一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置的制作方法

本技术涉及电池片生产中的制绒工序，更具体的说是涉及一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置。

背景技术：

1、随着全球经济的发展，能源的消耗急剧增长，绝大多数能源是化石燃料，不仅资源日渐减少，而且大量二氧化碳等气体排放，使环境问题日益严重。冶金法提纯多晶硅的工艺因具有提纯技术产能大、生产工艺简单、提纯工艺不涉及化学过程、与环境友好等优点，被广泛使用。而现有技术中的单晶硅片制备技术成本较高且效率不高，在进行生产时企业的生产成本和效益不成正比，另外，随着低端市场的越发成熟，传统技术的高成本、低效益已无法在保证使用性能和技术路线的同时，迎合需求日益旺盛的低端单晶电池片市场。

2、在太阳能电池生产工艺流程中，需要对晶硅电池进行表面织构化——即制绒工艺，硅太阳电池的制绒工艺是生产过程中极为重要的工艺，有效的绒面结构使得入射光在硅片表面多次反射和折射，增加了光的吸收，降低了反射率，有助于提高电池的性能。在单晶制绒工序中，目前广泛采用的是单晶制绒清洗工艺，传统的单晶制绒清洗工艺只包括一次制绒、酸洗和水洗，常常导致外观异常和效率偏低。

3、因此，如何提供一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，是本领域技术人员亟需解决的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供了一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，旨在解决上述技术问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

3、一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，包括依次布置的前清洗槽、第一水洗槽、制绒槽、第二水洗槽、后清洗槽、酸洗槽和第三水洗槽；其特征在于，还包括设于所述后清洗槽和所述酸洗槽之间的臭氧槽，所述臭氧槽具有臭氧通入管路和盐酸通入管路。

4、通过上述技术方案，本实用新型提供的用于硅片制绒工艺的高效清洗装置在后清洗槽和酸洗槽之间增加了臭氧槽，臭氧槽具有盐酸通入管路，在酸洗槽的清洗前进行一次硅片清洗，且能够维持臭氧浓度，清洗后的硅片再次进入酸洗槽内进行反应，能够实现高效的清洗效果。

5、优选的，在上述一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置中，酸洗槽具有氢氟酸通入管路、盐酸通入管路和酸洗剂通入管路。酸洗槽内通入酸洗剂，提高酸洗效果，且减少盐酸的使用量。

6、优选的，在上述一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置中，还包括依次布置在所述酸洗槽后工位的慢提拉槽和多个烘干槽。慢提拉槽利用水的张力，去除表面已经脱附的杂质及残留酸液，通过热风循环烘干硅片表面。

7、优选的，在上述一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置中，所述前清洗槽、所述第一水洗槽、所述制绒槽、所述第二水洗槽、所述后清洗槽、所述臭氧槽、所述酸洗槽和所述第三水洗槽内均设有扰流机构。设置扰流机构能够使得各槽体的反应效果更好。

8、优选的，在上述一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置中，所述扰流机构还包括环形浮动管路，所述环形浮动管路环绕设于槽体的内侧，所述环形浮动管路的底面开设有气孔。本实用新型为了提高硅片在各槽体的反应效果，增加了可以上下浮动动作的环形浮动管路，与固定的通气管路形成动静配合，进一步提高反应效果。

9、优选的，在上述一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置中，所述环形浮动管路上固定有配重体。设置配重体能够在不通气时使得环形浮动管路下落。

10、优选的，在上述一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置中，槽底四角竖直固定有导杆，所述环形浮动管路的四角具有与所述导杆滑动连接的导套，所述导杆顶端具有限位头。设置导杆和导套能够使得环形浮动管路在槽体内上下稳定浮动，进行扰流。

11、经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，具有以下有益效果：

12、1、本实用新型提供的用于硅片制绒工艺的高效清洗装置在后清洗槽和酸洗槽之间增加了臭氧槽，臭氧槽具有盐酸通入管路，在酸洗槽的清洗前进行一次硅片清洗，且能够维持臭氧浓度，清洗后的硅片再次进入酸洗槽内进行反应，能够实现高效的清洗效果。

13、2、本实用新型为了提高硅片在各槽体的反应效果，增加了可以上下浮动动作的环形浮动管路，与固定的通气管路形成动静配合，进一步提高反应效果。

技术特征：

1.一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，包括依次布置的前清洗槽(1)、第一水洗槽(2)、制绒槽(3)、第二水洗槽(4)、后清洗槽(5)、酸洗槽(6)和第三水洗槽(7)；其特征在于，还包括设于所述后清洗槽(5)和所述酸洗槽(6)之间的臭氧槽(8)，所述臭氧槽(8)具有臭氧通入管路和盐酸通入管路。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，其特征在于，所述酸洗槽(6)具有氢氟酸通入管路、盐酸通入管路和酸洗剂通入管路。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，其特征在于，还包括依次布置在所述酸洗槽(6)后工位的慢提拉槽(9)和多个烘干槽(10)。

4.根据权利要求2或3所述的一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，其特征在于，所述前清洗槽(1)、第一水洗槽(2)、所述制绒槽(3)、所述第二水洗槽(4)、所述后清洗槽(5)、所述臭氧槽(8)、所述酸洗槽(6)和所述第三水洗槽(7)内均设有扰流机构。

5.根据权利要求4所述的一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，其特征在于，所述扰流机构包括设于槽底的多根通气管(11)，所述通气管(11)上开设有气孔(12)。

6.根据权利要求4所述的一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，其特征在于，所述扰流机构包括设于槽底的网管体系(13)，所述网管体系(13)的管路上开设有气孔(12)。

7.根据权利要求4所述的一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，其特征在于，所述扰流机构包括均匀设于槽底的多个气柱(14)，所述气柱(14)上开设有气孔(12)。

8.根据权利要求5-7中任一项所述的一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，其特征在于，所述扰流机构还包括环形浮动管路(15)，所述环形浮动管路(15)环绕设于槽体的内侧，所述环形浮动管路(15)的底面开设有气孔(12)。

9.根据权利要求8所述的一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，其特征在于，所述环形浮动管路(15)上固定有配重体(16)。

10.根据权利要求8所述的一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，其特征在于，槽底四角竖直固定有导杆(17)，所述环形浮动管路(15)的四角具有与所述导杆(17)滑动连接的导套(18)，所述导杆(17)顶端具有限位头(19)。

技术总结
本技术公开了一种用于硅片制绒工艺的高效清洗装置，涉及电池片生产中的制绒工序，包括依次布置的前清洗槽、第一水洗槽、制绒槽、第二水洗槽、后清洗槽、酸洗槽和第三水洗槽；其特征在于，还包括设于后清洗槽和酸洗槽之间的臭氧槽，臭氧槽具有臭氧通入管路和盐酸通入管路。本技术提供的用于硅片制绒工艺的高效清洗装置在后清洗槽和酸洗槽之间增加了臭氧槽，臭氧槽具有盐酸通入管路，在酸洗槽的清洗前进行一次硅片清洗，且能够维持臭氧浓度，清洗后的硅片再次进入酸洗槽内进行反应，能够实现高效的清洗效果。

技术研发人员：陈潇锋,李先帅,许彦磊,邵帅
受保护的技术使用者：中润新能源（徐州）有限公司
技术研发日：20231129
技术公布日：2024/8/15