一种石英管内外壁高压清洗机的制作方法

本技术涉及清洗机，尤其涉及一种石英管内外壁高压清洗机。

背景技术：

1、在半导体硅片生产工艺中，石英管需要定期进行清洗，以保证其洁净度；目前的清洗方法是将石英管放置在耐酸碱槽中，手动加入清洗化学剂；然后手动那刷子清洗，最后手拿水枪喷淋清洗；但是这种做法清洗效率低下，也容易对工作人员的安全和健康造成伤害；

2、对此，中国专利公开号为cn202021686399.0中“一种石英管无动力清洗装置，包括一箱体；一承载机构，设置在所述箱体内，用以承载倒扣放置的石英管；一驱动组件，设置在所述承载机构的一侧，用以驱动所述承载机构自转；一多方位喷嘴，设置在所述承载机构上，用以对所述石英管的内壁进行清洗”；

3、该专利通过多方位喷嘴对准石英管内部清洗，喷嘴可以清洗石英管内壁及石英管内壁上的死角，但是，该专利只是通过喷嘴进行喷射清理，石英管壁上的一些顽固污渍难以清理，这就使得石英管无法清理干净，也就影响石英管的重新利用。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在石英管无法清理干净的缺点，而提出的一种石英管内外壁高压清洗机。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、设计一种石英管内外壁高压清洗机，包括安装架，所述安装架的顶部安装有第一清理机构，所述第一清理机构包括转动筒，所述转动筒贯穿安装架的顶壁、且与安装架转动连接，所述安装盘固定安装在转动筒的顶部，所述安装盘的外侧滑动安装有若干贯穿的滑杆，若干所述滑杆环绕着安装盘均匀分布，若干所述滑杆的一端固定安装有弧形夹板，若干所述滑杆的另一端固定安装有限位块，若干所述滑杆上均套设有回复弹簧，若干所述弧形夹板均位于安装盘内侧，若干所述弧形夹板之间安装有石英管，所述安装架顶部的一端安装有第二清理机构，所述安装架顶部的另一端安装有喷水机构。

4、优选的，所述安装架的顶部固定安装有空心轴，所述空心轴位于转动筒的内侧，所述空心轴的顶部固定安装有第一滚刷，所述第一滚刷插接在石英管内侧，所述第一滚刷的顶部固定安装有第一喷水头。

5、优选的，所述第二清理机构包括第一固定架、滑轨、滑块、往复螺栓、安装座和第二滚刷；所述第一固定架固定安装在安装架的顶部，所述滑轨固定安装在第一固定架的内侧、且沿竖直方向设置，所述滑块的一端与滑轨连接，所述滑块的另一端与安装座固定连接，所述第二滚刷转动安装在安装座内侧、且与石英管的外壁贴合，所述往复螺栓转动安装在往复螺栓内侧，所述往复螺栓贯穿滑块、且与滑块螺纹连接。

6、优选的，所述安装架的内侧安装有驱动机构，所述驱动机构包括电机、第一带轮和第二带轮；所述电机固定安装在安装架内侧、且输出轴与往复螺栓固定连接，所述第一带轮固定安装在电机的输出轴上，所述第二带轮固定安装在转动筒的底端、且与第一带轮通过皮带传动连接。

7、优选的，所述喷水机构包括水箱、水泵、三通管、第二固定架和第二喷水头；所述水箱固定安装在安装架顶部，所述水泵固定安装在水箱的外侧，所述水泵的进口端通过导管与水箱内部接通，所述水泵的出口端与三通管接通，所述三通管的一端通过导管与第一喷水头接通，所述第二固定架固定安装在安装架顶部，所述第二喷水头固定安装在第二固定架顶部，所述三通管的另一端通过导管与第二喷水头接通。

