一种籽晶酸洗装置的制作方法

1.本实用新型属于单晶金刚石制备领域，涉及一种籽晶酸洗装置，更具体的，涉及一种金刚石籽晶定向酸洗花篮装置。


背景技术：

2.微波化学气相沉积法（mpcvd）凭借其等离子体密度大、无电极污染等优势，成为制备大尺寸、高品质金刚石的首选方案，但由于“边沿效应”的影响，使其单次生长的单晶金刚石厚度有限，常采用多次生长的方法制备得到克拉级金刚石。
3.微波化学气相沉积技术属于金刚石同质外延生长，其生长过程中所用基底为单晶金刚石，常称为金刚石籽晶。金刚石籽晶通常可重复使用，为保证多次生长时，籽晶不被生长面包夹，需第二或第三次生长是在第一或第二次的生长面上生长，这就要求了在酸洗时要确保金刚石籽晶的方向性，才能实现金刚石籽晶的重复使用。


技术实现要素：

4.针对现有技术中存在的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种可批量化、定向酸洗籽晶的籽晶酸洗装置。
5.为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：
6.一种籽晶酸洗装置，所述籽晶酸洗装置包括固定板，所述固定板的上表面设置多个用于容纳籽晶的容纳槽，相邻的容纳槽之间设置连接通孔相互连通，所述连接通孔贯穿固定板上表面和下表面；
7.其中：容纳槽的宽度＞籽晶的宽度＞连接通孔的宽度，容纳槽的深度＞籽晶的高度。
8.优选地，所述容纳槽均匀分布在固定板的上表面，所述容纳槽分为多组，同组中的容纳槽通过连接通孔依次连通。
9.进一步优选地，多组容纳槽之间呈相互平行的列状，且同组中相邻的容纳槽之间间隔相同。
10.进一步优选地，位于每组最外端的两个容纳槽的外侧分别设置连接通孔，该设置利于最外端容纳槽中的籽晶的夹取与放置，也可以使最外端容纳槽中酸液的更均匀流出与排放。
11.优选地，所述籽晶为正方柱状结构，所述容纳槽为容纳籽晶的正方柱状空心结构。
12.优选地，所述容纳槽的深度比籽晶的高度大1~9mm，所述容纳槽的宽度比籽晶的宽度大0.1~1mm。
13.优选地，连接通孔为正方柱状空心结构。
14.优选地，所述固定板为多边形柱状结构或圆形柱状结构。
15.优选地，所述籽晶酸洗装置还包括支撑固定板的支撑柱；进一步优选地，所述支撑柱为阶梯柱状结构，支撑柱包括细端和粗端，所述固定板的边缘设置供支撑柱的细端穿过
的定位通孔，所述粗端无法穿过该定位通孔。
16.本实用新型中提及的正方柱状（空心）结构为长、宽相等的长方体（空心）结构。
17.与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
18.（1）本实用新型的籽晶酸洗装置可实现对籽晶的批量化与定向清洗，在酸洗时可确保籽晶的方向性，实现籽晶的重复使用；
19.（2）本实用新型的籽晶酸洗装置能提高酸洗速率与质量，节约了生产成本，结构简易，操作简单，易于生产制造，具有良好的工业应用前景；
20.（3）本实用新型的籽晶酸洗装置创造性地设置连接通孔，便于籽晶在容纳槽中的放置与夹取，进行清洗时，将清洗装置缓慢放进酸洗容器中，酸液会通过连接通孔进入容纳槽，由于金刚石籽晶密度大于酸液密度，酸液会慢慢浸没酸洗籽晶，由于密度原因或进一步对容纳槽的宽度尺寸进行限定，使容纳槽内的籽晶不会出现侧翻，从而保证生长面始终向上；清洗完毕后，将清洗装置从酸洗容器中取出，容纳槽中的酸液通过连接通孔流出，确保容纳槽中无大量酸液残留。
附图说明
21.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
22.图1为本实用新型籽晶酸洗装置的立体结构示意图；
23.图2为本实用新型籽晶酸洗装置的俯视结构示意图；
24.图3为本实用新型籽晶酸洗装置的剖面结构示意图。
具体实施方式
25.为了便于理解本实用新型，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本实用新型作更全面、细致地描述，但本实用新型的保护范围并不限于以下具体的实施例。
26.除非另有定义，下文中所使用的所有专业术语与本领域技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的专业术语只是为了描述具体实施例的目的，并不旨在限制本实用新型的保护范围。
27.除非另有特别说明，本实用新型中用到的各种原材料、试剂、仪器和设备等均可通过市场购买得到或者可通过现有方法制备得到。
28.实施例1
29.参见图1~3，本实施例公开了一种籽晶酸洗装置，包括正方柱状结构的固定板1和支撑固定板1的支撑柱2。固定板1边长为100mm，厚10mm。
30.固定板1上均匀设置45个正方柱状空心结构的容纳槽3，45个容纳槽3分成9组，每组之间呈列（行）状相互平行设置、且均与固定板1上相对两侧平行或垂直，同组中的容纳槽3通过连接通孔4依次连通，本实施例中的连接通孔4贯穿固定板1上表面和下表面。
31.本实施例中，位于每组最外端的两个容纳槽3的外侧分别额外设置连接通孔4，可用于镊子通过，便于取出或存放，可用于酸液的进入与排放。
32.本实施例中，籽晶为正方柱状结构，容纳槽3、连接通孔4均为正方柱状空心结构。容纳槽3深度为9mm，宽度为7.5mm，同组中相邻的容纳槽之间间隔均为15mm，连接通孔4的宽
度为5mm，长度为15mm，相邻的容纳槽组之间距离8mm。
33.本实施例中，支撑柱2设置4根，其为阶梯圆柱状结构，支撑柱2包括细端和粗端，细端直径为7.9mm，细端长度为40mm，粗端直径为10mm，粗端长度为10mm。固定板1的边缘设置4个供支撑柱2的细端穿过的定位通孔5，定位通孔5内径为8mm。
34.本实施例的籽晶酸洗装置的使用方法如下：
35.用镊子依次将7mm
×
7mm
×
0.3mm籽晶按编号，生长面向上放进容纳槽3中，待放置完成后将籽晶酸洗装置缓慢放进酸洗容器中，对籽晶进行酸洗，待酸洗完成后，取出籽晶酸洗装置。之后将籽晶酸洗装置放进盛有去离子水的容器中，重复清洗5次。
36.以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的包含范围之内。


