一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置的制作方法

本发明涉及清洗装置，特别涉及一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置。

背景技术：

1、在晶圆的加工制造过程中，对于污染物的管控尤其重要，通常需将晶圆放置于晶圆盒中以进行存储或运输，需进一步避免晶圆盒的内部产生颗粒物而对晶圆造成影响，所以在晶圆盒注塑后，需要对其进行彻底的清洗。

2、中国专利文献cn217912033u公开了一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，包括机架，机架上安装有辊轮输送机，辊轮输送机上沿着其输送方向依次设有第一清洗区以及第二清洗区，第一清洗区设有防溅罩，第一清洗区内相邻两根辊轮之间设有若干第一喷头，第一喷头朝上设置；

3、该专利在日常使用中，虽然通过多次冲洗能够较好的对晶圆盒进行清洗，但是直接对着晶圆盒冲洗，容易对晶圆盒造成伤害，使其无法充分密封，影响到后续的正常使用，且直接采用冲洗的方式，晶圆盒需要提前进行摆放，才能够进行清洗工作，使得装置使用起来较为麻烦，直接对晶圆盒进行冲洗，无法让水资源重复利用，增加了水资源的消耗。

技术实现思路

1、本发明的主要目的在于提供一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，可以有效解决容易对晶圆盒造成伤害以及无法让水资源重复利用的问题。

2、为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

3、一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，包括工作台，所述工作台上端中部开设有开口，所述工作台下端中部固定安装有用于对晶圆盒进行清洗的清洗机构，所述清洗机构上侧设有用于对晶圆盒进行存放的存放机构，所述清洗机构内腔中部设有用于对清洗机构内腔进行清理的除杂机构，所述清洗机构右端下侧设有用于控制除杂机构的传动机构；

4、所述清洗机构包括蓄水池，所述蓄水池内腔对称设有两个抽水架，两个所述抽水架相互靠近的一端上侧均设有若干喷洒头，两个所述抽水架下端中部均设有若干抽水管，两个所述喷洒头下端相互靠近的一侧均固定安装有挡料板。

5、优选的，所述抽水管包括支撑管，所述支撑管内腔滑动安装有活动管，所述活动管弧形外表面下侧固定安装有配重块，所述活动管下端固定安装有过滤管。

6、优选的，所述存放机构包括两个气泵，两个所述气泵分别设于所述蓄水池左右两端，两个所述气泵前侧均设有支撑架，两个所述支撑架均滑动安装于所述蓄水池端面，两个所述气泵输出端分别与两个所述支撑架相互连接，两个所述支撑架之间转动安装有存料框，位于右侧的所述支撑架右端下侧设有电机，位于右侧的所述支撑架内腔中设有两个皮带组，两个所述皮带组之间设有连接轴。

7、优选的，通过所述连接轴将两个所述皮带组相互连接，且所述电机输出端与位于右侧的所述皮带组相互连接。

8、优选的，所述除杂机构包括两个往复螺杆一，所述蓄水池内腔左侧设有一个活动块一，所述活动块一下端转动安装有推料板，所述蓄水池右侧内壁下部固定安装有矩形板，所述矩形板上侧设有往复螺杆二，所述矩形板上端前侧设有活动块二，所述矩形板前侧设有集料管，所述往复螺杆二后端设有两个相互啮合的锥形齿轮。

9、优选的，两个所述往复螺杆一均贯穿所述活动块一。

10、优选的，所述传动机构包括升降架，所述升降架与位于右侧的所述支撑架相互连接，所述升降架下端设有齿条，所述齿条后侧下部设有两个齿轮一，所述齿条前侧下部设有两个齿轮二，位于左侧的所述齿轮二前侧啮合有两个齿轮三，所述升降架下侧设有伸缩杆，所述伸缩杆与所述齿条相互连接。

11、优选的，位于右侧的所述齿轮一与位于上侧的所述齿轮三采用皮带连接，位于左侧的所述齿轮一与位于右侧的所述齿轮二采用皮带连接。

12、优选的，位于右侧的所述齿轮一与位于右侧的所述锥形齿轮采用皮带连接，位于右侧的所述齿轮二与位于前侧的所述往复螺杆一采用皮带连接。

13、与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

14、1、本发明设置的清洗机构，配合存放机构进行使用，能够让晶圆盒通过浸泡和冲洗两种方式进行清理，可以较好的将晶圆盒表面的杂质进行清洗，提高了装置的清洗效果，且在清洗时不会对晶圆盒造成伤害，通过抽取浸泡的水进行冲洗，在冲洗完成后还会流动到蓄水池内，使得水资源可以循环使用，减少了水资源的浪费。

