一种半导体自动清洗设备的制作方法

本技术涉及半导体自动清洗，具体为一种半导体自动清洗设备。

背景技术：

1、在半导体行业设备中，大家聊的最多要属光刻机，被誉为集成电路产业皇冠上的明珠。但是，半导体行业涉及的设备多种多样，其中在前段制程中用的最频繁的设备无疑是半导体清洗设备。

2、公告号为cn 212991034 u提供的一种高速自动半导体等离子清洗设备，包括机架和设置于所述机架上的三轴龙门机构、等离子清洗头、输送机构、自动上料机构、自动下料机构、识别机构、废气处理系统，所述输送机构横向设置于所述机架上，所述三轴龙门机构横跨于所述输送机构的上方，所述等离子清洗头设置于所述三轴龙门机构的工作端，所述自动上料机构、自动下料机构、输送机构均至少为两组，两组以上的自动上料机构、自动下料机构、输送机构在所述机架上横向平行设置；本实用新型完成产品的自动上下料，通过输送机构精确传送，使等离子清洗头快速定位到需要清洗的产品位置，提高了设备的清洗效率，能够兼容不同规格的产品，具有良好的市场应用价值。

3、上述中的现有技术方案存在以下缺陷：该半导体自动清洗设备不便于对半导体拾取与放置，不便于运输半导体，不便于旋转翻面，不便于对废液进行引导收集，避废液长时间留存在机体内部容易导致机体腐蚀，因此，本实用新型提供一种半导体自动清洗设备，以解决上述提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种半导体自动清洗设备，以解决上述背景技术中提出的不便于对半导体拾取与放置，不便于运输半导体，不便于旋转翻面，不便于对废液进行引导收集，避废液长时间留存在机体内部容易导致机体腐蚀的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体自动清洗设备，包括：

3、机体外壳，所述机体外壳的左右两端安装有水箱，且水箱的内端连接有输液管，并且输液管的下端设置有喷头，所述喷头的下侧设置有电机，且电机的上端连接有安装盘，所述安装盘的外端连接有移动键，且移动键的外侧安装有连接壳，并且连接壳的外端连接有安装块，所述安装块的外端设置有限定壳;

4、电动升缩杆，其安装在限定壳的内部，所述电动升缩杆的外端连接有夹臂，且夹臂的内端安装有防滑垫，并且夹臂的内部贯穿有贯穿杆，所述电机的外侧设置有入水口，且入水口的下端设置有废液箱。

5、优选地，所述水箱关于机体外壳的中轴线左右对称设置，且水箱与机体外壳焊接固定。

6、优选地，所述安装盘的外侧边框上等角度开设有“y”型通槽，且移动键的后端与安装盘采用活动卡合的方式相连接。

7、优选地，所述连接壳的内部等距离开设有契合安装块的通孔，且每个安装块的外端等间距排布有3个电动升缩杆。

8、优选地，所述电动升缩杆的前端与夹臂构成转动结构，且夹臂关于电动升缩杆的中轴线左右对称设置。

9、优选地，所述夹臂的内部开设有契合贯穿杆的方形通槽，且夹臂在贯穿杆的外侧构成滑动结构。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体自动清洗设备便于对半导体拾取与放置，且操作简单夹放灵活，便于在一定范围内运输半导体，且同时可进行旋转翻面，使半导体更好地被清洗，不留死角，便于对废液进行引导收集，避免由于废液长时间留存在机体内部导致机体腐蚀；

11、设置有电动升缩杆、夹臂和贯穿杆，通过收缩电动升缩杆，使电动升缩杆的前端拉动夹臂使夹臂间的夹角变小距离拉近夹半导体，该机构的设置便于对半导体拾取与放置，且操作简单夹放灵活；

12、设置有安装盘、移动键和连接壳，安装盘带动连接壳旋转，且通过安装盘上凹槽的限位使连接壳带动安装块进行180°翻转，该机构便于在一定范围内运输半导体，且同时可进行旋转翻面，使半导体更好地被清洗，不留死角；

13、设置有机体外壳、入水口和废液箱，机体外壳下端的坡度设置便于对废液进行引导收集，避免由于废液长时间留存在机体外壳的内部导致机体腐蚀。

技术特征：

1.一种半导体自动清洗设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种半导体自动清洗设备，其特征在于：所述水箱（2）关于机体外壳（1）的中轴线左右对称设置，且水箱（2）与机体外壳（1）焊接固定。

3.根据权利要求1所述的一种半导体自动清洗设备，其特征在于：所述安装盘（6）的外侧边框上等角度开设有“y”型通槽，且移动键（7）的后端与安装盘（6）采用活动卡合的方式相连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体自动清洗设备，其特征在于：所述连接壳（8）的内部等距离开设有契合安装块（9）的通孔，且每个安装块（9）的外端等间距排布有3个电动升缩杆（11）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体自动清洗设备，其特征在于：所述电动升缩杆（11）的前端与夹臂（12）构成转动结构，且夹臂（12）关于电动升缩杆（11）的中轴线左右对称设置。

6.根据权利要求1所述的一种半导体自动清洗设备，其特征在于：所述夹臂（12）的内部开设有契合贯穿杆（13）的方形通槽，且夹臂（12）在贯穿杆（13）的外侧构成滑动结构。

技术总结
本技术公开了一种半导体自动清洗设备，包括：机体外壳，所述机体外壳的左右两端安装有水箱，且水箱的内端连接有输液管，并且输液管的下端设置有喷头，所述喷头的下侧设置有电机，且电机的上端连接有安装盘，所述安装盘的外端连接有移动键，且移动键的外侧安装有连接壳，并且连接壳的外端连接有安装块，所述安装块的外端设置有限定壳;电动升缩杆，其安装在限定壳的内部。该半导体自动清洗设备便于对半导体拾取与放置，且操作简单夹放灵活，便于在一定范围内运输半导体，且同时可进行旋转翻面，使半导体更好地被清洗，不留死角，便于对废液进行引导收集，避免由于废液长时间留存在机体内部导致机体腐蚀。

技术研发人员：刘金升
受保护的技术使用者：苏州施密科微电子设备有限公司
技术研发日：20231017
技术公布日：2024/5/29