旋转靶材清洁工装的制作方法

本发明涉及靶材清洁，尤其涉及一种旋转靶材清洁工装。

背景技术：

1、在制造液晶面板的过程中，通常需要使用到靶材。靶材主要分为三部分：法兰段、溅射段和端口段。在使用过程中，靶材内部要放入磁铁，靶材里面的磁铁做特定轨迹的运动，且通入水进行冷却。靶材法兰侧装入机台旋转底座，旋转底座带动靶材做周而复始地旋转。基座和法兰进行螺纹锁定，形成刚性连接。溅射段位于法兰段和端口段之间，溅射段的长度约为三米。端口段一般在吊装过程中使用，即，从靶材箱子中将靶材吊装起来，法兰端朝下，通过天车吊装至溅射机台对应的基座位置，然后工作人员将对应的螺栓分别旋进法兰端口的螺纹孔，并和基座上的螺纹孔固定，且法兰面和基座有密封圈，以防止冷却水溢出法兰面而造成腔内真空度下降的问题。靶材安装到位后，靶材的侧边有一根阳极棒，靶材作为阴极，阳极棒和靶材之间有电势差，通过电离溅射机台内部的氩气，形成氩气等离子体，氩气轰击靶材，靶材上的原子受到轰击从而离开靶材并沉积到对面的玻璃基板上，形成薄膜，以上即为靶材溅射的工艺过程。

2、在靶材的机械加工、抛光工艺后，或者在转运过程中，靶材的表面难免会接触生产过程中的一些物料，导致靶材的表面有污迹或者粉尘，这样需要工人对靶材的表面进行清洗，然后才能对靶材进行包装。如果不对靶材的表面进行清洗，这样在靶材的使用过程中容易造成腔体污染，并引发电弧，而且在溅射过程中容易造成飞溅等溅射异常情况。

3、如图1所示，现有技术中的靶材清洁方式是将靶材1000放置在载台3000的滚轮4000上，然后工人手持净化布2000对靶材1000外表面一圈圈地擦拭，然后步进式前进擦拭，直至擦拭完毕整根靶材1000。现有技术中的这种靶材清洁方式需要人工作业，费时费力，工作效率低，增加成本。

4、因此，亟需设计一种旋转靶材清洁工装，来解决以上技术问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提出一种旋转靶材清洁工装，省时省力，提高工作效率，节约成本。

2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：

3、本发明提供一种旋转靶材清洁工装，用于对旋转靶材的外表面清洁，所述旋转靶材清洁工装包括：

4、清洁组件，所述清洁组件呈环形，所述清洁组件具有通孔，所述旋转靶材穿设于所述通孔中，以使所述清洁组件围设于所述旋转靶材的外周侧，且所述旋转靶材与所述通孔同轴设置；

5、所述通孔的内壁上设置有多个喷嘴，且多个所述喷嘴阵列设置，所述喷嘴与所述旋转靶材的外表面之间设有预设间隙；

6、所述清洁组件的外壁上设置有进液口，所述进液口的一端与所述喷嘴连通，所述进液口的另一端与高压异丙醇储罐连通，所述高压异丙醇储罐能够将异丙醇清洁液依次经过所述进液口和所述喷嘴喷洒至所述旋转靶材的外表面。

7、作为一种旋转靶材清洁工装的可选技术方案，所述旋转靶材清洁工装还包括保护套，所述保护套围设在所述清洁组件的外周侧并与所述清洁组件连接；所述进液口的端部穿过所述保护套与所述高压异丙醇储罐连通。

8、作为一种旋转靶材清洁工装的可选技术方案，所述进液口位于所述保护套的顶部。

9、作为一种旋转靶材清洁工装的可选技术方案，所述保护套与所述清洁组件卡接连接或磁吸式连接。

10、作为一种旋转靶材清洁工装的可选技术方案，所述旋转靶材清洁工装还包括丝杆，所述丝杆穿设于所述保护套，所述丝杆与驱动组件连接，所述驱动组件能驱动所述丝杆，以使所述保护套和所述清洁组件沿所述丝杆的长度方向运动。

11、作为一种旋转靶材清洁工装的可选技术方案，所述丝杆设置为多个，且多个所述丝杆等间隔设置。

12、作为一种旋转靶材清洁工装的可选技术方案，所述喷嘴设置为多列，每一列所述喷嘴沿所述丝杆的长度方向延伸，且每一列所述喷嘴的长度设置为第一预设长度；驱动组件单次驱动所述保护套和所述清洁组件的运动行程为第二预设长度，所述第一预设长度与所述第二预设长度相同。

