新型单晶炉管道在线清灰装置的制作方法

本技术属于靠放入管道内并沿管道移动的清洁装置的，特别涉及一种新型单晶炉管道在线清灰装置。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉主要包括炉体、电气控制柜、加热器、电源柜、主真空泵、副室真空泵、真空管道、液压系统、氩气系统，以及冷却水系统。

2、在使用时，将预先合成好的多晶原料装在炉体中，并被加热到原料的熔点以上使其熔化，控制温度、炉压、功率，晶升速度、埚升速度、晶转速度、埚转速度等关键控制参数，完成调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾及停炉等一些列工艺过程，进而得到所需直径大小的圆柱状单晶硅棒；在整个过程中原料熔融状态后易产生挥发物，随着单晶炉长时间运行，挥发物易附着在真空管道的管壁以及管口处。

3、中国专利申请号为202122127720.2，公开了一种单晶炉清灰装置及单晶炉，该单晶炉清灰装置包括：驱动组件、清灰组件；驱动组件与清灰组件连接，驱动组件用于驱动清灰组件沿清灰组件与驱动组件连接的连接方向往复运动，清灰组件用于对单晶炉的管道进行清灰，其中驱动组件采用所述驱动组件为电磁铁，所述清灰组件连接有电磁铁杆，所述电磁铁杆与所述电磁铁连接；在所述电磁铁与所述电磁铁杆通电的情况下，所述电磁铁杆远离所述电磁铁，所述电磁铁杆带动所述清灰组件沿第一方向移动；在所述电磁铁断电的情况下，所述电磁铁杆靠近所述电磁铁，所述电磁铁杆带动所述清灰组件沿第二方向移动；其中，所述第一方向与所述第二方向相反，这种结构单晶炉清灰装置在维修过程中需要等炉体温度降低后，工人进入管道后再进行拆卸，安全系数低，操作不方便。

技术实现思路

1、本实用新型的是提供一种新型单晶炉管道在线清灰装置，该一种新型单晶炉管道在线清灰装置通过在管道底部设置有安装架，将磁流体可拆卸安装在安装架上，磁流体顶部设置有方便转动轴插入的安装槽，磁流体底部设置有电机，该结构在清灰完成后，方便磁流体和电机从安装架上拆卸，转动轴和清灰机构从管道顶部吊装，装置体积小、安装拆卸方便，极大的降低了人工成本、避免安全隐患，提高生产效率。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型一种新型单晶炉管道在线清灰装置，包括设置在管道内的清灰机构和与清灰机构连接的驱动机构，所述驱动机构包括设置在管道底部的安装架、可拆卸安装在安装架底部的磁流体、安装在磁流体底部的电机和从上向下插接在磁流体顶部的转动轴，所述清灰机构安装在转动轴，所述转动轴上位于管道内底部处设置有挡灰槽。

3、进一步，所述管道内底部设置有安装座，所述安装座上设置有容纳挡灰槽的容纳槽，所述容纳槽中部设置有转动轴穿过的通孔。

4、进一步，所述挡灰槽底部延伸有套装在转动轴上的轴套，所述轴套上设置有用于固定容纳槽位置的安装螺钉。

5、进一步，所述清灰机构包括对称设置且上下错位的清灰刮板i和清灰刮板ii，所述清灰刮板i和清灰刮板ii分别通过安装杆i和安装杆ii固定在转动轴上部。

6、进一步，所述清灰刮板i顶部延伸至管道口处。

7、进一步，所述转动轴上部处设置有不少于2个用于调节清灰刮板i位置的调节安装孔。

8、进一步，所述转动轴上靠近调节安装孔垂直方向上设置有用于固定安装杆i的螺栓固定孔。

9、本实用新型有益效果在于：

10、本实用新型一种新型单晶炉管道在线清灰装置通过在管道底部设置有安装架，将磁流体可拆卸安装在安装架上，磁流体顶部设置有方便转动轴插入的安装槽，磁流体底部设置有电机，该结构在清灰完成后，方便磁流体和电机从安装架上拆卸，转动轴和清灰机构从管道顶部吊装，装置体积小、安装拆卸方便，极大的降低了人工成本、避免安全隐患，提高生产效率。

技术特征：

1.一种新型单晶炉管道在线清灰装置，包括设置在管道内的清灰机构和与清灰机构连接的驱动机构，其特征在于：所述驱动机构包括设置在管道底部的安装架、可拆卸安装在安装架底部的磁流体、安装在磁流体底部的电机和从上向下插接在磁流体顶部的转动轴，所述清灰机构安装在转动轴，所述转动轴上位于管道内底部处设置有挡灰槽。

2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉管道在线清灰装置，其特征在于：所述管道内底部设置有安装座，所述安装座上设置有容纳挡灰槽的容纳槽，所述容纳槽中部设置有转动轴穿过的通孔。

3.根据权利要求2所述的一种新型单晶炉管道在线清灰装置，其特征在于：所述挡灰槽底部延伸有套装在转动轴上的轴套，所述轴套上设置有用于固定容纳槽位置的安装螺钉。

4.根据权利要求1～3任一项所述的一种新型单晶炉管道在线清灰装置，其特征在于：所述清灰机构包括对称设置且上下错位的清灰刮板i和清灰刮板ii，所述清灰刮板i和清灰刮板ii分别通过安装杆i和安装杆ii固定在转动轴上部。

5.根据权利要求4所述的一种新型单晶炉管道在线清灰装置，其特征在于：所述清灰刮板i顶部延伸至管道口处。

6.根据权利要求4所述的一种新型单晶炉管道在线清灰装置，其特征在于：所述转动轴上部处设置有不少于2个用于调节清灰刮板i位置的调节安装孔。

7.根据权利要求4所述的一种新型单晶炉管道在线清灰装置，其特征在于：所述转动轴上靠近调节安装孔垂直方向上设置有用于固定安装杆i的螺栓固定孔。

技术总结
本技术公开了一种新型单晶炉管道在线清灰装置，包括设置在管道内的清灰机构和与清灰机构连接的驱动机构，驱动机构包括设置在管道底部的安装架、可拆卸安装在安装架底部的磁流体、安装在磁流体底部的电机和从上向下插接在磁流体顶部的转动轴，清灰机构安装在转动轴，转动轴上位于管道内底部处设置有挡灰槽；本技术通过在管道底部设置有安装架，将磁流体可拆卸安装在安装架上，磁流体顶部设置有方便转动轴插入的安装槽，磁流体底部设置有电机，该结构在清灰完成后，方便磁流体和电机从安装架上拆卸，转动轴和清灰机构从管道顶部吊装，装置体积小、安装拆卸方便，极大的降低了人工成本、避免安全隐患，提高生产效率。

技术研发人员：张良军
受保护的技术使用者：成都中光睿华科技有限公司
技术研发日：20231215
技术公布日：2025/1/28