一种提升等离子腔体密封性能的装置的制作方法

文档序号:40071174发布日期:2024-11-22 17:36阅读:38来源:国知局
一种提升等离子腔体密封性能的装置的制作方法

本技术涉及等离子清洗,尤其涉及一种提升等离子腔体密封性能的装置。


背景技术:

1、等离子清洗机对腔体密封性要求比较高,而腔体的密封门由于是活动件是影响整个腔体密封性的重要部件,其设计好坏直接影响腔体整体密封性能,而密封性能的优劣也直接影响等离子体产生的浓度和速度从而影响清洗效果和生产效率。

2、现有技术中,等离子清洗机的门体多为采用常规的铰链式结构密封门、带升降导轨的设计、固定支铰密设计的方式进行使用,而铰链式结构或固定支铰结构都会带来门板边缘与真空室的门框之间存在一个偏角,密封门不能平行移动压紧门框而产生泄漏,升降导轨式设计通常用于自动门,机构相对复杂。


技术实现思路

1、本实用新型主要提供一种增加等离子清洗机腔体密封性能的提升等离子腔体密封性能的装置。

2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种提升等离子腔体密封性能的装置,包括:等离子清洗机,所述等离子清洗机的一侧设置有门体,所述门体的一侧设置有二号安装架,所述二号安装架的一侧设置有一号安装架,所述二号安装架的内部设置有连接件,所述一号安装架的一侧开设有圆柱腔,所述一号安装架的另一侧开设有二号滑动腔,所述二号滑动腔与圆柱腔连通,所述圆柱腔的一侧开设有一号滑动腔,所述一号滑动腔的内部滑动连接有滑动块,所述滑动块与圆柱腔之间设置有弹簧,所述连接件穿过圆柱腔与滑动块螺纹连接。

3、当关闭门体时,腔体将对镶嵌在门体内侧四周的密封胶条产生反作用力,推动门体向远离腔体的方向运动,此时连接件将带动滑动块挤压弹簧,使得一号安装架与二号安装架分离,由于门体是通过弯头转轴安装在二号安装架上的,这样门体就会跟随二号安装架向远离腔体的方向运动,从而达到整个门体四周受力基本均匀并且整个门体同步向远离腔体方向运动效果。

4、当腔体内部因抽真空形成负压时,整个门体将在外部大气压作用下同时向靠近腔体的方向运动,让内嵌在门体内侧四周的密封胶条同时受到均匀的挤压,此过程中被压缩的弹簧逐渐恢复形变,由于整个门体四周是可以同步向同一方向运动并且不受其它阻力,从而达到很好的腔体密封效果,通过该设计,可以保证门闭合后,门体的四个边到腔体距离始终相同,在腔体内部负压状态时,整个门体可以在外部大气压作用下整体等距离向腔体移动而不受其他外力影响,这样确保了门体的内侧平面与腔体平面处于最佳的平行状态,让镶嵌在门体内侧四周的密封胶条受力均匀,由于整个门体设计成受力自适应结构,所以也不会因长期使用导致的弯头转轴与装配孔磨损而对密封性产生影响

5、优选的,所述滑动块的截面为正方形,所述圆柱腔的截面直径与滑动块截面的对角线长度相等,该设计用于保证弹簧能够在圆柱腔内自由伸缩运动,所述二号滑动腔的截面直径小于弹簧的内圈直径。

6、优选的,所述圆柱腔的外缘处开设有螺纹孔,所述一号安装架的一侧设置有挡片,所述挡片的两端均设置有紧固螺栓,所述紧固螺栓与螺纹孔螺纹连接,挡片用于限制滑动块,防止滑动块从一号滑动腔内移出,采用螺纹孔与紧固螺栓的配合进行固定,可方便拆卸安装。

7、优选的,所述门体的另一侧开设有安装腔,安装腔内部用于安装螺栓,将一号安装架固定在腔体的一侧。

8、优选的,所述二号安装架的上下端均开设有装配孔,所述门体一侧的中部上下方均固定连接有弯头转轴,所述弯头转轴与装配孔转动连接,该方式用于配合门体的开合。

9、优选的,所述等离子清洗机的内部设置有腔体,所述门体位于腔体的一侧,所述等离子清洗机下端的四个角部均固定连接有支撑件,支撑件用于对等离子清洗机进行支撑。

10、与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于:

11、本实用新型中,通过一号安装架与二号安装架的设置,可以保证门闭合后,门体的四个边到腔体距离始终相同,在腔体内部负压状态时,整个门体可以在外部大气压作用下整体等距离向腔体移动而不受其他外力影响,这样确保了门体的内侧平面与腔体平面处于最佳的平行状态,让镶嵌在门体内侧四周的密封胶条受力均匀,由于整个门体设计成受力自适应结构,所以也不会因长期使用导致的弯头转轴与装配孔磨损而对密封性产生影响。



技术特征:

1.一种提升等离子腔体密封性能的装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的提升等离子腔体密封性能的装置,其特征在于:所述滑动块(8)的截面为正方形,所述圆柱腔(14)的截面直径与滑动块(8)截面的对角线长度相等,所述二号滑动腔(17)的截面直径小于弹簧(7)的内圈直径。

3.根据权利要求1所述的提升等离子腔体密封性能的装置,其特征在于:所述圆柱腔(14)的外缘处开设有螺纹孔(15),所述一号安装架(5)的一侧设置有挡片(9),所述挡片(9)的两端均设置有紧固螺栓(12),所述紧固螺栓(12)与螺纹孔(15)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的提升等离子腔体密封性能的装置,其特征在于:所述门体(1)的另一侧开设有安装腔(13)。

5.根据权利要求1所述的提升等离子腔体密封性能的装置,其特征在于:所述二号安装架(6)的上下端均开设有装配孔(10),所述门体(1)一侧的中部上下方均固定连接有弯头转轴(3),所述弯头转轴(3)与装配孔(10)转动连接。

6.根据权利要求1所述的提升等离子腔体密封性能的装置,其特征在于:所述等离子清洗机(4)的内部设置有腔体(2),所述门体(1)位于腔体(2)的一侧,所述等离子清洗机(4)下端的四个角部均固定连接有支撑件(18)。


技术总结
本技术提供一种提升等离子腔体密封性能的装置,涉及等离子清洗技术领域,包括:等离子清洗机,所述等离子清洗机的一侧设置有门体,所述门体的一侧设置有二号安装架,所述二号安装架的一侧设置有一号安装架。本技术中,通过一号安装架与二号安装架的设置,可以保证门闭合后,门体的四个边到腔体距离始终相同,在腔体内部负压状态时,整个门体可以在外部大气压作用下整体等距离向腔体移动而不受其他外力影响,这样确保了门体的内侧平面与腔体平面处于最佳的平行状态,让镶嵌在门体内侧四周的密封胶条受力均匀,由于整个门体设计成受力自适应结构,所以也不会因长期使用导致的弯头转轴与装配孔磨损而对密封性产生影响。

技术研发人员:田号
受保护的技术使用者:达格测试设备(苏州)有限公司
技术研发日:20231219
技术公布日:2024/11/21
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