一种电子化学品容器自动清洗干燥装置的制作方法

本申请涉及自动化装置，具体而言，涉及一种电子化学品容器自动清洗干燥装置。

背景技术：

1、高纯电子化学品的产品质量和电子化学品容器的洁净度、干燥度息息相关，因此电子化学品容器的清洗、干燥对保持产品质量至关重要；目前市场上对于电子化学品容器多采用间歇式手工作业或者是功能较为单一的多工位式串联机器进行清洗，发明人发现通过间歇式手工作业耗时长、清洁质量不稳定；多工位串联机器的功能又过于单一，机器占地面积大而且清洗耗时也比较长，清洗能力不佳，易发生返工增加了时间成本。

2、因此，发明人有必要设计一种新的电子化学品容器自动清洗干燥装置，以克服上述问题。

技术实现思路

1、本申请的主要目的在于提供一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，以解决相关技术中清洗耗时长、机器体积大、功能单一、清洗效果不佳的问题。

2、为了实现上述目的，本申请提供了一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，包括装置本体、所述装置本体两侧设置有开口，所述开口处连接有输送装置，所述输送装置上衔接有可转动的载物装置，所述装置本体的空腔内设置有清洁装置，所述清洁装置上设置有至少3个工作位，所述清洁装置上连接有可使所述工作位进行转动的第一驱动机构。

3、进一步的，所述工作位分别设置有第一安装架、第二安装架、第三安装架。

4、进一步的，所述清洁装置上设置有升降功能的第二驱动机构，在第一状态时，所述清洁装置靠近所述载物装置；在第二状态时，所述清洁装置远离所述载物装置。

5、进一步的，所述第二驱动机构为气缸。

6、进一步的，所述第一安装架上设置有各自独自的管道，分别为超纯水管、清洁液一号管、清洁液二号管；所述第二安装架上设置有超声发生器和抽液管；所述第三安装架上设置有有压缩空气气管、氮气气管和温湿度传感器。

7、进一步的，所述开口为自动门，所述装置本体上设置有抽真气管口、氮气气氛口。

8、进一步的，所述输送装置包括皮带输送或滚轮输送，所述第一驱动机构为伺服电机。

9、进一步的，所述载物装置包括托盘、平台、第三驱动机构，所述第三驱动机构与所述平台相连接。

10、进一步的，所述托盘连接有限位装置。

11、进一步的，所述第三驱动机构为伺服电机。

12、本实用新型提供的一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，与现有技术相比，其有益效果为：

13、一、机器体积小且功能全面；本实用新型中在装置主体的空腔内设置的清洁装置集成了给液、清洗、干燥的功能，在装置本体的空腔内分别设置了输送装置、载物装置、清洁装置，可自动化完成上述功能，功能全面，清洁装置设置在载物装置上方，整个机器的占地面积小。

14、二、清洁干燥效果好及耗时短；通过清洗装置上的给液、清洁、干燥装置，分别完成各事项，达到要求后容器被取出，整体清洁效果干净且耗时短，质量稳定。

技术特征：

1.一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，包括装置本体(1)、所述装置本体(1)两侧设置有开口(2)，所述开口(2)处连接有输送装置(3)，其特征在于：所述输送装置(3)上衔接有可转动的载物装置(4)，所述装置本体(1)的空腔内设置有清洁装置(5)，所述清洁装置(5)上设置有至少3个工作位(6)，所述清洁装置(5)上连接有可使所述工作位(6)进行转动的第一驱动机构(7)。

2.如权利要求1所述的一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，其特征在于：所述工作位(6)分别设置有第一安装架(8)、第二安装架(9)、第三安装架(10)。

3.如权利要求1所述的一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，其特征在于：所述清洁装置(5)上设置有升降功能的第二驱动机构(11)，在第一状态时，所述清洁装置(5)靠近所述载物装置(4)；在第二状态时，所述清洁装置(5)远离所述载物装置(4)。

4.如权利要求3所述的一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，其特征在于：所述第二驱动机构(11)为气缸。

5.如权利要求2所述的一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，其特征在于：所述第一安装架(8)上设置有各自独自的管道，分别为超纯水管(12)、清洁液一号管(13)、清洁液二号管(14)；所述第二安装架(9)上设置有超声发生器(15)和抽液管(16)；所述第三安装架(10)上设置有有压缩空气气管(17)、氮气气管(18)和温湿度传感器(19)。

6.如权利要求1所述的一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，其特征在于：所述开口(2)为自动门，所述装置本体(1)上设置有抽真气管口(20)、氮气气氛口(21)。

7.如权利要求1所述的一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，其特征在于：所述输送装置(3)包括皮带输送或滚轮输送，所述第一驱动机构(7)为伺服电机。

8.如权利要求1所述的一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，其特征在于：所述载物装置(4)包括托盘(22)、平台(23)、第三驱动机构，所述第三驱动机构与所述平台(23)相连接。

9.如权利要求8所述的一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，其特征在于：所述托盘(22)连接有限位装置(24)。

10.如权利要求8所述的一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，其特征在于：所述第三驱动机构为伺服电机。

技术总结
一种电子化学品容器自动清洗干燥装置，包括装置本体、所述装置本体两侧设置有开口，所述开口处连接有输送装置，所述输送装置上衔接有可转动的载物装置，所述装置本体的空腔内设置有清洁装置，所述清洁装置上设置有至少3个工作位，所述清洁装置上连接有可使所述工作位进行转动的第一驱动机构，可以达到清洗耗时短、机器占地小功能全面且清洗干净效果。

技术研发人员：徐元,江磊,何天能
受保护的技术使用者：富士胶片电子材料（苏州）有限公司
技术研发日：20231221
技术公布日：2024/8/13