靶材清洁保养治具的制作方法

【】本技术涉及冶具的，特别是靶材冶具的。

背景技术

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背景技术：

1、靶材是制作薄膜的材料，利用高速荷能粒子轰击的目标材料，通过不同的激光和不同的靶材相互作用得到不同的膜系，实现导电和阻挡的功能，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化，靶材材质分为金属靶材、陶瓷靶材和合金靶材，而靶材在加工过程中为保证靶材的清洁度通常需要进行相应清洗处理。

2、现有技术中，对靶材进行清洗时，需要人工搬运和旋转，十分麻烦，且人工搬抬比较费力，有压到手脚的安全风险。

技术实现思路

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技术实现要素：

1、本实用新型的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种靶材清洁保养治具，能够将靶材吊装到治具上，通过轴承可以轻松实现360°旋转作业。

2、为实现上述目的，本实用新型提出了一种靶材清洁保养治具，包括冶具主体，冶具主体上转动安装有若干转动件，冶具主体的一侧端面开设有弧形槽，弧形槽内设有贯穿冶具主体设置的活动槽，转动件设置在活动槽内，转动件的外侧表面凸出所述弧形槽的内壁设置。

3、作为优选，所述冶具主体包括两个安装板和两个连接块，两个安装板之间通过连接块固定连接，两个连接块位于安装板的两侧，两个连接块之间形成活动槽。

4、作为优选，所述安装板的两侧开设有若干固定孔，固定螺栓穿过固定孔与连接块固定。

5、作为优选，所述转动件包括安装轴和轴承，两个安装板上均开设有轴孔，轴孔内安装有安装轴，安装轴连接两个安装板，安装轴上安装有轴承。

6、作为优选，所述转动件设有两组，两组转动件对称设置在弧形槽的两侧。

7、本实用新型的有益效果：本实用新型通过在冶具上设置弧形槽，弧形槽内安装靶材，弧形槽内设有可以转动的轴承，通过轴承实现了靶材的360度转动，方便靶材在清洗时的旋转作业，使靶材是保养清洁作业省时省力。

8、本实用新型的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。

技术特征：

1.一种靶材清洁保养治具，其特征在于：包括冶具主体(1)，冶具主体(1)上转动安装有若干转动件(4)，冶具主体(1)的一侧端面开设有弧形槽(2)，弧形槽(2)内设有贯穿冶具主体(1)设置的活动槽(3)，转动件(4)设置在活动槽(3)内，转动件(4)的外侧表面凸出所述弧形槽(2)的内壁设置。

2.如权利要求1所述的靶材清洁保养治具，其特征在于：所述冶具主体(1)包括两个安装板(11)和两个连接块(12)，两个安装板(11)之间通过连接块(12)固定连接，两个连接块(12)位于安装板(11)的两侧，两个连接块(12)之间形成活动槽(3)。

3.如权利要求1所述的靶材清洁保养治具，其特征在于：所述弧形槽(2)的两侧设有若干固定孔(13)，固定螺栓穿过固定孔(13)与连接块(12)固定。

4.如权利要求1所述的靶材清洁保养治具，其特征在于：所述转动件(4)包括安装轴(41)和轴承(42)，两个安装板(11)上均开设有轴孔，轴孔内安装有安装轴(41)，安装轴(41)连接两个安装板(11)，安装轴(41)上安装有轴承(42)。

5.如权利要求1所述的靶材清洁保养治具，其特征在于：所述转动件(4)设有两组，两组转动件(4)对称设置在弧形槽(2)的两侧。

技术总结
本技术公开了一种靶材清洁保养治具，包括冶具主体，冶具主体上转动安装有若干转动件，冶具主体的一侧端面开设有弧形槽，弧形槽内设有贯穿冶具主体设置的活动槽，转动件设置在活动槽内，转动件的外侧表面凸出所述弧形槽的内壁设置。本技术通过在冶具上设置弧形槽，弧形槽内安装靶材，弧形槽内设有可以转动的轴承，通过轴承实现了靶材的360度转动，方便靶材在清洗时的旋转作业，使靶材的保养清洁作业省时省力。

技术研发人员：陆少春,陈超,池永奎
受保护的技术使用者：浙江日久新材料科技有限公司
技术研发日：20230420
技术公布日：2024/1/15