补液装置和补液机的制作方法

本技术涉及槽式石墨舟清洗制造，特别是涉及一种补液装置和补液机。

背景技术：

1、目前降低单晶硅太阳能电池成本,开发高效电池的途径有两条,一是提高电池表面钝化技术,二是优化电池表面陷光结构。在提高perc电池表面钝化技术制备工艺方面,主要是通过在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化,从而达到提效的目的。

2、常用的方法是使用“等离子增强型化学气相沉积”即pecvd。pecvd是沉积非晶硅薄膜的沉积主流方式之一，管式pecvd需要将待镀膜的硅片插入石墨舟中每一张舟片的两侧，镀膜工艺时会不断覆盖氮化硅和杂质脏污，如果不对其及时清洗维护，将会严重影响镀膜工艺。

3、传统技术中，往往通过人工手动倒入清洗剂，以实现对石墨舟的清洗。

4、然而，目前的人工手动补充清洗剂的方式，存在补充效率较低且不易控制补充量的问题。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种补液装置和补液机，能够实现自动化补液，提升了补液效率。

2、本公开实施方式提供一种补液装置，用于通过补充清洗剂，以对石墨舟进行清洁，所述补液装置包括：

3、储液箱，所述储液箱具有用于储放该清洗剂的储液槽；

4、管路组件，所述管路组件与所述储液槽连通；以及

5、补液组件，所述补液组件包括循环泵，所述循环泵分别与所述储液槽和所述管路组件连通，用于将储放于所述储液槽内的该清洗剂经由所述管路组件输送至该石墨舟处。

6、本公开实施方式提供的补液装置，储液箱用于储放清洗剂，循环泵分别与储液槽和管路组件连通，能够将储放在储液槽内的清洗剂经由管路组件输送至该石墨舟处，以实现自动化补液。

7、在其中一个实施例中，所述补液组件还包括变送器，所述变送器与所述管路组件和所述循环泵连通。

8、如此设置，变送器与管路组件和循环泵连通，用于控制循环泵抽送量。

9、在其中一个实施例中，所述管路组件包括第一输液管和第二输液管，所述第一输液管与所述储液槽和所述变送器连通，用于将储放于所述储液槽内的该清洗剂输送至所述变送器；

10、所述第二输液管与所述循环泵连通，用于通过所述循环泵将所述变送器内的该清洗剂抽送至所述第二输液管。

11、如此设置，第一输液管与分别与储液槽和变送器连通，用于将储液槽内的该清洗剂输送至变送器，然后通过循环泵将变送器内的该清洗剂抽送至第二输液管，并通过第二输液管将该清洗剂输送至该石墨舟处。

12、在其中一个实施例中，所述第二输液管包括总输液管、与所述总输液管连通的多个支输液管及与各个所述支输液管连通的输出管，所述输出管用于将该清洗剂输送至该石墨舟处。

13、如此设置，总输液管能够将该清洗剂输送至各个支输液管，并通过输出管将该清洗剂输送至该石墨舟处。

14、在其中一个实施例中，所述第二输液管还包括多个气动阀，多个所述气动阀与多个所述支输液管一一对应设置。

15、如此设置，多个气动阀与多个支输液管一一对应设置，用于控制各个支输液管的开闭。

16、在其中一个实施例中，所述第二输液管还包括输送管和连通管，所述输送管分别与所述变送器和所述循环泵连通，所述连通管分别与所述循环泵和所述总输液管连通。

17、如此设置，循环泵能够将通过输送管将变送器内的该去清洗剂输送至连通管，并通过连通管将该清洗剂输送至总输液管处。

18、在其中一个实施例中，所述管路组件还包括溢流管，所述溢流管与所述变送器连通，用于排出所述变送器内多余的该清洗剂。

19、如此设置，溢流管与变送器连通可防止清洗剂补加漫过变送器内的活塞和活动块，避免了清洗剂对活塞和活动块的腐蚀，有效保障了实际清洗石墨舟中变送器的正常使用和延长了变送器的使用寿命。

20、在其中一个实施例中，所述补液装置还包括液位感应器，所述液位感应器位于所述储液槽内。

21、如此设置，液位感应器位于储液槽内，用于感知储液槽内该清洗剂的液位情况。

22、在其中一个实施例中，所述储液箱具有与所述储液槽连通用于补充该清洗剂的补液口及与所述储液槽连通用于排放该清洗剂的排液阀。

23、如此设置，排放阀与储液槽连通，可单独排空储液槽内的该清洗剂，以更换储液槽内的液体种类或者对储液槽进行清理。

24、根据本申请的另一方面，本申请进一步地提供了一种补液机，包括：

25、机架本体；

26、如上述任一项所述的补液装置，所述补液装置装设于所述机架本体。

27、如此设置，补液装置装设在机架本体上，能够将储放在储液槽内的清洗剂经由管路组件输送至该石墨舟处，以实现自动化补液，大大提升了补液效率。

技术特征：

1.一种补液装置，用于通过补充清洗剂，以对石墨舟进行清洁，其特征在于，所述补液装置包括：

2.根据权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述补液组件(30)还包括变送器(32)，所述变送器(32)与所述管路组件(20)和所述循环泵(31)连通。

3.根据权利要求2所述的补液装置，其特征在于，所述管路组件(20)包括第一输液管(21)和第二输液管(22)，所述第一输液管(21)与所述储液槽(11)和所述变送器(32)连通，用于将储放于所述储液槽(11)内的该清洗剂输送至所述变送器(32)；

4.根据权利要求3所述的补液装置，其特征在于，所述第二输液管(22)包括总输液管(221)、与所述总输液管(221)连通的多个支输液管(222)及与各个所述支输液管(222)连通的输出管(223)，所述输出管(223)用于将该清洗剂输送至该石墨舟处。

5.根据权利要求4所述的补液装置，其特征在于，所述第二输液管(22)还包括多个气动阀(224)，多个所述气动阀(224)与多个所述支输液管(222)一一对应设置。

6.根据权利要求4所述的补液装置，其特征在于，所述第二输液管(22)还包括输送管(225)和连通管(226)，所述输送管(225)分别与所述变送器(32)和所述循环泵(31)连通，所述连通管(226)分别与所述循环泵(31)和所述总输液管(221)连通。

7.根据权利要求2所述的补液装置，其特征在于，所述管路组件(20)还包括溢流管(23)，所述溢流管(23)与所述变送器(32)连通，用于排出所述变送器(32)内多余的该清洗剂。

8.根据权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述补液装置还包括液位感应器(40)，所述液位感应器(40)位于所述储液槽(11)内。

9.根据权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述储液箱(10)具有与所述储液槽(11)连通用于补充该清洗剂的补液口(12)及与所述储液槽(11)连通用于排放该清洗剂的排液阀(13)。

10.一种补液机，其特征在于，包括：

技术总结
本技术涉及一种补液装置和补液机。所述补液装置包括储液箱、管路组件以及补液组件，所述储液箱具有用于储放该清洗剂的储液槽；所述管路组件与所述储液槽连通；所述补液组件包括循环泵，所述循环泵分别与所述储液槽和所述管路组件连通，用于将储放于所述储液槽内的该清洗剂经由所述管路组件输送至该石墨舟处。本技术能够实现自动化补液，提升了补液效率。

技术研发人员：金强强,张磊,任勇,董乐乐,高书杰
受保护的技术使用者：横店集团东磁股份有限公司
技术研发日：20230804
技术公布日：2024/3/27