一种冷阱清洗设备和清洗方法与流程

本申请涉及设备清洗，具体而言，涉及一种冷阱清洗设备和清洗方法。

背景技术：

1、液晶面板生产系统中，冷阱(cold trap)提供一个非常低温的表面，使真空室中的油气和水汽冷凝成液态或固态，减少对真空度的影响，从而提高真空泵的工作效率。真空室中的气体含有光刻胶等物质，使用一段时间后，光刻胶会附着在冷阱的冷却管道上，影响冷却的效果，需要定期清洗。由于冷阱独特的密闭结构，每次清洗需要对产品上的所有固定螺丝进行拆卸后单独清洗，清洗工序复杂，清洗工时太长。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种冷阱清洗装置来对冷阱进行清洗，改进冷阱清洗方法，提高清洗效率。

2、本申请的实施例是这样实现的：

3、第一方面，本申请实施例提供一种冷阱清洗设备，包括冷阱组、水洗组件和烘干组件；

4、冷阱组设置于第一管道，第一管道两端分别设置第一阀门和第七阀门，第一管道于第一阀门与冷阱组之间连接第二管道一端，第一管道于第七阀门与冷阱组之间连接第二管道另一端；水洗组件设置于第二管道，第二管道于水洗组件两侧分别设置第十三阀门和第九阀门，第二管道于第九阀门远离水洗组件一侧设置第八阀门，第二管道于第十三阀门与水洗组件之间连接第三管道一端，第二管道于第八阀门远离第九阀门一侧连接第三管道另一端，第三管道两端分别设置第十五阀门和第十六阀门；第二管道于第十三阀门远离水洗组件一侧连接第四管道一端，第二管道于第九阀门和第八阀门之间连接第四管道另一端，第四管道两端分别设置靠近第十三阀门的第十四阀门和靠近第九阀门的第十阀门，第四管道于第十阀门旁设置第十二阀门，第四管道于第十阀门与第十二阀门之间连接第五管道，烘干组件设置于第五管道，第五管道首端设置第十一阀门；冷阱组包括在第一管道上依次设置的至少一个冷阱，水洗组件包括水槽，水槽安装有靠近第九阀门的泵，烘干组件包括加热器，加热器安装有鼓风机。

5、进一步地，冷阱组件包括依次设置的第一冷阱、第二冷阱和第三冷阱，第一冷阱靠近第一阀门，第一冷阱与第二冷阱之间设置第二阀门，第二冷阱与第三冷阱之间设置第五阀门；第一管道于第一冷阱与第二阀门之间连接第一支管首端，第一管道于第二冷阱与第五阀门之间连接第二支管一端，第二支管另一端连接第一支管，第一管道于第三冷阱与第七阀门之间连接第三支管一端，第三支管另一端连接第一支管末端，第一支管于第二支管远离第三支管的一侧设置第三阀门，第二支管设置第四阀门，第三支管设置第六阀门。

6、第二方面，本申请实施例提供一种冷阱清洗方法，使用前述冷阱清洗设备，清洗步骤为：

7、s1、水洗：

8、s11、逆时针清洗：关闭第十阀门、第十六阀门、第七阀门、第一阀门、第十四阀门、第十五阀门，开启第九阀门、第八阀门、第十三阀门，开启泵，水洗液经第九阀门泵出，依次逆时针流经第二管道、第一管道、冷阱、第二管道后回到水槽，循环清洗1-2h关闭泵；

9、s12、顺时针清洗：关闭第八阀门、第十一阀门、第十三阀门、第一阀门，第七阀门，开启第九阀门、第十阀门、第十二阀门、第十四阀门、第十五阀门、第十六阀门，开启泵，水洗液经第九阀门泵出，依次顺时针流经第二管道、第四管道、第二管道、第一管道、冷阱、第二管道、第三管道、第二管道后回到水槽，循环清洗1-2h关闭泵；s11与s12步骤可调换顺序；

10、s2、开启冷阱的排空阀，排掉冷阱内的水洗液；

11、s3、烘干：

12、s31、顺时针烘干：关闭第十阀门，第十三阀门、第一阀门、第十六阀门、第八阀门，开启第十一阀门、第十二阀门、第十四阀门、第七阀门，开启加热器和鼓风机，热风经第十一阀门、第十二阀门涌出，依次顺时针流经第五管道、第四管道、第二管道、第一管道、冷阱后由第七阀门经第一管道排出，循环烘烤1-2h关闭加热器和鼓风机；

13、s32、逆时针烘干：关闭第十二阀门、第十六阀门、第九阀门、第七阀门、第十三阀门、第十四阀门，开启第十一阀门、第十阀门、第八阀门和第一阀门，开启加热器和鼓风机，热风经第十一阀门、第十阀门涌出，依次逆时针流经第五管道、第四管道、第二管道、第一管道、冷阱后由第一阀门经第一管道排出，循环烘烤1-2h关闭加热器和鼓风机；s31与s32步骤可调换顺序。