13、作为一种旋转靶材清洁工装的可选技术方案，所述通孔的内壁还设有连接板，所述连接板上等间隔地设置有多个所述喷嘴。

14、作为一种旋转靶材清洁工装的可选技术方案，所述连接板等间隔地设置为多个，且多个所述连接板的长度方向与所述旋转靶材的长度方向一致。

15、作为一种旋转靶材清洁工装的可选技术方案，所述连接板与所述通孔内壁卡接连接或焊接连接。

16、本发明的有益效果至少包括：

17、本发明提供一种旋转靶材清洁工装，该旋转靶材清洁工装用于对旋转靶材的外表面清洁，旋转靶材清洁工装主要包括清洁组件。其中，清洁组件呈环形，清洁组件具有通孔，旋转靶材穿设于通孔中，以使清洁组件围设于旋转靶材的外周侧，且旋转靶材与通孔同轴设置。通孔的内壁上设置有多个喷嘴，且多个喷嘴阵列设置，喷嘴与旋转靶材的外表面之间设有预设间隙。这样使得旋转靶材的外表面与通孔的内壁上的每一个喷嘴保持相同的距离，避免喷嘴接触或触碰到旋转靶材，避免旋转靶材受损。此外，清洁组件的外壁上设置有进液口，进液口的一端与喷嘴连通，进液口的另一端与高压异丙醇储罐连通，高压异丙醇储罐能够将异丙醇清洁液依次经过进液口和喷嘴喷洒至旋转靶材的外表面。与现有技术相比，本发明通过在清洁组件的通孔内壁上设置喷嘴，喷嘴通过进液口与高压异丙醇储罐连通，从而实现了对旋转靶材外表面的清洁。进而无需现有技术中的工人手持净化布进行人工清洁的操作，提高清洁效率，省时省力，节约成本。

技术特征：

1.旋转靶材清洁工装，用于对旋转靶材(1000)的外表面清洁，其特征在于，所述旋转靶材清洁工装包括：

2.根据权利要求1所述的旋转靶材清洁工装，其特征在于，所述旋转靶材清洁工装还包括保护套(200)，所述保护套(200)围设在所述清洁组件(100)的外周侧并与所述清洁组件(100)连接；所述进液口(130)的端部穿过所述保护套(200)与所述高压异丙醇储罐连通。

3.根据权利要求2所述的旋转靶材清洁工装，其特征在于，所述进液口(130)位于所述保护套(200)的顶部。

4.根据权利要求2所述的旋转靶材清洁工装，其特征在于，所述保护套(200)与所述清洁组件(100)卡接连接或磁吸式连接。

5.根据权利要求2所述的旋转靶材清洁工装，其特征在于，所述旋转靶材清洁工装还包括丝杆(300)，所述丝杆(300)穿设于所述保护套(200)，所述丝杆(300)与驱动组件连接，所述驱动组件能驱动所述丝杆(300)，以使所述保护套(200)和所述清洁组件(100)沿所述丝杆(300)的长度方向运动。

6.根据权利要求5所述的旋转靶材清洁工装，其特征在于，所述丝杆(300)设置为多个，且多个所述丝杆(300)等间隔设置。

7.根据权利要求5所述的旋转靶材清洁工装，其特征在于，所述喷嘴(120)设置为多列，每一列所述喷嘴(120)沿所述丝杆(300)的长度方向延伸，且每一列所述喷嘴(120)的长度设置为第一预设长度；驱动组件单次驱动所述保护套(200)和所述清洁组件(100)的运动行程为第二预设长度，所述第一预设长度与所述第二预设长度相同。

8.根据权利要求1所述的旋转靶材清洁工装，其特征在于，所述通孔(110)的内壁还设有连接板(400)，所述连接板(400)上等间隔地设置有多个所述喷嘴(120)。

9.根据权利要求8所述的旋转靶材清洁工装，其特征在于，所述连接板(400)等间隔地设置为多个，且多个所述连接板(400)的长度方向与所述旋转靶材(1000)的长度方向一致。

10.根据权利要求8所述的旋转靶材清洁工装，其特征在于，所述连接板(400)与所述通孔(110)内壁卡接连接或焊接连接。

技术总结
本发明涉及靶材清洁技术领域，尤其涉及一种旋转靶材清洁工装。主要包括清洁组件。清洁组件呈环形，清洁组件具有通孔，旋转靶材穿设于通孔中，以使清洁组件围设于旋转靶材的外周侧，且旋转靶材与通孔同轴设置。通孔的内壁上设置有多个喷嘴，且多个喷嘴阵列设置，喷嘴与旋转靶材的外表面之间设有预设间隙。此外，清洁组件的外壁上设置有进液口，进液口的一端与喷嘴连通，进液口的另一端与高压异丙醇储罐连通，高压异丙醇储罐能够将异丙醇清洁液依次经过进液口和喷嘴喷洒至旋转靶材的外表面。通过该旋转靶材清洁工装对旋转靶材进行清洁能够省时省力，无需现有技术中的工人手持净化布进行人工清洁的操作，提高工作效率，节约成本。

技术研发人员：姚力军,丁向前,王青松
受保护的技术使用者：武汉江丰电子材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/19