一种高纯碳化硅粉除碳装置的制作方法

文档序号:38150954发布日期:2024-05-30 12:06阅读:11来源:国知局
一种高纯碳化硅粉除碳装置的制作方法

本技术属于碳化硅粉除碳,具体涉及一种高纯碳化硅粉除碳装置。


背景技术:

1、碳化硅以其禁带宽度大、饱和电子迁移率高、击穿场强大、热导率高等优异特性,成为第三代半导体的热门材料,通过采用pvt炉感应加热硅粉和碳粉合成高纯碳化硅颗粒。合成的到的高纯碳化硅块还需要通过破碎、研磨、筛分、除碳和清洗等工序加工后,方能作为碳化硅晶锭生长的原料使用。

2、合成的碳化硅块经过筛分后还存在大量的碳粉需要通过除碳工序除掉,现有技术中对于碳化硅硅粉除碳工艺由于其清理方式单一,从而使得对于碳化硅的清洁效果不佳,从而容易使得碳化硅的表面依旧残留一定数量的硅粉,从而使得装置的使用存在一定的局限之处,不利于使用。

3、因此,需要一种高纯碳化硅粉除碳装置,解决现有技术中存在的对于碳化硅硅粉除碳工艺由于其清理方式单一从而使得对于碳化硅的清洁效果不佳的问题。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种高纯碳化硅粉除碳装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种高纯碳化硅粉除碳装置,包括喷淋桶,所述喷淋桶的底部设置有加热桶,所述喷淋桶与加热桶的中间位置处固定连通有连接管,所述喷淋桶的中间位置处转动连接有转动杆,所述转动杆的顶部穿过喷淋桶并延伸出喷淋桶的外部,所述加热桶内腔的中间位置处固定有支撑板,所述支撑板的中间位置处贯穿转动连接有转动轴,所述转动轴的顶部穿过连接管并延伸喷淋桶的内腔位置处,所述转动杆外周面位于喷淋桶内部部分的两侧均匀固定有多个呈对称分布的第一搅拌杆,所述转动轴外周面位于加热桶内壁部分的两侧均匀固定有多个呈对称分布的第二搅拌杆,所述喷淋桶外周面的两侧滑动插设有喷淋头,所述喷淋头相互靠近的一侧延伸至喷淋桶的内腔位置处。

3、方案中需要说明的是,所述喷淋桶顶部表面的两侧固定有呈对称分布的第一液压缸,所述喷淋头位于喷淋桶外部部分的外周面固定套设有套板,所述第一液压缸的输出端相互远离的一侧与相邻位置套板的表面相固定。

4、进一步值得说明的是,所述转动轴外周面位于连接管内部部分的位置处固定有螺旋片,所述转动杆顶部的表面固定有第二液压缸,所述转动杆与转动轴相互靠近的一端开设有呈矩形设置的矩形槽,所述第二液压缸的输出端固定有连接轴,其中一个所述矩形槽的内壁活动插设有第二磁吸块。

5、更进一步需要说明的是,所述连接轴的底部延伸至相邻位置矩形槽的内部并与第二磁吸块的表面相固定,另一个所述矩形槽的内壁固定有第一磁吸块,所述第二磁吸块的底部延伸至另一个矩形槽的内部并与第一磁吸块的表面相贴合。

6、作为一种优选的实施方式,所述喷淋桶顶部表面的一端位置处固定有电机,所述电机输出端的外周面固定套设有第二齿轮,所述转动杆位于喷淋桶外部部分的外周面固定套设有第一齿轮,所述第一齿轮与所述第二齿轮之间呈啮合连接设置。

7、作为一种优选的实施方式,所述第一搅拌杆外周面与第二搅拌杆外周面的上下两端均匀固定有多个呈倾斜设置的第一连接杆,其中两组所述第一连接杆底部的表面固定有刷板,所述刷板底部的表面与支撑板的表面相贴合。

8、与现有技术相比,本实用新型提供的一种高纯碳化硅粉除碳装置,至少包括如下有益效果:

9、(1)通过喷淋桶、加热桶与喷淋头,从而能够首先对置于喷淋桶内部的碳化硅进行喷淋冲洗,再将运动至加热桶内部的碳化硅通入压缩空气或氧气与多余的碳粉反应生成二氧化碳,以此达到碳化硅粉除碳作业,从而由此能够提高对于碳化硅的清洁效果,从而提高了该装置的实用性。

