一种尾气处理系统的制作方法

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种icp机台的尾气处理系统。

背景技术：

现有技术中，因干蚀刻机台工艺使用气体主要为bcl3和cl2，工艺所产生的尾气需经处理后才可排放入大气中，而传统处理方法是将icp的尾气通过尾气处理管路直接导入尾气处理器（常用尾气处理器为水箱）中，但是因蚀刻工艺产生的生成物较多，包括气体和粉尘等，导致尾气处理管路频繁出现堵塞，造成尾气无法正常排放并存在气体泄漏的风险。另外，尾气处理管路外因包覆有加热带和保护装置，拆解较不方便，无法对尾气处理管路进行清洁处理。

技术实现要素：

为解决现有技术中的问题，本实用新型提供一种尾气处理系统，可以实现对尾气处理管路的清洗和吹扫，防止尾气处理管路的堵塞现象，具体技术方案为：

一种尾气处理系统包括：干泵，与icp机台连接；多级水箱，用于处理尾气，底部具有进液口和出液口，顶端具有进气口和排气口；尾气处理管路，连接干泵和进气口，靠近干泵一端具有第一阀门，靠近进气口一端具有第二阀门；其特征在于：还包括冲洗管路，所述冲洗管路的一端通过水泵与水箱的底端连接，另一端通过第三阀门与尾气处理管路连接，所述第三阀门和尾气处理管路之间具有压缩空气进气口和压力表。

优选的，关闭所述第三阀门，开启所述第一阀门和第二阀门，icp机台的尾气通过尾气处理管路进入多级水箱内进行尾气处理。

优选的，关闭所述第一阀门，开启所述第二阀门和第三阀门，多级水箱底部的水通过冲洗管路对尾气处理管路进行冲洗处理。

优选的，关闭所述第一阀门和第三阀门，开启所述第二阀门，所述压缩空气进气口通入压缩空气，对尾气处理管路进行吹扫。

优选的，所述多级水箱为三级水箱。

优选的，所述多级水箱的底部设置有检测底层水ph的ph检测器。

优选的，所述多级水箱的底部设置有检测底层水水阻值的orp检测器。

优选的，所述多级水箱的底部设置有加热底层水的加热器。

优选的，所述多级水箱的出液口连接有排出管路，所述排出管路上设置有控制液体排出的第四阀门。

本实用新型于多级水箱和尾气处理管路之间增加冲洗管路和水泵，在尾气处理管路不拆解的前提下，可以采用多级水箱中的水对尾气处理管路进行冲洗，防止粉尘的粘附；同时，在冲洗管路和尾气处理管路之间增加压缩空气进气口，通过压缩空气对尾气处理管路进行吹扫，保证其干燥，也防止粉尘的粘附，进而防止尾气处理管路堵塞。

附图说明

图1为本实用新型之尾气处理系统之结构示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

参看附图1，本实用新型提供一种尾气处理系统，包括：干泵10，与icp机台连接；多级水箱20，用于处理尾气，底部具有进液口21和出液口22，顶端具有进气口23和排气口24；尾气处理管路30，连接干泵10和进气口23，靠近干泵10一端具有第一阀门31，靠近进气口23一端具有第二阀门32；冲洗管路40，其一端通过水泵50与水箱20的底端连接，另一端通过第三阀门41与尾气处理管路30连接，第三阀门41和尾气处理管路30之间还具有压缩空气进气口42和监控尾气处理管路30内压力的压力表43。

其中多级水箱20为三级水箱20，其底设置有检测底层水ph的ph检测器25、检测底层水的水阻值的orp检测器26、以及加热底层水的加热器27，出液口22连接有排出管路60以及设置在排出管路60上的控制液体排出的第四阀门61。

当多级水箱20底层水的ph、水阻值以及温度达到标准值时，底层水可以排放或者对尾气处理管路30进行冲洗。多级水箱20内的水对尾气多次处理后，则需更换水。更新水时，打开第四阀门61，尾气处理后的水则通过出液口22和排出管路60排出；同时，厂务端的纯净水则通过多级水箱20的进液口21进入水箱内。

