一种用于晶圆盒清洗的旋转储位装置的制作方法

本技术属于晶圆盒，特别是一种用于晶圆盒清洗的旋转储位装置。

背景技术：

1、晶圆盒在清洗时需要放在旋转储位装置内，通过驱动所述旋转储位装置旋转，从而带动晶圆盒旋转以便于清洗，为了保证晶圆盒在旋转时不容易掉落且便于水流冲刷，一般使用一些夹具将晶圆盒夹紧并撑开，夹具将通过设置在夹具上的多个挂钩悬挂在旋转储位装置内，不同的晶圆盒通过不同尺寸的夹具夹紧，在夹具的背面设置多个挂钩，从而能够将夹具悬挂在水平设置的挂杆上，挂钩的位置一般为三个且分别设置在夹具的两端和中间，从而保证悬挂时的稳定。

2、由于现有的晶圆盒的种类和尺寸很多，这使得晶圆盒打开后展平的长度不一致，当通过夹具悬挂在旋转储位装置内时，挂钩的位置很难匹配，从而使得夹具在旋转清洗时晃动甚至掉落。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供了一种用于晶圆盒清洗的旋转储位装置，以解决上述问题。

2、一种用于晶圆盒清洗的旋转储位装置，其包括一个框体，以及分别设置在所述框体的顶部和底部的旋转轴组件，所述框体包括两块间隔设置的侧板，以及多个设置在两块所述侧板之间的挂杆，所述侧板包括一个框架，以及多个交叉设置在所述框架内的加强筋，所述框架上沿竖直方向上开设有多个插孔，所述挂杆的数量为3的倍数，相邻的三个所述挂杆成组，每组所述挂杆包括一根位于中间的定杆，以及两根分别设置在所述定杆两侧的动杆，所述动杆选择性的插装在所述插孔内，以改变所述动杆与所述定杆之间的相对位置。

3、进一步地，所述挂杆分布在所述框架的一条竖杆上，以使所述框体的正面形成一个开口。

4、进一步地，所述侧板的朝向所述开口的一侧的中部设置有一个凹部。

5、进一步地，所述旋转轴包括分别设置在所述框体的顶部和底部的安装框，以及分别插装在所述安装框内的转轴。

6、进一步地，所述安装框包括四个与所述框体的一端四角处连接的安装杆，以及一个设置在四个所述安装杆的末端的安装环，所述转轴安装在所述安装环内。

7、进一步地，所述凹部与所述侧板的侧边之间分别设置有一个倾斜过渡部。

8、与现有技术相比，本实用新型提供的用于晶圆盒清洗的旋转储位装置通过在框体上设置多个插孔，所述框体之间设置有多个挂杆，所述挂杆包括固定插装在所述插孔内的定杆，以及活动插装在所述插孔内的动杆，所述动杆选择性的插装在所述插孔内，以使所述挂杆之间的间距可调，以适应不同尺寸的晶圆盒的支架。

技术特征：

1.一种用于晶圆盒清洗的旋转储位装置，其特征在于：所述用于晶圆盒清洗的旋转储位装置包括一个框体，以及分别设置在所述框体的顶部和底部的旋转轴组件，所述框体包括两块间隔设置的侧板，以及多个设置在两块所述侧板之间的挂杆，所述侧板包括一个框架，以及多个交叉设置在所述框架内的加强筋，所述框架上沿竖直方向上开设有多个插孔，所述挂杆的数量为3的倍数，相邻的三个所述挂杆成组，每组所述挂杆包括一根位于中间的定杆，以及两根分别设置在所述定杆两侧的动杆，所述动杆选择性的插装在所述插孔内，以改变所述动杆与所述定杆之间的相对位置。

2.如权利要求1所述的用于晶圆盒清洗的旋转储位装置，其特征在于：所述挂杆分布在所述框架的一条竖杆上，以使所述框体的正面形成一个开口。

3.如权利要求2所述的用于晶圆盒清洗的旋转储位装置，其特征在于：所述侧板的朝向所述开口的一侧的中部设置有一个凹部。

4.如权利要求1所述的用于晶圆盒清洗的旋转储位装置，其特征在于：所述旋转轴包括分别设置在所述框体的顶部和底部的安装框，以及分别插装在所述安装框内的转轴。

5.如权利要求4所述的用于晶圆盒清洗的旋转储位装置，其特征在于：所述安装框包括四个与所述框体的一端四角处连接的安装杆，以及一个设置在四个所述安装杆的末端的安装环，所述转轴安装在所述安装环内。

6.如权利要求3所述的用于晶圆盒清洗的旋转储位装置，其特征在于：所述凹部与所述侧板的侧边之间分别设置有一个倾斜过渡部。

技术总结
一种用于晶圆盒清洗的旋转储位装置，其包括一个框体，以及旋转轴组件，所述框体包括两块间隔设置的侧板，以及多个设挂杆，所述侧板包括一个框架，以及多个加强筋，所述框架上开设有多个插孔，所述挂杆的数量为3的倍数，相邻的三个所述挂杆成组，每组所述挂杆包括一根位于中间的定杆，以及两根分别设置在所述定杆两侧的动杆。本用于晶圆盒清洗的旋转储位装置通过在框体上设置多个插孔，所述框体之间设置有多个挂杆，所述挂杆包括固定插装在所述插孔内的定杆，以及活动插装在所述插孔内的动杆，所述动杆选择性的插装在所述插孔内，以使所述挂杆之间的间距可调，以适应不同尺寸的晶圆盒的支架。

技术研发人员：潘径波,刘出群
受保护的技术使用者：浙江赛瑾半导体科技有限公司
技术研发日：20231121
技术公布日：2024/6/30