技术特征：
1.一种籽晶酸洗装置，其特征在于，所述籽晶酸洗装置包括固定板，所述固定板的上表面设置多个用于容纳籽晶的容纳槽，相邻的容纳槽之间设置连接通孔相互连通，所述连接通孔贯穿固定板上表面和下表面；其中：容纳槽的宽度＞籽晶的宽度＞连接通孔的宽度，容纳槽的深度＞籽晶的高度。2.如权利要求1所述的籽晶酸洗装置，其特征在于，所述容纳槽均匀分布在固定板的上表面，所述容纳槽分为多组，同组中的容纳槽通过连接通孔依次连通。3.如权利要求2所述的籽晶酸洗装置，其特征在于，多组容纳槽之间呈相互平行的列状，且同组中相邻的容纳槽之间间隔相同。4.如权利要求2所述的籽晶酸洗装置，其特征在于，位于每组最外端的两个容纳槽的外侧分别设置连接通孔。5.如权利要求1所述的籽晶酸洗装置，其特征在于，所述籽晶为正方柱状结构，所述容纳槽为容纳籽晶的正方柱状空心结构。6.如权利要求1或5所述的籽晶酸洗装置，其特征在于，所述容纳槽的深度比籽晶的高度大1~9mm，所述容纳槽的宽度比籽晶的宽度大0.1~1mm。7.如权利要求1所述的籽晶酸洗装置，其特征在于，所述连接通孔为正方柱状空心结构。8.如权利要求1所述的籽晶酸洗装置，其特征在于，所述固定板为多边形柱状结构或圆形柱状结构。9.如权利要求1~5、7、8任一项所述的籽晶酸洗装置，其特征在于，所述籽晶酸洗装置还包括支撑固定板的支撑柱。10.如权利要求9所述的籽晶酸洗装置，其特征在于，所述支撑柱为阶梯柱状结构，所述支撑柱包括细端和粗端，所述固定板的边缘设置供支撑柱的细端穿过的定位通孔，所述粗端无法穿过该定位通孔。

技术总结
本实用新型属于单晶金刚石制备领域，公开了一种籽晶酸洗装置。包括固定板，所述固定板的上表面设置多个用于容纳籽晶的容纳槽，相邻的容纳槽之间设置连接通孔相互连通，所述连接通孔贯穿固定板上表面和下表面；其中：容纳槽的宽度＞籽晶的宽度＞连接通孔的宽度，容纳槽的深度＞籽晶的高度。本实用新型的籽晶酸洗装置可实现对籽晶的批量化与定向清洗，在酸洗时可确保籽晶的方向性，实现籽晶的重复使用。实现籽晶的重复使用。实现籽晶的重复使用。


技术研发人员：李光存 黄其荣 于金凤 冯曙光
受保护的技术使用者：安徽光智科技有限公司
技术研发日：2022.07.01
技术公布日：2022/12/9