值，驱动部件驱动扣压部件至第二位置。

借由上述技术方案，本发明技术方案提供的有机源蒸发孔清理设备、系统及其清理方法至少具有下列优点：

本发明实施例提供的技术方案中，在有机源蒸发孔发生堵塞后，可通过驱动部件驱动扣压部件至第一位置，使扣压部件扣合于有机源的蒸发孔，蒸发状态的蒸发孔的气体无法及时散出导致蒸发孔内部升压。之后，通过驱动部件驱动扣压部件至第二位置，使扣压部件从扣合于有机源的蒸发孔的位置分离，在蒸发孔内部高压的作用下，蒸发孔内壁附着的堵塞物质会被高压气流疏散，相对于现有技术中机械式的清理方式，可提高蒸发孔内壁的清理效率。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1是本发明的实施例提供的一种有机源蒸发孔清理设备的结构示意图；

图2是本发明的实施例提供的一种有机源蒸发孔清理设备及蒸发源的结构示意图；

图3是本发明的实施例提供的一种有机源蒸发孔蒸发状态的结构示意图；

图4是本发明的实施例提供的一种有机源蒸发孔清理设备的套筒俯视结构示意图；

图5是本发明的实施例提供的一种具体的有机源蒸发孔清理设备的套筒俯视结构示意图；

图6是本发明的实施例提供的一种具体的有机源蒸发孔清理设备的套筒主视剖视结构示意图；

图7是本发明的实施例提供的一种有机源蒸发孔清理设备清理方法的流程示意图；

图8是本发明的实施例提供的一种具体的有机源蒸发孔清理设备清理方法的流程示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的有机源蒸发孔清理设备、系统及其清理方法其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。

本实施例提供的一种有机源蒸发孔清理设备，对蒸发孔清理中，通过驱动部件驱动扣压部件扣合于有机源的蒸发孔，使蒸发状态的蒸发孔升压，之后再驱动部件驱动扣压部件与有机源的蒸发孔分离，在蒸发孔高压气流下，将蒸发孔内部的堵塞物质分离。

图1至图3为本发明提供的有机源蒸发孔清理设备一实施例，请参阅图1至图3，本发明的一个实施例提出的有机源蒸发孔清理设备，包括：扣压部件10、驱动部件20。扣压部件10用于扣合于有机源的蒸发孔；驱动部件20驱动端与所述扣压部件10连接，以驱动所述扣压部件10在第一位置和第二位置之间的移动。

在有机源蒸发孔z10发生堵塞后，可通过驱动部件20驱动扣压部件10至第一位置，使扣压部件10扣合于有机源的蒸发孔z10，蒸发状态的蒸发孔z10的气体无法及时散出导致蒸发孔内部升压。之后，通过驱动部件20驱动扣压部件10至第二位置，使扣压部件10从扣合于有机源的蒸发孔z10的位置分离，在蒸发孔z10内部高压的作用下，蒸发孔z10内壁附着的堵塞物质会被高压气流疏散，相对于现有技术中机械式的清理方式，可提高蒸发孔内壁的清理效率。

扣压部件的个数可与有机源蒸发孔的个数相同，每个扣压部件与每个有机源蒸发孔相互一一对应。容易理解的是，扣压部件的具体实施中，扣压部件的具体形式也可以为一个扣压部件对多个有机源蒸发孔的结构，以扣压部件为套筒为例，当每个扣压部件与每个有机源蒸发孔相互一一对应，扣压部件包括第一端开口的套筒，所述套筒的内径尺寸大于有机源蒸发孔的内径尺寸。驱动部件驱动所述扣压部件在第一位置，每个扣压部件扣合于有机源的每个蒸发孔。当每个扣压部件与多个个有机源蒸发孔，驱动部件驱动所述扣压部件在第一位置，每个扣压部件扣合于有机源的多个蒸发孔。

其中，套筒的深度可大于有机源蒸发孔的高度，以使套筒能够完全的套在蒸发孔外侧，易于实现蒸发孔的增压。

套筒在扣压在蒸发状态的蒸发孔中，为了尽可能的保持蒸发孔内部的温度，如图4所示，套筒可包括有保温材质制备的第一筒11，在对蒸发孔清理过程，可尽量保持蒸发孔的工艺温度，扣压部件扣合与有机源的蒸发孔分离后，即可继续生产。具体的，套筒还包括有套在第一筒11外的第二筒12，第二筒12可由金属材质制备，以起到对第一筒11的保护作用。

如图5所示，在套筒的内壁还可设置有材料收集器13，蒸发孔内壁附着的堵塞物质会被高压气流疏散中，被疏塞的至少部分堵塞物质可被材料收集器收集，从而避免疏散的堵塞物质对外界的污染。具体的，如图6所示，材料收集器可采用刺状，材料收集器包括设置在套筒的内壁的针刺，为了针刺更加顺利的将疏散的堵塞物质挂住，针刺131的端部朝向套筒的第二端10a倾斜。本发明提供的另一个实施例中，材料收集器可采用片状，材料收集器包括设置在套筒的内壁的挂片，为了挂片更加顺利的将疏散的堵塞物质挂住，挂片的端部朝向套筒的第二端倾斜。容易理解的是，材料收集器的结构形式还可采用其他的弯曲挂条、收集槽等结构形式。

