一种单晶炉副室清理装置、系统和方法与流程

本发明涉及单晶炉副室清理装置设备清理，更具体地说，涉及一种单晶炉副室清理装置、系统和方法。

背景技术：

1、在单晶拉制过程中，单晶炉副室清理装置炉体内壁的洁净度是影响晶体成晶的关键因素之一。单晶炉副室清理装置中主室主要用于硅料的加热反应，在主室中形成的晶体通过置于副室中的提升装置被向上提拉。在拉制过程中，氩气会从副室中通过并流入到主室中，而氩气携带着反应的挥发物会顺着副室向下运动，挥发物的残留物会在炉膛的内壁沉积，这些残留物若不及时清理，会在拉晶过程中落入主室中的硅料中，污染硅液纯度，严重影响晶体成晶质量。因此，保持单晶炉副室的清洁度，对于提高晶体的成品质量具有重要的意义。

2、对于单晶炉主室，其开口直径较大易于清理，而单晶炉副室为圆筒状结构，高度狭长，其内径约400mm，炉膛纵深约5500mm，并高于地面2m～5m设置，现有的对单晶炉副室的清理工作，采用在不锈钢圆管上接圆环，圆环上包裹无尘纸的清理方式，在清理副室时，需要操作人员手动将清理杆通入单晶炉副室，然后人为手动往复式推拉杆进行清理。这种清理方式操作困难，且受清理杆的长度限制容易导致清理不到位的问题。

3、因此，如何实现单晶炉副室的自动清理，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明的目的在于提供一种单晶炉副室清理装置，以实现单晶炉副室的自动清理。

2、本发明的另一目的在于提供一种单晶炉副室清理系统和一种单晶炉副室清理方法，以通过上述的单晶炉副室清理装置，实现对单晶炉副室的自动清理。

3、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

4、一种单晶炉副室清理装置，用于设置于重锤，所述重锤可升降设置于所述单晶炉副室内，包括清洁盘，所述清洁盘包括：

5、清洁布包裹环，用于包裹无尘纸或无尘布；

6、重锤连接部，与所述清洁布包裹环连接，并设置有用于与所述重锤连接的重锤连接孔。

7、优选地，在上述的单晶炉副室清理装置中，所述清洁布包裹环和所述重锤连接部通过盘体连接部连接，所述盘体连接部设置有减重槽。

8、优选地，在上述的单晶炉副室清理装置中，所述清洁布包裹环的直径小于所述单晶炉副室的直径，用于预留无尘纸或无尘布的包裹空间。

9、优选地，在上述的单晶炉副室清理装置中，所述清洁布包裹环的直径比所述单晶炉副室的直径小15mm～20mm。

10、一种单晶炉副室清理系统，包括：

11、单晶炉副室清理装置，为上述的单晶炉副室清理装置；

12、重锤，所述单晶炉副室清理装置设置于所述重锤；

13、控制装置，用于控制所述重锤的升降。

14、优选地，在上述的单晶炉副室清理系统中，所述控制装置包括用于控制所述重锤上升的上升控制部，以及用于控制所述重锤下降的下降控制部。

15、优选地，在上述的单晶炉副室清理系统中，所述控制装置还包括用于控制所述重锤上升极限位置的上升限位，以及用于控制所述重锤下降极限位置的下降限位。

16、一种单晶炉副室清理方法，包括步骤：

17、清洁布包裹，将无尘纸或无尘布包裹在如权利要求1所述的单晶炉副室清理装置上；

18、清洁盘安装，将所述单晶炉副室清理装置与所述重锤连接；

19、清理，控制所述重锤带动所述单晶炉副室清理装置在单晶炉副室内进行升降，以对所述单晶炉副室进行清理。

20、优选地，在上述的单晶炉副室清理方法中，所述清理步骤具体为通过控制装置控制所述重锤带动所述清洁盘在所述单晶炉副室内进行清理。

21、优选地，在上述的单晶炉副室清理方法中，所述控制装置控制所述重锤带动所述清洁盘以800mm/min的速度上升。

22、优选地，在上述的单晶炉副室清理方法中，所述控制装置控制所述重锤带动所述清洁盘以400mm/min的速度下降。

23、优选地，在上述的单晶炉副室清理方法中，所述清理步骤之后还包括步骤：

24、清洁布更换，对所述无尘纸或所述无尘布进行更换。

25、本发明提供的单晶炉副室清理装置用于设置于重锤，重锤可升降设置于单晶炉副室内，该单晶炉副室清理装置包括清洁盘，清洁盘包括清洁布包裹环和重锤连接部。清洁布包裹环用于包裹浸湿后的无尘纸或无尘布，重锤连接部与清洁布包裹环连接，并设置有用于与重锤连接的重锤连接孔。在需要对单晶炉副室进行清理时，可人工手动将清洁盘安装于重锤，并通过重锤带动清洁盘升降，从而实现对单晶炉副室壁面的均匀擦拭。相较于现有技术，本发明提供的单晶炉副室清理装置实现了对单晶炉副室的自动清理，降低了人工劳动强度，且结构简单，拆装方便。

