一种用于洁净室之间的除尘装置的制作方法

本技术涉及除尘，尤其涉及一种用于洁净室之间的除尘装置。

背景技术：

1、根据制造工序的不同，半导体车间的洁净室需要维持不同的洁净度，洁净室内及洁净室之间依靠amhs系统(自动化物料搬运系统)转运晶圆，当amhs系统的搬运车从低等级洁净室进入高等级洁净室时，会把微粒带入，导致高等级洁净室的洁净度劣化。

2、其中jp4368169b2提出了一种洁净室之间的通道，其从顶部对搬运车吹气，搬运车的下部无法吹到，尤其是容易累积微粒的走行轮，而且从顶部对搬运车进行吹气除尘，去除效果不佳，仍然会把微粒带入到高等级洁净室。

技术实现思路

1、基于背景技术存在的技术问题，本实用新型提出了一种用于洁净室之间的除尘装置，使得搬运车在当前洁净室进入下一个洁净室时，能够进行有效除尘，避免将微粒灰尘带入到高等级洁净室。

2、本实用新型提出的一种用于洁净室之间的除尘装置，用于对搬运车除尘，包括机架、除尘机构和自动门，除尘机构设置于搬运车行进方向的两侧并设置于机架上，除尘机构的出气方向与搬运车行进方向形成一定夹角设置，搬运车在机架上滑动通过自动门。

3、进一步地，除尘机构与自动门共用一个无线通信模块进行联动控制。

4、进一步地，所述除尘机构包括气刀和设置于气刀出气端的离子发生器，两个气刀作为一组分别设置于支架上。

5、进一步地，气刀的高度与搬运车高度一致。

6、进一步地，所述除尘机构包括一至多组气刀。

7、进一步地，所述除尘机构的出气方向与搬运车行进方向形成的夹角为120度至150度。

8、进一步地，所述机架包括支架、与搬运车连接的滑块和固定于支架上的轨道，滑块滑动设置于轨道上。

9、进一步地，所述自动门两侧分别对应于两个洁净室，自动门滑动设置于相邻两个洁净室的隔墙上。

10、本实用新型提供的一种用于洁净室之间的除尘装置的优点在于：本实用新型结构中提供的一种用于洁净室之间的除尘装置，除尘机构设置于搬运车两侧，对搬运车的吹气覆盖面更大，因而对搬运车的除尘力度更大；另外除尘机构与的出气方向与搬运车的行进方向不是垂直设置而是倾斜设置的，使得搬运车在当前洁净室进入下一个洁净室时，能够进行有效除尘，避免搬运车在除尘过程中将灰尘扩散到下一个洁净室中，从而造成下一个洁净室的灰尘度超标的缺陷；离子发生器的设置，能够使气刀所吹出的气体携带大量正负离子，消除搬运车上的静电，能够去除搬运车上的静电及静电吸附的灰尘微粒。

技术特征：

1.一种用于洁净室之间的除尘装置，用于对搬运车(4)除尘，其特征在于，包括机架(1)、除尘机构(2)和自动门(3)，除尘机构(2)设置于搬运车(4)行进方向的两侧并设置于机架(1)上，除尘机构(2)的出气方向与搬运车(4)行进方向形成一定夹角设置，搬运车(4)在机架(1)上滑动通过自动门(3)。

2.根据权利要求1所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，除尘机构(2)与自动门(3)共用一个无线通信模块进行联动控制。

3.根据权利要求1所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，所述除尘机构(2)包括气刀(21)和设置于气刀(21)出气端的离子发生器(22)，两个气刀(21)作为一组分别设置于支架(11)上。

4.根据权利要求3所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，气刀(21)的高度与搬运车(4)高度一致。

5.根据权利要求3所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，所述除尘机构(2)包括一至多组气刀(21)。

6.根据权利要求1所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，所述除尘机构(2)的出气方向与搬运车(4)行进方向形成的夹角为120度至150度。

7.根据权利要求1所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，所述机架(1)包括支架(11)、与搬运车(4)连接的滑块和固定于支架(11)上的轨道(12)，滑块滑动设置于轨道(12)上。

8.根据权利要求1所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，所述自动门(3)两侧分别对应于两个洁净室，自动门(3)滑动设置于相邻两个洁净室的隔墙(5)上。

技术总结
本技术公开了一种用于洁净室之间的除尘装置，用于对搬运车除尘，包括机架、除尘机构和自动门，除尘机构设置于搬运车行进方向的两侧并设置于机架上，除尘机构的出气方向与搬运车行进方向形成一定夹角设置，搬运车在机架上滑动通过自动门；该除尘装置使得搬运车在当前洁净室进入下一个洁净室时，能够进行有效除尘，避免搬运车在除尘过程中将灰尘扩散到下一个洁净室中，从而造成下一个洁净室的灰尘度超标的缺陷。

技术研发人员：王传东,郑元焕,崔龙天
受保护的技术使用者：合肥欣奕华智能机器股份有限公司
技术研发日：20230512
技术公布日：2024/1/14