本技术涉及液晶面板清洗领域,尤其涉及一种液晶面板清洗装置的臭氧排出装置。
背景技术:
1、在液晶面板清洗过程中,需要使用到极紫外光清洗技术(euv)对液晶面板进行清洗,极紫外光清洗技术利用光敏氧化作用达到去除粘附在材料表面上的有机物质,经过光清洗后的材料表面达到“原子清洁度”,但空气中的氧气分子在吸收了极紫外光能量后产生臭氧,会对人体有害。
技术实现思路
1、(一)要解决的技术问题
2、为了解决现有技术的上述问题,本实用新型提供一种液晶面板清洗装置的臭氧排出装置,能够对排出由极紫外光清洗技术产生的臭氧,保护人体健康。
3、(二)技术方案
4、为了达到上述目的,本实用新型采用的主要技术方案包括:一种液晶面板清洗装置的臭氧排出装置,包括输送机构、罩体组件、极紫外光清洁装置、排气口和排气机构;
5、所述罩体组件包括顶罩和底罩,所述顶罩罩设于所述输送机构的上方,所述顶罩与所述输送机构之间设有供液晶面板输送通过的通道,所述顶罩内设有所述极紫外光清洁装置,所述底罩罩设于所述输送机构的下方且与所述顶罩相配合,所述底罩的底部设有多个排气口,所述排气口与所述排气机构连通。
6、进一步地,还包括臭氧检测器;
7、所述臭氧检测器设置于所述罩体组件外。
8、进一步地,所述顶罩的两侧分别设有升降组件;
9、所述升降组件包括连接件和气缸,所述连接件连接于所述顶罩的侧部,所述气缸的输出轴与所述连接件相连接。
10、进一步地,所述升降组件还包括横板、套筒和辅助轴;
11、所述气缸的两侧分别设有多个套筒,所述套筒的顶部固定有所述横板,所述辅助轴的一端与所述连接件相连接,所述辅助轴的另一端穿过所述横板与所述套筒滑动连接。
12、进一步地,还包括摇杆;
13、所述摇杆可转动连接于所述横板的顶部,所述连接件的底部设有与所述摇杆相配合的抵持位。
14、(三)有益效果
15、本实用新型的有益效果是:通过在顶罩内设置极紫外光清洁装置对液晶面板进行清洗,罩体组件内产生的臭氧会通过排气口和排气机构的配合排出,同时壳体也能够防止紫外线泄露,实现安全环保,保证人体健康。
1.一种液晶面板清洗装置的臭氧排出装置,其特征在于,包括输送机构、罩体组件、极紫外光清洁装置、排气口和排气机构;
2.根据权利要求1所述的液晶面板清洗装置的臭氧排出装置,其特征在于,还包括臭氧检测器;
3.根据权利要求1所述的液晶面板清洗装置的臭氧排出装置,其特征在于,所述顶罩的两侧分别设有升降组件;
4.根据权利要求3所述的液晶面板清洗装置的臭氧排出装置,其特征在于,所述升降组件还包括横板、套筒和辅助轴;
5.根据权利要求4所述的液晶面板清洗装置的臭氧排出装置,其特征在于,还包括摇杆;