驱动部件的动力机构可采用电动机、液压机构、气动机构等，能够实现动力输出即可，本发明实施例不做具体限定。

在具体的实施当中，在上述实施例中的清理设备中，还可以包括有压力传感器，压力传感器压力检测端位于所述套筒内，扣压部件扣合于有机源的蒸发孔后，压力传感器可实时的测量有机源的蒸发孔内部的压力，在压力传感器检测的压力值达到设定阈值之后，驱动部件驱动扣压部件至第二位置，使扣压部件从扣合于有机源的蒸发孔的位置分离。

除了通过压力传感器的控制之外，在具体的实施当中，本发明提供的另一个实施例中，清理设备中，还可以包括有计时器，扣压部件扣合于有机源的蒸发孔后，计时器可进行计时，在计时器的计时达到设定阈值之后，驱动部件驱动扣压部件至第二位置，使扣压部件从扣合于有机源的蒸发孔的位置分离。

基于同一发明构思，本发明提供的有机源蒸系统一实施例，本发明的一个实施例提出的有机源系统，包括：有机源，其上设置有蒸发孔。有机源蒸发孔清理设备，包括：扣压部件、驱动部件。扣压部件用于扣合于有机源的蒸发孔；驱动部件驱动端与所述扣压部件连接，以驱动所述扣压部件在第一位置和第二位置之间的移动。当扣压部件在第一位置，扣压部件扣合于有机源的蒸发孔。当扣压部件在第二位置，扣压部件扣合与有机源的蒸发孔分离。

本发明实施例提供的有机源系统，在蒸发孔发生堵塞后，可通过驱动部件驱动扣压部件至第一位置，使扣压部件扣合于有机源的蒸发孔，蒸发状态的蒸发孔的气体无法及时散出导致蒸发孔内部升压。之后，通过驱动部件驱动扣压部件至第二位置，使扣压部件从扣合于有机源的蒸发孔的位置分离，在蒸发孔内部高压的作用下，蒸发孔内壁附着的堵塞物质会被高压气流疏散，相对于现有技术中机械式的清理方式，可提高蒸发孔内壁的清理效率。

本实施例中所述的有机源蒸发孔清理设备可直接采用上述实施例提供的所述有机源蒸发孔清理设备，具体的实现结构可参见上述实施例中描述的相关内容，此处不再赘述。

基于同一发明构思，如图7所示，本发明提供的上述实施例的有机源蒸发孔清理设备的清理方法，包括：

s10、驱动部件驱动扣压部件至第一位置，使扣压部件扣合于有机源的蒸发孔，使蒸发状态的蒸发孔升压；

s20、驱动部件驱动扣压部件至第二位置，使扣压部件从扣合于有机源的蒸发孔的位置分离。

在有机源蒸发孔发生堵塞后，可通过驱动部件驱动扣压部件至第一位置，使扣压部件扣合于有机源的蒸发孔，蒸发状态的蒸发孔的气体无法及时散出导致蒸发孔内部升压。之后，通过驱动部件驱动扣压部件至第二位置，使扣压部件从扣合于有机源的蒸发孔的位置分离，在蒸发孔内部高压的作用下，蒸发孔内壁附着的堵塞物质会被高压气流疏散，相对于现有技术中机械式的清理方式，可提高蒸发孔内壁的清理效率。

如图8所示，在具体的实施当中，可通过检测蒸发孔的压力值判断是否驱动扣压部件抬起至第二位置，步骤s20之前，还包括：

s11、检测蒸发孔内的压力值；

步骤s20，具体为：若检测的压力值大于设定阈值，驱动部件驱动扣压部件至第二位置。

在具体的实施当中，可通过检测蒸发孔的扣合时间判断是否驱动扣压部件抬起至第二位置，步骤s20之前，还包括：

对驱动部件驱动扣压部件至第一位置后计时；

步骤s20，具体为：若计时时间大于设定阈值，驱动部件驱动扣压部件至第二位置。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

可以理解的是，上述装置中的相关特征可以相互参考。另外，上述实施例中的“第一”、“第二”等是用于区分各实施例，而并不代表各实施例的优劣。

在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

类似地，应当理解，为了精简本公开并帮助理解各个发明方面中的一个或多个，在上面对本发明的示例性实施例的描述中，本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的装置解释成反映如下意图：即所要求保护的本发明要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如下面的权利要求书所反映的那样，发明方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本发明的单独实施例。

本领域那些技术人员可以理解，可以对实施例中的装置中的部件进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个装置中。可以把实施例中的部件组合成一个部件，以及此外可以把它们分成多个子部件。除了这样的特征中的至少一些是相互排斥之外，可以采用任何组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何装置的所有部件进行组合。除非另外明确陈述，本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的替代特征来代替。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在下面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。本发明的各个部件实施例可以以硬件实现，或者以它们的组合实现。

应该注意的是上述实施例对本发明进行说明而不是对本发明进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的部件或组件。位于部件或组件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的部件或组件。本发明可以借助于包括有若干不同部件的装置来实现。在列举了若干部件的权利要求中，这些部件中的若干个可以是通过同一个部件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。