探针卡清针方法、系统、电子设备和计算机可读存储介质与流程

文档序号:40214729发布日期:2024-12-06 16:33阅读:6来源:国知局
探针卡清针方法、系统、电子设备和计算机可读存储介质与流程

所属的技术人员知道,本发明可以实现为系统、方法或计算机程序产品,因此,本公开可以具体实现为以下形式,即:可以是完全的硬件、也可以是完全的软件(包括固件、驻留软件、微代码等),还可以是硬件和软件结合的形式,本文一般称为“电路”、“模块”或“系统”。此外,在一些实施例中,本发明还可以实现为在一个或多个计算机可读介质中的计算机程序产品的形式,该计算机可读介质中包含计算机可读的程序代码。可以采用一个或多个计算机可读的介质的任意组合。计算机可读介质可以是计算机可读信号介质或者计算机可读存储介质。计算机可读存储介质例如可以是一一但不限于——电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件,或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括:具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机存取存储器(ram),只读存储器(rom)、可擦式可编程只读存储器(eprom或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(cd-rom)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。在本申请中,计算机可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质,该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本发明的限制,本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。


背景技术:

1、探针卡是晶圆测试(wafer test)中被测芯片(chip)和测试机之间的接口,主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量,并筛选出不良芯片后,再进行之后的封装工程。因此探针卡是芯片功能验证测试和产业化测试的关键工具。在探针卡清针过程中,探针卡上会伸出探针,扎到晶圆上,以进行测试。当探针上有灰尘等异物时,会影响测试时的电性能,造成短路、断路等情况。

2、如图2所示,目前的小步进清针方式中,两次清针在清针板上的扎针区域重叠较大。这种清针步进过小会导致当次清针中清掉的沾污二次污染其他探针,导致清针效果较差,需要手动取下探针卡清针,耗费较多时间,影响生产效率。

3、因此,亟需提供一种技术方案解决上述问题。


技术实现思路

1、为解决上述技术问题,本发明提供了一种探针卡清针方法、系统、电子设备和计算机可读存储介质。

2、第一方面,本发明提供一种探针卡清针方法,该方法的技术方案如下:

3、根据探针卡在所述清针砂纸的预设行进方向上互不重叠的清针区域之间的最小间隔,确定所述探针卡的清针步长;

4、基于所述清针砂纸的初始清针位置,并按照所述清针步长,控制所述探针卡持续进行清针。

5、本发明的一种探针卡清针方法的有益效果如下:

6、本发明的方法能够避免探针的二次污染,大大增加了探针清洁度,无需手动取下探针卡进行清针,提高了芯片生产效率。

7、在上述方案的基础上,本发明的一种探针卡清针方法还可以做如下改进。

8、在一种可选的方式中,基于所述清针砂纸的初始清针位置,并按照所述清针步长,控制所述探针卡持续进行清针的步骤,包括:

9、当所述探针卡首次进行清针时,控制所述探针卡在所述初始清针位置进行清针;当所述探针卡非首次进行清针时,每间隔预设探针测试次数,控制所述探针卡在与上一次清针位置间隔所述清针步长的位置处进行清针。

10、在一种可选的方式中,所述预设行进方向为所述清针砂纸的对角线方向。

11、在一种可选的方式中,所述清针砂纸为3m t-c2l清针砂纸。

12、第二方面,本发明提供一种探针卡清针系统,该系统的技术方案如下:

13、包括:处理模块和运行模块;

14、所述处理模块用于:根据探针卡在所述清针砂纸的预设行进方向上互不重叠的清针区域之间的最小间隔,确定所述探针卡的清针步长;

15、所述运行模块用于:基于所述清针砂纸的初始清针位置,并按照所述清针步长,控制所述探针卡持续进行清针。

16、本发明的一种探针卡清针系统的有益效果如下:

17、本发明的系统能够避免探针的二次污染,大大增加了探针清洁度,无需手动取下探针卡进行清针,提高了芯片生产效率。

18、在上述方案的基础上,本发明的一种探针卡清针系统还可以做如下改进。

19、在一种可选的方式中,所述运行模块具体用于:

20、当所述探针卡首次进行清针时,控制所述探针卡在所述初始清针位置进行清针;当所述探针卡非首次进行清针时,每间隔预设探针测试次数,控制所述探针卡在与上一次清针位置间隔所述清针步长的位置处进行清针。

21、在一种可选的方式中,所述预设行进方向为所述清针砂纸的对角线方向。

22、在一种可选的方式中,所述清针砂纸为3m t-c2l清针砂纸。

23、第三方面,本发明的一种电子设备的技术方案如下:

24、包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并在所述处理器上运行的程序,所述处理器执行所述程序时实现如本发明的探针卡清针方法的步骤。

25、第四方面,本发明提供的一种计算机可读存储介质的技术方案如下:

26、计算机可读存储介质中存储有指令,当计算机可读存储介质读取所述指令时,使所述计算机可读存储介质执行如本发明的探针卡清针方法的步骤。

27、上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举本发明的具体实施方式。



技术特征:

1.一种探针卡清针方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的探针卡清针方法,其特征在于,基于所述清针砂纸的初始清针位置,并按照所述清针步长,控制所述探针卡持续进行清针的步骤,包括:

3.根据权利要求1所述的探针卡清针方法,其特征在于,所述预设行进方向为所述清针砂纸的对角线方向。

4.根据权利要求1至3任一项所述的探针卡清针方法,其特征在于,所述清针砂纸为3mt-c2l清针砂纸。

5.一种探针卡清针系统,其特征在于,包括:处理模块和运行模块;

6.根据权利要求5所述的探针卡清针系统,其特征在于,所述运行模块具体用于:

7.根据权利要求5所述的探针卡清针系统,其特征在于,所述预设行进方向为所述清针砂纸的对角线方向。

8.根据权利要求5至7任一项所述的探针卡清针系统,其特征在于,所述清针砂纸为3mt-c2l清针砂纸。

9.一种电子设备,其特征在于,所述电子设备包括处理器,所述处理器与存储器耦合,所述存储器中存储有至少一条计算机程序,所述至少一条计算机程序由所述处理器加载并执行,以使所述电子设备实现如权利要求1至4任一项所述的探针卡清针方法。

10.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质中存储有至少一条计算机程序,所述至少一条计算机程序由处理器加载并执行,以使计算机可读存储介质实现如权利要求1至4任一项所述的探针卡清针方法。


技术总结
本发明涉及半导体技术领域,具体公开一种探针卡清针方法、系统、电子设备和计算机可读存储介质,该方法包括:根据探针卡在所述清针砂纸的预设行进方向上互不重叠的清针区域之间的最小间隔,确定所述探针卡的清针步长;基于所述清针砂纸的初始清针位置,并按照所述清针步长,控制所述探针卡持续进行清针。本发明的方法能够避免探针的二次污染,大大增加了探针清洁度,无需手动取下探针卡进行清针,提高了芯片生产效率。

技术研发人员:阚紫为,杨颖超
受保护的技术使用者:浙江确安科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/12/5
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