一种插片机用可调节水刀装置的制作方法

本技术涉及水刀，尤其涉及一种插片机用可调节水刀装置。

背景技术：

1、插片机主要用于硅片的自动插片，而在对硅片进行插片前，需要使用水刀装置会对硅片进行清洗。

2、经检索，公开号为cn208643438u的中国专利，公开了一种用于硅片表面冲洗的水刀，包括刀身、设于刀身内的多个刀孔和蓄水高压装置，所述的刀孔上方与蓄水高压装置贯通连接，喷射流冲洗水压大，冲洗效果好，同时减少直孔槽中的纯水使用量，减少纯水的浪费，降低水刀使用成本，然而仍存在以下缺陷，其水压过小时，由于水刀距离硅片过远，会造成对硅片的清洗造成不彻底。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种插片机用可调节水刀装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种插片机用可调节水刀装置，包括支座，所述支座的底部内壁固定连接有固定架，固定架的上表面开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均滑动连接有滑座，滑座的一侧固定连接有拉簧，且拉簧与滑槽相固定，所述滑座的顶部固定连接有固定座，固定座内固定连接有多个水刀本体，多个所述水刀本体的一端均固定连接有连接软管，所述固定架的两侧均固定连接有水箱，且连接软管与水箱相连通，所述水箱穿过支座，所述水箱的一侧设有多个连接管，所述滑座内设有对滑座进行固定的固定机构。

4、作为本实用新型再进一步的方案，所述固定机构包括插销，所述滑座内开设有限位槽，所述插销与限位槽滑动连接，所述固定架的上表面开设有多个插口，且插销与插口插接。

5、作为本实用新型再进一步的方案，所述插销的上表面固定连接有两个弹簧，且弹簧与限位槽相固定。

6、作为本实用新型再进一步的方案，所述限位槽内固定连接有两个导向杆，且导向杆穿过插销。

7、作为本实用新型再进一步的方案，所述插销的上表面固定连接有卡环。

8、作为本实用新型再进一步的方案，所述滑座的一侧固定连接有推块，推块的一侧固定连接有防护垫。

9、作为本实用新型再进一步的方案，所述固定架的底部开设有多个安装口，多个所述安装口内均设有滤网，所述支座的底部设有收集箱。

10、作为本实用新型再进一步的方案，所述支座的底部外壁固定连接有多个底脚，多个所述底脚的底部均固定连接有防滑垫。

11、本实用新型的有益效果为：

12、1.通过固定机构的设置，使固定机构不再对滑座进行固定，此时便可以移动滑座，对水刀的位置进行调节，通过对水刀与硅片之间的距离进行调节，从而使水刀对硅片清洗的更加干净，提高了水刀装置的使用效果。

13、2.通过滤网和收集箱的配合使用，水刀喷出的水会通过滤网的过滤流入到收集箱内，收集箱对水进行收集，可以对清洗后的水进行重复利用，节省了资源，减少了成本。

14、3.通过底脚的设置，将水刀装置放置在地面上后，底脚上的防滑垫会与地面相接触，此时防滑垫能够增加底脚与地面之间的摩擦力，使水刀装置放置的更加稳定，提高了水刀装置放置的稳定性。

技术特征：

1.一种插片机用可调节水刀装置，包括支座(3)，其特征在于，所述支座(3)的底部内壁固定连接有固定架(6)，固定架(6)的上表面开设有两个滑槽(7)，两个所述滑槽(7)内均滑动连接有滑座(8)，滑座(8)的一侧固定连接有拉簧(13)，且拉簧(13)与滑槽(7)相固定，所述滑座(8)的顶部固定连接有固定座(11)，固定座(11)内固定连接有多个水刀本体(10)，多个所述水刀本体(10)的一端均固定连接有连接软管(9)，所述固定架(6)的两侧均固定连接有水箱(12)，且连接软管(9)与水箱(12)相连通，所述水箱(12)穿过支座(3)，所述水箱(12)的一侧设有多个连接管(2)，所述滑座(8)内设有对滑座(8)进行固定的固定机构。

2.根据权利要求1所述的一种插片机用可调节水刀装置，其特征在于，所述固定机构包括插销(18)，所述滑座(8)内开设有限位槽(16)，所述插销(18)与限位槽(16)滑动连接，所述固定架(6)的上表面开设有多个插口(19)，且插销(18)与插口(19)插接。

3.根据权利要求2所述的一种插片机用可调节水刀装置，其特征在于，所述插销(18)的上表面固定连接有两个弹簧(15)，且弹簧(15)与限位槽(16)相固定。

4.根据权利要求2所述的一种插片机用可调节水刀装置，其特征在于，所述限位槽(16)内固定连接有两个导向杆(14)，且导向杆(14)穿过插销(18)。

5.根据权利要求3所述的一种插片机用可调节水刀装置，其特征在于，所述插销(18)的上表面固定连接有卡环(17)。

6.根据权利要求1所述的一种插片机用可调节水刀装置，其特征在于，所述滑座(8)的一侧固定连接有推块(20)，推块(20)的一侧固定连接有防护垫(21)。

7.根据权利要求1所述的一种插片机用可调节水刀装置，其特征在于，所述固定架(6)的底部开设有多个安装口，多个所述安装口内均设有滤网(4)，所述支座(3)的底部设有收集箱(1)。

8.根据权利要求7所述的一种插片机用可调节水刀装置，其特征在于，所述支座(3)的底部外壁固定连接有多个底脚(5)，多个所述底脚(5)的底部均固定连接有防滑垫。

技术总结
本技术公开了一种插片机用可调节水刀装置，包括支座，所述支座的底部内壁固定连接有固定架，固定架的上表面开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均滑动连接有滑座，滑座的一侧固定连接有拉簧，且拉簧与滑槽相固定，所述滑座的顶部固定连接有固定座，固定座内固定连接有多个水刀本体，多个所述水刀本体的一端均固定连接有连接软管。本技术不仅能够通过对水刀与硅片之间的距离进行调节，从而使水刀对硅片清洗的更加干净，提高了水刀装置的使用效果，而且能够对水进行收集，可以对清洗后的水进行重复利用，节省了资源，减少了成本，还能够使水刀装置放置的更加稳定，提高了水刀装置放置的稳定性。

技术研发人员：陈川南,冯培良
受保护的技术使用者：无锡荣能半导体材料有限公司
技术研发日：20230619
技术公布日：2024/1/15