一种吸取PVD载板表面粉尘的装置的制作方法

本技术属于粉尘处理，具体涉及一种吸取pvd载板表面粉尘的装置。

背景技术：

1、在制备高效异质结太阳能电池时，pvd(physical vapor deposition，物理气相沉积)工序是非常关键的步骤之一。在现有pvd工序中，载板水平放置在镀膜装置上并水平移动。而载板传输方式是通过传动滚轮传送载板，即载板放在传动滚轮上，靠载板与传动滚轮之间产生摩擦，从而实现载板的传输。载板会与传动轮发生摩擦从而产生掉粉现象，直接影响到硅片镀膜质量；

2、现有的粉尘吸取装置在处理粉尘时，常通过风机对粉尘进行吸取，通过管道对粉尘进行排出，但是当风机停机时，管道内的粉尘会重新掉落至载板上；

3、因此，提供一种能够避免粉尘重新掉落至载板上的吸取pvd载板表面粉尘的装置是很有必要的。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种能够避免粉尘重新掉落至载板上的吸取pvd载板表面粉尘的装置。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种吸取pvd载板表面粉尘的装置，包括：吸取风机，所述吸取风机的顶部设置有吸取出口，所述吸取风机的底部设置有吸取入口；设置在所述吸取风机底部的吸取管道，所述吸取管道为方形管道，所述吸取管道内设置有防尘组件；所述防尘组件包括若干阵列设置的防尘板，所述防尘板的侧壁一体设置有防尘轴，所述防尘轴的两端一体设置有防尘辊，并且相邻的所述防尘板能够贴合所述防尘轴的侧壁。

3、作为优选，所述防尘板的侧壁设置有防尘斜面，所述防尘斜面下方的边棱较于所述防尘斜面上方的边棱靠近所述防尘轴。

4、作为优选，所述吸取管道的侧壁设置有阻挡条，所述阻挡条的侧壁设置有阻挡轴，所述阻挡轴的侧壁能够贴合靠近所述阻挡条的所述防尘斜面。

5、作为优选，所述吸取风机的下方镜像设置有一对吸取管道，所述吸取管道的顶部设置有一对倾斜的第一管道，所述第一管道与所述吸取入口连通。

6、作为优选，所述第一管道的顶部连接有第二管道，所述第二管道的顶部与所述吸取入口连通。

7、作为优选，所述吸取风机的侧壁一体设置有散热模块，所述散热模块的侧壁贴合所述吸取风机。

8、作为优选，所述散热模块包括散热箱，所述散热箱的侧壁开设有若干散热缺口。

9、作为优选，所述散热箱内设置有散热风扇。

10、本实用新型的有益效果是：

11、1、通过吸取风机能够对吸取管道内形成负压，完成粉尘的吸取；

12、2、通过铰接的防尘板，能够在负压消失时，使防尘板自动落下，阻挡吸取管道的开口端，避免粉尘重新掉落至载板。

13、本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。

14、为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种吸取pvd载板表面粉尘的装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的吸取pvd载板表面粉尘的装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的吸取pvd载板表面粉尘的装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的吸取pvd载板表面粉尘的装置，其特征在于，

5.如权利要求4所述的吸取pvd载板表面粉尘的装置，其特征在于，

6.如权利要求5所述的吸取pvd载板表面粉尘的装置，其特征在于，

7.如权利要求6所述的吸取pvd载板表面粉尘的装置，其特征在于，

8.如权利要求7所述的吸取pvd载板表面粉尘的装置，其特征在于，

技术总结
本技术属于粉尘处理技术领域，具体涉及一种吸取PVD载板表面粉尘的装置，本装置包括：吸取风机，所述吸取风机的顶部设置有吸取出口，所述吸取风机的底部设置有吸取入口；设置在所述吸取风机底部的吸取管道，所述吸取管道为方形管道，所述吸取管道内设置有防尘组件；所述防尘组件包括若干阵列设置的防尘板，所述防尘板的侧壁一体设置有防尘轴，所述防尘轴的两端一体设置有防尘辊，并且相邻的所述防尘板能够贴合所述防尘轴的侧壁；简言之，通过吸取风机能够对吸取管道内形成负压，完成粉尘的吸取；进一步的，通过铰接的防尘板，能够在负压消失时，使防尘板自动落下，阻挡吸取管道的开口端，避免粉尘重新掉落至载板。

技术研发人员：左国军,蒲兵兵
受保护的技术使用者：常州捷佳创精密机械有限公司
技术研发日：20231231
技术公布日：2024/11/18