8、本实用新型提出的一种石英管内外壁高压清洗机，有益效果在于：通过第二滚刷与第一滚刷的配合可以将石英管的内外壁进行彻底清理，大大提高了对石英管的清洗效果。

技术特征：

1.一种石英管内外壁高压清洗机，包括安装架(1)，其特征在于，所述安装架(1)的顶部安装有第一清理机构(2)，所述第一清理机构(2)包括转动筒(21)，所述转动筒(21)贯穿安装架(1)的顶壁、且与安装架(1)转动连接，安装盘(22)固定安装在转动筒(21)的顶部，所述安装盘(22)的外侧滑动安装有若干贯穿的滑杆(23)，若干所述滑杆(23)环绕着安装盘(22)均匀分布，若干所述滑杆(23)的一端固定安装有弧形夹板(24)，若干所述滑杆(23)的另一端固定安装有限位块(25)，若干所述滑杆(23)上均套设有回复弹簧(26)，若干所述弧形夹板(24)均位于安装盘(22)内侧，若干所述弧形夹板(24)之间安装有石英管(3)，所述安装架(1)顶部的一端安装有第二清理机构(4)，所述安装架(1)顶部的另一端安装有喷水机构(6)。

2.根据权利要求1所述的石英管内外壁高压清洗机，其特征在于，所述安装架(1)的顶部固定安装有空心轴(27)，所述空心轴(27)位于转动筒(21)的内侧，所述空心轴(27)的顶部固定安装有第一滚刷(28)，所述第一滚刷(28)插接在石英管(3)内侧，所述第一滚刷(28)的顶部固定安装有第一喷水头(29)。

3.根据权利要求2所述的石英管内外壁高压清洗机，其特征在于，所述第二清理机构(4)包括第一固定架(41)、滑轨(42)、滑块(43)、往复螺栓(44)、安装座(45)和第二滚刷(46)；所述第一固定架(41)固定安装在安装架(1)的顶部，所述滑轨(42)固定安装在第一固定架(41)的内侧、且沿竖直方向设置，所述滑块(43)的一端与滑轨(42)连接，所述滑块(43)的另一端与安装座(45)固定连接，所述第二滚刷(46)转动安装在安装座(45)内侧、且与石英管(3)的外壁贴合，所述往复螺栓(44)转动安装在往复螺栓(44)内侧，所述往复螺栓(44)贯穿滑块(43)、且与滑块(43)螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的石英管内外壁高压清洗机，其特征在于，所述安装架(1)的内侧安装有驱动机构(5)，所述驱动机构(5)包括电机(51)、第一带轮(52)和第二带轮(53)；所述电机(51)固定安装在安装架(1)内侧、且输出轴与往复螺栓(44)固定连接，所述第一带轮(52)固定安装在电机(51)的输出轴上，所述第二带轮(53)固定安装在转动筒(21)的底端、且与第一带轮(52)通过皮带传动连接。

5.根据权利要求4所述的石英管内外壁高压清洗机，其特征在于，所述喷水机构(6)包括水箱(61)、水泵(62)、三通管(63)、第二固定架(64)和第二喷水头(65)；所述水箱(61)固定安装在安装架(1)顶部，所述水泵(62)固定安装在水箱(61)的外侧，所述水泵(62)的进口端通过导管与水箱(61)内部接通，所述水泵(62)的出口端与三通管(63)接通，所述三通管(63)的一端通过导管与第一喷水头(29)接通，所述第二固定架(64)固定安装在安装架(1)顶部，所述第二喷水头(65)固定安装在第二固定架(64)顶部，所述三通管(63)的另一端通过导管与第二喷水头(65)接通。

技术总结
本技术涉及清洗机技术领域，尤其是一种石英管内外壁高压清洗机，包括安装架，安装架的顶部安装有第一清理机构，第一清理机构包括转动筒，转动筒贯穿安装架的顶壁、且与安装架转动连接，安装盘固定安装在转动筒的顶部，安装盘的外侧滑动安装有若干贯穿的滑杆，若干滑杆环绕着安装盘均匀分布，若干滑杆的一端固定安装有弧形夹板，若干滑杆的另一端固定安装有限位块，若干滑杆上均套设有回复弹簧，若干弧形夹板均位于安装盘内侧，若干弧形夹板之间安装有石英管，安装架顶部的一端安装有第二清理机构，安装架顶部的另一端安装有喷水机构。本技术大大提高了对石英管的清洗效果，实用性强。

技术研发人员：王青松
受保护的技术使用者：武汉臻芯半导体设备有限公司
技术研发日：20220926
技术公布日：2024/1/11