15、2、本发明设置的工作台，通过存放机构的移动，对晶圆盒进行清洗，在清洗结束后，能够让工作人员直接在工作台上，对晶圆盒进行密封工作，减少了后续运输时造成污染的可能性，且在清洗前，只需要将晶圆盒放置在存料框内，就可以进行清洗，减少了工作人员的劳动强度，也使得装置使用起来较为方便。

16、3、本发明设置的除杂机构，通过存放机构以及传动机构的控制，在不影响晶圆盒清洗的同时，能够对蓄水池中的杂质进行收集，且在装置不工作时，活动块二能够将集料管堵塞，使得其中的杂质不会进入水中，影响到后续的清洗工作，进一步提高了装置的清洗效果。

技术特征：

1.一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上端中部开设有开口，所述工作台(1)下端中部固定安装有用于对晶圆盒进行清洗的清洗机构(2)，所述清洗机构(2)上侧设有用于对晶圆盒进行存放的存放机构(3)，所述清洗机构(2)内腔中部设有用于对清洗机构(2)内腔进行清理的除杂机构(4)，所述清洗机构(2)右端下侧设有用于控制除杂机构(4)的传动机构(5)；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：所述抽水管(24)包括支撑管(241)，所述支撑管(241)内腔滑动安装有活动管(242)，所述活动管(242)弧形外表面下侧固定安装有配重块(243)，所述活动管(242)下端固定安装有过滤管(244)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：所述存放机构(3)包括两个气泵(31)，两个所述气泵(31)分别设于所述蓄水池(21)左右两端，两个所述气泵(31)前侧均设有支撑架(32)，两个所述支撑架(32)均滑动安装于所述蓄水池(21)端面，两个所述气泵(31)输出端分别与两个所述支撑架(32)相互连接，两个所述支撑架(32)之间转动安装有存料框(33)，位于右侧的所述支撑架(32)右端下侧设有电机(34)，位于右侧的所述支撑架(32)内腔中设有两个皮带组(35)，两个所述皮带组(35)之间设有连接轴(36)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：通过所述连接轴(36)将两个所述皮带组(35)相互连接，且所述电机(34)输出端与位于右侧的所述皮带组(35)相互连接。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：所述除杂机构(4)包括两个往复螺杆一(41)，所述蓄水池(21)内腔左侧设有一个活动块一(42)，所述活动块一(42)下端转动安装有推料板(43)，所述蓄水池(21)右侧内壁下部固定安装有矩形板(44)，所述矩形板(44)上侧设有往复螺杆二(45)，所述矩形板(44)上端前侧设有活动块二(46)，所述矩形板(44)前侧设有集料管(47)，所述往复螺杆二(45)后端设有两个相互啮合的锥形齿轮(48)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：两个所述往复螺杆一(41)均贯穿所述活动块一(42)。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：所述传动机构(5)包括升降架(51)，所述升降架(51)与位于右侧的所述支撑架(32)相互连接，所述升降架(51)下端设有齿条(52)，所述齿条(52)后侧下部设有两个齿轮一(53)，所述齿条(52)前侧下部设有两个齿轮二(54)，位于左侧的所述齿轮二(54)前侧啮合有两个齿轮三(55)，所述升降架(51)下侧设有伸缩杆(56)，所述伸缩杆(56)与所述齿条(52)相互连接。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：位于右侧的所述齿轮一(53)与位于上侧的所述齿轮三(55)采用皮带连接，位于左侧的所述齿轮一(53)与位于右侧的所述齿轮二(54)采用皮带连接。

9.根据权利要求7所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，其特征在于：位于右侧的所述齿轮一(53)与位于右侧的所述锥形齿轮(48)采用皮带连接，位于右侧的所述齿轮二(54)与位于前侧的所述往复螺杆一(41)采用皮带连接。

技术总结
本发明公开了一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，具体涉及清洗装置技术领域，包括工作台，所述工作台上端中部开设有开口，所述工作台下端中部固定安装有用于对晶圆盒进行清洗的清洗机构，所述清洗机构上侧设有用于对晶圆盒进行存放的存放机构，所述清洗机构内腔中部设有用于对清洗机构内腔进行清理的除杂机构，所述清洗机构右端下侧设有用于控制除杂机构的传动机构。本发明所述的一种晶圆盒注塑后的喷淋清洗装置，清洗机构配合存放机构，能够让晶圆盒通过浸泡和冲洗两种方式进行清洗，可以较好的将晶圆盒表面的杂质进行清理，提高了装置的清洗效果，清洗时也不会对晶圆盒造成伤害，且其中水资源可以循环使用，减少了水资源的浪费。

技术研发人员：刘春峰,刘国华,洪巧水
受保护的技术使用者：荣耀电子材料（重庆）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15