具体使用过程中，尾气处理时，关闭第三阀门41，开启第一阀门31和第二阀门32，icp机台尾气通过干泵10泵入尾气处理管路30内，并进入多级水箱30内进行尾气处理，经多级水箱30处理后的尾气，通过排气口24排出；尾气管路30冲洗时，首先关闭第一阀门31和第二阀门32，打开第三阀门41和压缩空气进气口42，然后观察压力表43的压力值的变化，当压力值变化范围小于10psi，则打开第二阀门32和水泵50，多级水箱20底部的水通过水泵50和冲洗管路40对尾气处理管路30进行冲洗处理；尾气管路30吹扫时，关闭第一阀门31和第三阀门41，开启第二阀门32，压缩空气进气口42通入压缩空气，采用压缩空气对尾气处理管路30进行吹扫。

本实用新型于多级水箱20和尾气处理管路30之间增加冲洗管路40，在尾气处理管路30不拆解的前提下，可以采用多级水箱30中的水对尾气处理管路30进行冲洗，防止粉尘的粘附；同时，在冲洗管路40和尾气处理管路30之间增加压缩空气进气口42，通过压缩空气对尾气处理管路30进行吹扫，保证其干燥，也防止粉尘的粘附，进而防止尾气处理管路30堵塞。

应当理解的是，上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例，本实用新型的范围不限于该实施例，凡依本实用新型所做的任何变更，皆属本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种尾气处理系统，包括：

干泵，与icp机台连接；

多级水箱，用于处理尾气，底部具有进液口和出液口，顶端具有进气口和排气口；

尾气处理管路，连接干泵和进气口，靠近干泵一端具有第一阀门，靠近进气口一端具有第二阀门；

其特征在于：还包括冲洗管路，所述冲洗管路的一端通过水泵与水箱的底端连接，另一端通过第三阀门与尾气处理管路连接，所述第三阀门和尾气处理管路之间具有压缩空气进气口和压力表。

2.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：关闭所述第三阀门，开启所述第一阀门和第二阀门，icp机台的尾气通过尾气处理管路进入多级水箱内进行尾气处理。

3.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：关闭所述第一阀门，开启所述第二阀门和第三阀门，多级水箱底部的水通过冲洗管路对尾气处理管路进行冲洗处理。

4.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：关闭所述第一阀门和第三阀门，开启所述第二阀门，所述压缩空气进气口通入压缩空气，对尾气处理管路进行吹扫。

5.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：所述多级水箱为三级水箱。

6.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：所述多级水箱的底部设置有检测底层水ph的ph检测器。

7.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：所述多级水箱的底部设置有检测底层水水阻值的orp检测器。

8.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：所述多级水箱的底部设置有加热底层水的加热器。

9.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：所述多级水箱的出液口连接有排出管路，所述排出管路上设置有控制液体排出的第四阀门。

技术总结
本实用新型属于半导体设备领域，涉及一种尾气处理系统，包括：干泵；多级水箱，底部具有进液口和出液口，顶端具有进气口和排气口；尾气处理管路，连接干泵和进气口，靠近干泵一端具有第一阀门，靠近进气口一端具有第二阀门；其特征在于：还包括冲洗管路，所述冲洗管路的一端通过水泵与水箱的底端连接，另一端通过第三阀门与尾气处理管路连接，所述第三阀门和尾气处理管路之间具有压缩空气进气口和压力表。本实用新型通过于多级水箱和尾气处理管路之间增加冲洗管路和水泵，并在冲洗管路和尾气处理管路之间增加压缩空气进气口，采用多级水箱中的水和压缩空气分别对尾气处理管路进行冲洗和吹扫，从而防止尾气处理管路堵塞。

技术研发人员：刘红军;庄士贤;王猛;蔡家豪;张家豪
受保护的技术使用者：安徽三安光电有限公司
技术研发日：2019.07.10
技术公布日：2020.04.10