一种靶除尘装置及除尘方法与流程

本发明属于惯性约束聚变领域，具体涉及一种靶除尘装置及除尘方法。

背景技术：

在惯性约束聚变靶领域，靶表面的微小附着物会影响靶的整体质量，由于靶的精密化和小型化很难用常规手段将靶表面的微小附着物去除掉，因此，为了提高靶的质量，需要解决靶的清洁问题。

技术实现要素：

本发明所要解决的一个技术问题是提供一种靶除尘装置，本发明所要解决的另一个技术问题是提供一种靶除尘方法。

本发明的靶除尘装置，其特点是：所述的靶除尘装置含有电极板ⅰ、电极板ⅱ、电极板支撑、支撑杆、底座、连接管、吹气孔和靶杆插孔。靶除尘装置的连接关系是：底座上设置有支撑杆和靶杆插孔，支撑杆与底座竖直固定连接，电极板支撑设置在支撑杆上，与支撑杆竖直滑动连接；电极板支撑上开有方孔，电极板ⅰ和电极板ⅱ设置在方孔内的相对的两面，与电极板支撑固定连接，在方孔的另外相对的两面开有吹气孔，吹气孔与连接管相通，吹气孔为通孔，连接管设置在电极板支撑的外侧。

所述的电极板ⅰ和电极板ⅱ平行设置。

所述的吹气孔设置在电极板ⅰ和电极板ⅱ之间的中间位置。

所述的靶杆插孔设置在底座上对应电极板支撑方孔投影的中间位置。

本发明的靶除尘方法包括以下步骤：

a.将靶杆插在靶杆插孔内；

b.调整电极板支撑高度使靶杆上的靶置于电极板ⅰ和电极板ⅱ之间，并正对吹气孔；

c.连接管与外接的气源连通，打开气源，气体从吹气孔中吹出；

d.在电极板ⅰ上接正高压或负高压，电极板ⅱ接零电位；

e.持续吹气，直至靶达到所需的清洁要求。

本发明的靶除尘装置能够清洁一般方法无法清洁的附着在靶表面上的微小颗粒，适用于惯性约束聚变靶零件和成品靶的表面灰尘的去除，具有结构简单，操作方便的优点。

本发明的靶除尘方法通过使电极板ⅰ和电极板ⅱ之间的电场，使得靶上的附着物带电，附着物沿电场运动，与靶分离，从而达到清洁靶的目的。

附图说明

图1为本发明的靶除尘装置的示意图（主视图）；

图2为图1的a-a剖视图；

图3为图1的b-b剖视图；

图中，1.电极板ⅰ2.电极板ⅱ3.电极板支撑4.支撑杆5.底座6.连接管7.吹气孔8.靶杆插孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

如图1~3所示，本发明的靶除尘装置含有电极板ⅰ1、电极板ⅱ2、电极板支撑3、支撑杆4、底座5、连接管6、吹气孔7和靶杆插孔8。靶除尘装置的连接关系是：底座5上设置有支撑杆4和靶杆插孔8，支撑杆4与底座5竖直固定连接，电极板支撑3设置在支撑杆4上，与支撑杆4竖直滑动连接。电极板支撑3上开有方孔，电极板ⅰ1和电极板ⅱ2设置在方孔内的相对的两面，与电极板支撑3固定连接，在方孔的另外相对的两面开有吹气孔7，吹气孔7与连接管6相通，吹气孔7为通孔，连接管6设置在电极板支撑3的外侧。

所述的电极板ⅰ1和电极板ⅱ2平行设置。

所述的吹气孔7设置在电极板ⅰ1和电极板ⅱ2之间的中间位置。

所述的靶杆插孔8设置在底座8上对应电极板支撑3方孔投影的中间位置。

实施例1

本实施例中电极板支撑3采用有机玻璃加工，电极板ⅰ1和电极板ⅱ2相距15毫米。

本实施例的工作过程如下：

a.将靶杆插在靶杆插孔8内；

b.调整电极板支撑3高度使靶杆上的靶置于电极板ⅰ1和电极板ⅱ2之间，并正对吹气孔7；

c.连接管6与外接的气源连通，打开气源，气体从吹气孔7中吹出；

d.在电极板ⅰ1上接正高压或负高压，电极板ⅱ2接零电位；

e.持续吹气，直至靶达到所需的清洁要求。

实施例2

本实施例与实施例1的实施方式基本相同，主要区别在于，所述的电极板ⅰ和电极板ⅱ相距20毫米。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种靶除尘装置及除尘方法，所述的靶除尘装置含有电极板Ⅰ、电极板Ⅱ、电极板支撑、支撑杆、底座、连接管、吹气孔、靶杆插孔，电极板支撑上开有方孔，电极板Ⅰ和电极板Ⅱ设置在方孔内的相对的两面，与电极板支撑固定连接，在方孔的另外相对的两面开有吹气孔，吹气孔与连接管相通，吹气孔为通孔。本发明的靶除尘装置能够清洁一般方法无法清洁的附着在靶表面上的微小颗粒，适用于惯性约束聚变靶零件和成品靶的表面灰尘的去除，具有结构简单，操作方便的优点。本发明的靶除尘方法通过使电极板Ⅰ和电极板Ⅱ之间的电场，使得靶上的附着物带电，附着物沿电场运动，与靶分离，从而达到清洁靶的目的。

技术研发人员：魏胜;蒋柏斌;谢军;袁光辉;杨洪;童维超;高莎莎;梁榉曦;任玮
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
技术研发日：2019.02.01
技术公布日：2019.04.23