一种掩膜版清洗废液的安全处理装置的制作方法

本技术涉及危险废物处理，具体涉及一种掩膜版清洗废液的安全处理装置。

背景技术：

1、tft-lcd用高精度光罩也被行业人员称作掩膜版或者光刻掩膜版，在tft-lcd生产中具有关键作用，在产业链中具有举足轻重的地位。生产企业在生产掩膜版之前需要对空白含铬掩膜版进行清洗，分别使用98％硫酸、清洗剂、水进行清洗，进行缺陷检查后，再一次进行清洗，之后再进行涂胶光刻。在硫酸清洗后，主要使用氨水和双氧水按照氨水：双氧水：水＝1：1：50的配比清洗掩膜版表面残留的少量硫酸，所产生的废液属于危险废物，废液所含氨氮含量可达2500mg/l，cod含量达到5000mg/l。由于此类废液含有高浓度氨氮，并含有氧化剂双氧水，对此废液处置时，容易出现大量泡沫且有刺激性气体(氨气)逸出，环境风险大。因此，如何安全高效处理此类废液，是本领域技术人员亟需解决的问题。

技术实现思路

1、为解决背景技术中的问题，本实用新型提出一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，本实用新型结构简单，处理效果好。

2、为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，包括连接废液储槽的中和反应器，所述中和反应器的上部连接30％液碱进口槽，中和反应器的下部连接氧化反应器的上部，氧化反应器的上部还连接次氯酸钠发生器，氧化反应器的下部连接蒸发结晶器的上部，蒸发结晶器的下部连接离心机，离心机所产生的工业盐输送至次氯酸钠发生器中、产生的浓缩液回流至蒸发结晶器中。

3、进一步的，所述的中和反应器、氧化反应器连接废气处理装置。

4、进一步的，蒸发结晶器所产生的馏分水输入至次氯酸钠发生器中。

5、再进一步的，所述的废气处理装置包括依次设置的酸洗装置、碱洗装置、活性炭吸附装置。

6、进一步的，废液储槽的输出端设置第一抽泵，第一抽泵的输出端与中和反应器的上部连接。

7、进一步的，中和反应器底部设置有第一反应物出口，第一反应物出口的输出端设置第二抽泵，第二抽泵的输出端与氧化反应器的上部连接。

8、进一步的，氧化反应器的下部设置有第二反应物出口，第二反应物出口的输出端设置第三抽泵，第三抽泵的输出端与蒸发结晶器连接。

9、进一步的，蒸发结晶器设置有第三反应物出口，第三反应物出口的输出端设置第四抽泵，第四抽泵的输出端与离心机的上部连接，离心机的下部与次氯酸钠发生器连接。

10、本实用新型的有益效果：本实用新型通过使用次氯酸钠发生器制备次氯酸钠，向废液中添加次氯酸钠，可使废液中氨氮分解成氮气逸出，同时由于次氯酸钠氧化性较双氧水氧化性强，加入次氯酸钠后使双氧水分解，处理后溶液氨氮含量低于10mg/l，cod含量低于100mg/l。反应后溶液进行蒸发结晶可生产氯化钠和硫酸钠(的工业盐)，主要包括氯化钠(的工业盐)补充至次氯酸钠发生器中。在反应全程对体系的废气进行有效的收集和处理，所产生的氯化钠和馏分水可回用，做到了零排放。无废水和废渣产生，可达到处置掩膜版清洗废液时操作环境安全的一种组合式处置装置。

技术特征：

1.一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：包括连接废液储槽(1)的中和反应器(2)，所述中和反应器(2)的上部连接30％液碱进口槽(3)，中和反应器(2)的下部连接氧化反应器(4)的上部，氧化反应器(4)的上部还连接次氯酸钠发生器(5)，氧化反应器(4)的下部连接蒸发结晶器(6)的上部，蒸发结晶器(6)的下部连接离心机(7)，离心机(7)所产生的工业盐输送至次氯酸钠发生器(5)中、产生的浓缩液回流至蒸发结晶器(6)中。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：所述的中和反应器(2)、氧化反应器(4)连接废气处理装置(8)。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：蒸发结晶器(6)所产生的馏分水输入至次氯酸钠发生器(5)中。

4.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：所述的废气处理装置(8)包括依次设置的酸洗装置(8a)、碱洗装置(8b)、活性炭吸附装置(8c)。

5.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：废液储槽(1)的输出端设置第一抽泵，第一抽泵的输出端与中和反应器(2)的上部连接。

6.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：中和反应器(2)底部设置有第一反应物出口，第一反应物出口的输出端设置第二抽泵，第二抽泵的输出端与氧化反应器(4)的上部连接。

7.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：氧化反应器(4)的下部设置有第二反应物出口，第二反应物出口的输出端设置第三抽泵，第三抽泵的输出端与蒸发结晶器(6)连接。

8.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：蒸发结晶器(6)设置有第三反应物出口，第三反应物出口的输出端设置第四抽泵，第四抽泵的输出端与离心机(7)的上部连接，离心机(7)的下部与次氯酸钠发生器(5)连接。

技术总结
本技术涉及一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，包括连接废液储槽的中和反应器，所述中和反应器的上部连接30％液碱进口槽，中和反应器的下部连接氧化反应器的上部，氧化反应器的上部还连接次氯酸钠发生器，氧化反应器的下部连接蒸发结晶器的上部，蒸发结晶器的下部连接离心机，离心机所产生的工业盐输送至次氯酸钠发生器中、产生的浓缩液回流至蒸发结晶器中。本技术结构简单，处理效果好。

技术研发人员：郭鹏飞,王兵,王振宇,熊鑫,许鹏飞
受保护的技术使用者：安徽浩悦环境科技股份有限公司
技术研发日：20230412
技术公布日：2024/4/7