10、(2)通过螺旋片、第二磁吸块与第一磁吸块,从而在需要将喷淋桶内部经过喷淋后的碳化硅输送至加热桶的内部,通过第二磁吸块延伸至相邻位置矩形槽的内部并与第一磁吸块的表面相贴合,从而使得转动杆转动时带动转动轴进行转动,从而在螺旋片的作用下能够将碳化硅匀速输送至加热桶的内部,从而便于使用者控制使得经过喷淋后的碳化硅才能将碳化硅输送至加热桶的内部进行二次除碳作业,从而进一步提高了该装置的实用性。



技术特征:

1.一种高纯碳化硅粉除碳装置,包括喷淋桶(1),其特征在于,所述喷淋桶(1)的底部设置有加热桶(2),所述喷淋桶(1)与加热桶(2)的中间位置处固定连通有连接管(3),所述喷淋桶(1)的中间位置处转动连接有转动杆(5),所述转动杆(5)的顶部穿过喷淋桶(1)并延伸出喷淋桶(1)的外部,所述加热桶(2)内腔的中间位置处固定有支撑板(18),所述支撑板(18)的中间位置处贯穿转动连接有转动轴(10),所述转动轴(10)的顶部穿过连接管(3)并延伸喷淋桶(1)的内腔位置处,所述转动杆(5)外周面位于喷淋桶(1)内部部分的两侧均匀固定有多个呈对称分布的第一搅拌杆(9),所述转动轴(10)外周面位于加热桶(2)内壁部分的两侧均匀固定有多个呈对称分布的第二搅拌杆(11),所述喷淋桶(1)外周面的两侧滑动插设有喷淋头(4),所述喷淋头(4)相互靠近的一侧延伸至喷淋桶(1)的内腔位置处。

2.根据权利要求1所述的一种高纯碳化硅粉除碳装置,其特征在于:所述喷淋桶(1)顶部表面的两侧固定有呈对称分布的第一液压缸(16),所述喷淋头(4)位于喷淋桶(1)外部部分的外周面固定套设有套板(15),所述第一液压缸(16)的输出端相互远离的一侧与相邻位置套板(15)的表面相固定。

3.根据权利要求2所述的一种高纯碳化硅粉除碳装置,其特征在于:所述转动轴(10)外周面位于连接管(3)内部部分的位置处固定有螺旋片(12),所述转动杆(5)顶部的表面固定有第二液压缸(17),所述转动杆(5)与转动轴(10)相互靠近的一端开设有呈矩形设置的矩形槽(20),所述第二液压缸(17)的输出端固定有连接轴(21),其中一个所述矩形槽(20)的内壁活动插设有第二磁吸块(22)。

4.根据权利要求3所述的一种高纯碳化硅粉除碳装置,其特征在于:所述连接轴(21)的底部延伸至相邻位置矩形槽(20)的内部并与第二磁吸块(22)的表面相固定,另一个所述矩形槽(20)的内壁固定有第一磁吸块(13),所述第二磁吸块(22)的底部延伸至另一个矩形槽(20)的内部并与第一磁吸块(13)的表面相贴合。

5.根据权利要求1所述的一种高纯碳化硅粉除碳装置,其特征在于:所述喷淋桶(1)顶部表面的一端位置处固定有电机(7),所述电机(7)输出端的外周面固定套设有第二齿轮(8),所述转动杆(5)位于喷淋桶(1)外部部分的外周面固定套设有第一齿轮(6),所述第一齿轮(6)与所述第二齿轮(8)之间呈啮合连接设置。

6.根据权利要求1所述的一种高纯碳化硅粉除碳装置,其特征在于:所述第一搅拌杆(9)外周面与第二搅拌杆(11)外周面的上下两端均匀固定有多个呈倾斜设置的第一连接杆(14),其中两组所述第一连接杆(14)底部的表面固定有刷板(19),所述刷板(19)底部的表面与支撑板(18)的表面相贴合。


技术总结
本技术公开了一种高纯碳化硅粉除碳装置,属于碳化硅粉除碳技术领域,针对了对于碳化硅硅粉除碳工艺由于其清理方式单一从而使得对于碳化硅的清洁效果不佳的问题,包括喷淋桶,喷淋桶的底部设置有加热桶,喷淋桶与加热桶的中间位置处固定连通有连接管,喷淋桶的中间位置处转动连接有转动杆,转动杆的顶部穿过喷淋桶并延伸出喷淋桶的外部,加热桶内腔的中间位置处固定有支撑板,支撑板的中间位置处贯穿转动连接有转动轴,转动轴的顶部穿过连接管并延伸喷淋桶的内腔位置处,转动杆外周面位于喷淋桶内部部分的两侧均匀固定有多个呈对称分布的第一搅拌杆;本技术能够提高对于碳化硅的清洁效果,从而提高了该装置的实用性。

技术研发人员:李立文
受保护的技术使用者:东海县蓝博能源有限公司
技术研发日:20230710
技术公布日:2024/5/29
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