一种用于氧化镓衬底的清洗装置的制作方法

本技术涉及氧化镓衬底加工，特别涉及一种用于氧化镓衬底的清洗装置。

背景技术：

1、氧化镓衬底是一种常见的半导体材料，具有许多独特的特点，其应用领域非常广泛，被广泛应用于制造led、激光器、太阳能电池、光电探测器等高性能半导体器件；此外，氧化镓衬底还被广泛应用于制造高频电子器件、微波器件等，氧化镓衬底作为半导体材料的一种，其在生产加工过程中，需对其进行清洗工序，以去除其表面粘附的油类分子、粉尘等，例如现有专利技术所示：经检索，中国专利网公开了一种半导体衬底清洗装置(公开公告号cn213529815u)，此类装置通过滑槽移动夹具便于衬底的拆卸和安装，继而利用雾化喷头的喷洒清洁，使得衬底清洗彻底且避免损坏。

2、但是，针对上述公开专利以及现有市场所采取的衬底清洗装置，还存在一些不足之处：此类利用夹具对半导体衬底进行夹固，而后利用雾化喷头进行喷洒清洁的方式，其夹具在夹固过程中，需对部分半导体衬底进行对夹，方可将半导体衬底牢固的夹固，然而部分半导体衬底在夹具的夹固下，无法进行有效的清洗工作，导致衬底的清洗较为不全面，清洗质量低下。为此，本领域技术人员提供了一种用于氧化镓衬底的清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种用于氧化镓衬底的清洗装置，可以有效解决背景技术中现有氧化镓衬底在清洗时，清洗不全面的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种用于氧化镓衬底的清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的箱体前后侧均安装有启闭门，且清洗箱的箱底端安装有栅格板，所述栅格板的网板中部安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端安装有旋转盘，且旋转盘的板面中部安装有夹具机构，所述清洗箱的箱体内部沿旋转盘的圆台周向排布设置有多组清洗喷管，所述清洗箱的箱体底部安装有废液箱。

3、作为本实用新型再进一步的方案：所述夹具机构包括安装在旋转盘板面中部的对夹轨道，所述对夹轨道的导轨内部转动连接有对夹丝杆，且对夹轨道的导轨中部固定安装有定支撑台，所述定支撑台的台架上方安装有第一夹座，所述对夹丝杆的轴杆端对称套设有两组动滑台，两组所述动滑台的台架上方呈对称形式安装有两组第二夹座。

4、作为本实用新型再进一步的方案：所述对夹丝杆的一端输出端设置有手柄，且对夹丝杆以中线为界，中线的两侧分别设置有相互对称排列的正、反丝牙，所述对夹丝杆通过正、反丝牙与两组动滑台对称套接。

5、作为本实用新型再进一步的方案：所述第一夹座与第二夹座的夹面端均为v形结构。

6、作为本实用新型再进一步的方案：多组所述清洗喷管相对于旋转盘的圆心呈环形对称排列，且多组清洗喷管的管道端均开设有指向旋转盘的多组清洗喷头。

7、作为本实用新型再进一步的方案：所述废液箱包括安装在清洗箱箱体底部的回流箱体，所述回流箱体的箱体上半部从上至下依次插合有第一抽拉框、第二抽拉框，所述第一抽拉框的框架内部安装有第一滤板，所述第二抽拉框的框架内部安装有第二滤板，所述回流箱体的箱底端连通有泄流阀。

8、作为本实用新型再进一步的方案：所述回流箱体的箱体内壁从上至下依次设置有与第一抽拉框和第二抽拉框相适配的第一导向卡块、第二导向卡块。

9、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

10、1.本实用新型通过利用夹具机构中第一夹座、第二夹座上的呈v形结构的夹面，能够以边框夹固的方式，对氧化镓衬底边框进行夹固，其一方面具有良好的对夹稳固性能，能够确保氧化镓衬底清洗过程中的稳定性，另一方面并不会对氧化镓衬底板面进行遮盖，确保氧化镓衬底清洗的全面性，且在对其进行清洗的同时，通过利用旋转电机、旋转盘的组合，能够驱动氧化镓衬底水平旋转，使清洗喷管对氧化镓衬底进行更为全面的清洗工作。

