一种光刻胶废液回收装置的制作方法

本技术属于光刻胶机台的。更具体地，本技术涉及一种光刻胶废液回收装置。

背景技术：

1、如图1所示，为现有技术中的光刻胶废液回收装置的结构，其中：

2、1、废液槽：光刻胶或pgmea(丙二醇甲醚醋酸酯)废液回收；2、电机泵：抽取废液槽内药液；由于需要经常开启，易造成电机过热或过载；3、废液回收：回收药液的装置；4、专用回收药液罐体：专门回收废液的罐体，用于运输至废液回收处理中心。

3、现有技术存在的问题和缺陷是：

4、目前，上述现有的废液回收装置通过电机泵2进行回收。因为产品生产的要求，会经常使用光刻胶或者pgmea，而这些药液均具有腐蚀性，经常使用会腐蚀电机的管路，容易造成漏液或者损坏电机线路；由于电机回收泵经常开启，会造成电机过热或过载，大大增加了更换电机的频率，导致生产成本上升，更会造成生产效率的下降。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种光刻胶废液回收装置，其目的是避免因腐蚀严重而频繁更换电机造成的经济损失。

2、为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、本实用新型的光刻胶废液回收装置，应用于光刻胶机台，所述的光刻胶机台包括废液槽；所述的废液回收装置设置废液回收罐，所述的废液槽的底部通过管路与废液回收罐的顶部连通；所述的废液回收罐下部通过管路与回收药液专用转运罐连通；所述的废液回收罐的顶部分别通过管路与真空泵和空压机连接。

4、在所述的废液回收罐与真空泵连接的管路上，设置真空开关。

5、在所述的废液回收罐与空压机连接的管路上，设置压缩空气开关。

6、在所述的废液回收罐与回收药液专用转运罐连通的管路上，设置废液回收开关。

7、在所述的废液槽与废液回收罐连通管路上，设置单向阀；所述的单向阀的导通方向为从废液槽至废液回收罐的方向。

8、所述的真空泵和空压机设置在厂空压站内。

9、在所述的废液回收罐的外表，设置竖直的药液透明管，所述的药液透明管的两端与废液回收罐的内腔连通。

10、在所述的药液透明管上，设置液位标签；所述的液位标签包括高液位、中液位和低液位。

11、本实用新型采用上述技术方案，解决现有技术中的电机回收装置造成的风险和损失；实现废液回收的智能控制；避免频繁更换电机造成的经济损失，降低生产成本，提高生产效率；该回收装置结构简单，制作容易，具有推广应用的价值。

技术特征：

1.一种光刻胶废液回收装置，应用于光刻胶机台，所述的光刻胶机台包括废液槽(1)，其特征在于：所述的废液回收装置设置废液回收罐(3)，所述的废液槽(1)的底部通过管路与废液回收罐(3)的顶部连通；所述的废液回收罐(3)下部通过管路与回收药液专用转运罐(4)连通；所述的废液回收罐(3)的顶部分别通过管路与真空泵(7)和空压机(8)连接。

2.按照权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于：在所述的废液回收罐(3)与真空泵(7)连接的管路上，设置真空开关(5-1)。

3.按照权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于：在所述的废液回收罐(3)与空压机(8)连接的管路上，设置压缩空气开关(5-2)。

4.按照权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于：在所述的废液回收罐(3)与回收药液专用转运罐(4)连通的管路上，设置废液回收开关(5-3)。

5.按照权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于：在所述的废液槽(1)与废液回收罐(3)连通管路上，设置单向阀；所述的单向阀的导通方向为从废液槽(1)至废液回收罐(3)的方向。

6.按照权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于：所述的真空泵(7)和空压机(8)设置在厂空压站(2)内。

7.按照权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于：在所述的废液回收罐(3)的外表，设置竖直的药液透明管(9)，所述的药液透明管(9)的两端与废液回收罐(3)的内腔连通。

8.按照权利要求7所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于：在所述的药液透明管(9)上，设置液位标签(6)；所述的液位标签(6)包括高液位、中液位和低液位。

技术总结
本技术公开了一种光刻胶废液回收装置，设置废液回收罐(3)，所述的废液槽(1)的底部通过管路与废液回收罐(3)的顶部连通；所述的废液回收罐(3)下部通过管路与回收药液专用转运罐(4)连通；所述的废液回收罐(3)的顶部分别通过管路与真空泵(7)和空压机(8)连接。采用上述技术方案，解决现有技术中的电机回收装置造成的风险和损失；实现废液回收的智能控制；避免频繁更换电机造成的经济损失，降低生产成本，提高生产效率；该回收装置结构简单，制作容易，具有推广应用的价值。

技术研发人员：刘双权,钟素文,于雷铜,袁发根
受保护的技术使用者：芜湖长信科技股份有限公司
技术研发日：20230519
技术公布日：2024/1/15