26、本发明提供的单晶炉副室清理系统，包括单晶炉副室清理装置、重锤和控制装置。由于单晶炉副室清理装置为上述的单晶炉副室清理装置，所以同样具有上述优点，在此不再一一赘述。单晶炉副室清理装置设置于重锤，可随重锤的升降对单晶炉副室的内壁进行擦拭。控制装置用于控制重锤的升降。相较于现有技术，本发明提供的单晶炉副室清理系统结构简单，操作方便，且对直接应用了现有单晶炉的部分结构，构思巧妙。

27、本发明提供的单晶炉副室清理方法，包括步骤清洁布包裹、步骤清洁盘安装和步骤清理。步骤清洁布包裹具体为将无尘纸或无尘布包裹在上述的单晶炉副室清理装置上，单晶炉副室清理装置用于对无尘纸或无尘布进行支撑，并在清理过程中带动无尘纸或无尘布对单晶炉副室的内壁进行擦拭，实现清洁。步骤清洁盘安装具体为将单晶炉副室清理装置与重锤连接，使重锤可以带动单晶炉副室清理装置在单晶炉副室内进行升降。步骤清理具体为控制重锤带动单晶炉副室清理装置在单晶炉副室内进行升降，以对单晶炉副室进行清理。相较于现有技术，本发明提供的单晶炉副室清理方法操作简单，对单晶炉副室的清洁效果好，可实现单晶炉副室的自动清理，降低了作业人员的劳动强度。

技术特征：

1.一种单晶炉副室清理装置，用于设置于重锤，所述重锤可升降设置于所述单晶炉副室内，其特征在于，包括清洁盘(100)，所述清洁盘(100)包括：

2.如权利要求1所述的单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述清洁布包裹环(110)和所述重锤连接部(130)通过盘体连接部(120)连接，所述盘体连接部(120)设置有减重槽(121)。

3.如权利要求1所述的单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述清洁布包裹环(110)的直径小于所述单晶炉副室的直径，用于预留无尘纸或无尘布的包裹空间。

4.如权利要求1所述的单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述清洁布包裹环(110)的直径比所述单晶炉副室的直径小15mm～20mm。

5.一种单晶炉副室清理系统，其特征在于，包括：

6.如权利要求5所述的单晶炉副室清理系统，其特征在于，所述控制装置包括用于控制所述重锤上升的上升控制部，以及用于控制所述重锤下降的下降控制部。

7.如权利要求6所述的单晶炉副室清理系统，其特征在于，所述控制装置还包括用于控制所述重锤上升极限位置的上升限位，以及用于控制所述重锤下降极限位置的下降限位。

8.一种单晶炉副室清理方法，其特征在于，包括步骤：

9.如权利要求8所述的单晶炉副室清理方法，其特征在于，所述清理步骤具体为通过控制装置控制所述重锤带动所述清洁盘(100)在所述单晶炉副室内进行清理。

10.如权利要求9所述的单晶炉副室清理方法，其特征在于，所述控制装置控制所述重锤带动所述清洁盘(100)以800mm/min的速度上升。

11.如权利要求9所述的单晶炉副室清理方法，其特征在于，所述控制装置控制所述重锤带动所述清洁盘(100)以400mm/min的速度下降。

12.如权利要求8所述的单晶炉副室清理方法，其特征在于，所述清理步骤之后还包括步骤：

技术总结
本发明公开的单晶炉副室清理装置用于设置于重锤，重锤可升降设置于单晶炉副室内，该单晶炉副室清理装置包括清洁盘<subgt;，</subgt;清洁盘包括清洁布包裹环和重锤连接部。清洁布包裹环用于包裹浸湿后的无尘纸或无尘布，重锤连接部与清洁布包裹环连接，并设置有用于与重锤连接的重锤连接孔。本发明公开的单晶炉副室清理装置实现了对单晶炉副室的自动清理，降低了人工劳动强度，且结构简单，拆装方便。本发明公开的单晶炉副室清理系统和单晶炉副室清理方法可通过上述的单晶炉副室清理装置实现对单晶炉副室的自动清理，且具有较好的清洁效果。

技术研发人员：劳海兵,云飞,王万胜,辛瞳
受保护的技术使用者：双良硅材料(包头)有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13