11、2.本实用新型在利用清洗装置对氧化镓衬底进行清洗过程中，通过利用废液箱对清洗废液的过滤、回流，能够对废液中的清洗杂质进行过滤隔离，便于工作人员直接处理，降低后续处理强度。

技术特征：

1.一种用于氧化镓衬底的清洗装置，包括清洗箱(1)，其特征在于，所述清洗箱(1)的箱体前后侧均安装有启闭门(3)，且清洗箱(1)的箱底端安装有栅格板(6)，所述栅格板(6)的网板中部安装有旋转电机(8)，所述旋转电机(8)的输出端安装有旋转盘(7)，且旋转盘(7)的板面中部安装有夹具机构(9)，所述清洗箱(1)的箱体内部沿旋转盘(7)的圆台周向排布设置有多组清洗喷管(4)，所述清洗箱(1)的箱体底部安装有废液箱(2)。

2.根据权利要求1所述的一种用于氧化镓衬底的清洗装置，其特征在于，所述夹具机构(9)包括安装在旋转盘(7)板面中部的对夹轨道(91)，所述对夹轨道(91)的导轨内部转动连接有对夹丝杆(93)，且对夹轨道(91)的导轨中部固定安装有定支撑台(94)，所述定支撑台(94)的台架上方安装有第一夹座(95)，所述对夹丝杆(93)的轴杆端对称套设有两组动滑台(96)，两组所述动滑台(96)的台架上方呈对称形式安装有两组第二夹座(97)。

3.根据权利要求2所述的一种用于氧化镓衬底的清洗装置，其特征在于，所述对夹丝杆(93)的一端输出端设置有手柄(92)，且对夹丝杆(93)以中线为界，中线的两侧分别设置有相互对称排列的正、反丝牙，所述对夹丝杆(93)通过正、反丝牙与两组动滑台(96)对称套接。

4.根据权利要求2所述的一种用于氧化镓衬底的清洗装置，其特征在于，所述第一夹座(95)与第二夹座(97)的夹面端均为v形结构。

5.根据权利要求1所述的一种用于氧化镓衬底的清洗装置，其特征在于，多组所述清洗喷管(4)相对于旋转盘(7)的圆心呈环形对称排列，且多组清洗喷管(4)的管道端均开设有指向旋转盘(7)的多组清洗喷头(5)。

6.根据权利要求1所述的一种用于氧化镓衬底的清洗装置，其特征在于，所述废液箱(2)包括安装在清洗箱(1)箱体底部的回流箱体(21)，所述回流箱体(21)的箱体上半部从上至下依次插合有第一抽拉框(22)、第二抽拉框(23)，所述第一抽拉框(22)的框架内部安装有第一滤板(24)，所述第二抽拉框(23)的框架内部安装有第二滤板(25)，所述回流箱体(21)的箱底端连通有泄流阀(26)。

7.根据权利要求6所述的一种用于氧化镓衬底的清洗装置，其特征在于，所述回流箱体(21)的箱体内壁从上至下依次设置有与第一抽拉框(22)和第二抽拉框(23)相适配的第一导向卡块、第二导向卡块。

技术总结
本技术涉及氧化镓衬底加工技术领域，公开了一种用于氧化镓衬底的清洗装置，所述栅格板的网板中部安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端安装有旋转盘，且旋转盘的板面中部安装有夹具机构，所述清洗箱的箱体内部沿旋转盘的圆台周向排布设置有多组清洗喷管。本技术通过利用夹具机构中第一夹座、第二夹座上的呈V形结构的夹面，能够以边框夹固的方式，对氧化镓衬底边框进行夹固，其一方面具有良好的对夹稳固性能，另一方面并不会对氧化镓衬底板面进行遮盖，确保氧化镓衬底清洗的全面性，且通过利用旋转电机、旋转盘的组合，能够驱动氧化镓衬底水平旋转，使清洗喷管对氧化镓衬底进行更为全面的清洗工作。

技术研发人员：郑东,王鑫,张兴姿
受保护的技术使用者：青岛芯康半导体科技有限公司
技术研发日：20230626
技术公布日：2024/1/15