14、清洗步骤s1、s3中，通过控制第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门中各个阀门的开合状态，实现对第一冷阱、第二冷阱和第三冷阱的选择性清洗。

15、进一步地，对第一冷阱、第二冷阱和第三冷阱的选择性清洗方法为：

16、清洗第一冷阱时，开启第六阀门、第三阀门，关闭第五阀门、第四阀门、第二阀门；

17、清洗第一冷阱+第二冷阱时，开启第六阀门、第四阀门、第二阀门，关闭第三阀门、第五阀门；

18、清洗第一冷阱+第三冷阱时，开启第三阀门、第四阀门、第五阀门，关闭第二阀门、第六阀门；

19、清洗第一冷阱+第二冷阱+第三冷阱时，开启第二阀门、第五阀门，关闭第三阀门、第四阀门、第六阀门。

20、进一步地，水洗液包括药水和纯净水；步骤s1包括：

21、s11、逆时针药水清洗：关闭第十阀门、第十六阀门、第七阀门、第一阀门、第十四阀门、第十五阀门，开启第九阀门、第八阀门、第十三阀门，开启泵，药水经第九阀门泵出，依次逆时针流经第二管道、第一管道、冷阱、第二管道后回到水槽，循环清洗1-2h关闭泵；

22、s12、顺时针药水清洗：关闭第八阀门、第十一阀门、第十三阀门、第一阀门，第七阀门，开启第九阀门、第十阀门、第十二阀门、第十四阀门、第十五阀门、第十六阀门，开启泵，药水经第九阀门泵出，依次顺时针流经第二管道、第四管道、第二管道、第一管道、冷阱、第二管道、第三管道、第二管道后回到水槽，循环清洗1-2h关闭泵；s11与s12步骤可调换顺序；

23、s13、逆时针纯水清洗：将水槽中药水替换为纯净水，重复s11操作；

24、s14、顺时针纯水清洗：将水槽中药水替换为纯净水，重复s12操作；s13与s14步骤步骤可调换顺序。

25、进一步地，s1中药水中各成分的质量百分比为：20％的nh3·h2o、40％的naoh、20％的h2o、20％的fe(oh)2。

26、相对于现有技术，本申请的实施例至少具有如下优点或有益效果：

27、本发明提供了一种冷阱清洗设备和清洗方法，巧妙布置管道、阀门、水洗组件和烘干组件，可以实现冷阱的顺时针水洗、逆时针水洗、顺时针烘干、逆时针烘干，多个冷阱同时清洗，替代传统的拆解产品的清洗方法，清洗作业操作简单，效率高，能有效降低人工成本，并对水洗液进行循环和回收利用，对环境无污染。

技术特征：

1.一种冷阱清洗设备，其特征在于，包括冷阱组、水洗组件和烘干组件；

2.如权利要求1所述的冷阱清洗设备，其特征在于，所述冷阱组件包括依次设置的第一冷阱(51)、第二冷阱(52)和第三冷阱(53)，所述第一冷阱(51)靠近所述第一阀门(201)，所述第一冷阱(51)与第二冷阱(52)之间设置第二阀门(202)，所述第二冷阱(52)与第三冷阱(53)之间设置第五阀门(205)；所述第一管道(11)于所述第一冷阱(51)与第二阀门(202)之间连接第一支管(111)首端，所述第一管道(11)于第二冷阱(52)与第五阀门(205)之间连接第二支管(112)一端，所述第二支管(112)另一端连接所述第一支管(111)，所述第一管道(11)于第三冷阱(53)与第七阀门(207)之间连接第三支管(113)一端，所述第三支管(113)另一端连接所述第一支管(111)末端，所述第一支管(111)于第二支管(112)远离第三支管(113)的一侧设置第三阀门(203)，所述第二支管(112)设置第四阀门(204)，所述第三支管(113)设置第六阀门(206)。

3.一种冷阱清洗方法，其特征在于，使用如权利要求1所述的冷阱清洗设备，清洗步骤为：

4.如权利要求3所述的冷阱清洗方法，其特征在于，

5.如权利要求4所述的冷阱清洗方法，其特征在于，对第一冷阱(51)、第二冷阱(52)和第三冷阱(53)的选择性清洗方法为：

6.如权利要求3-5中任一项所述的冷阱清洗方法，其特征在于，水洗液包括药水和纯净水；步骤s1包括：

7.如权利要求6所述的冷阱清洗方法，其特征在于，所述药水中各成分的质量百分比为：20％的nh3·h2o、40％的naoh、20％的h2o、20％的fe(oh)2。

技术总结
本申请提出了一种冷阱清洗设备和清洗方法，冷阱组设置于第一管道，第一管道两端分别设置第一阀门和第七阀门，第一管道于第一阀门与冷阱组之间连接第二管道一端，第一管道于第七阀门与冷阱组之间连接第二管道另一端；水洗组件设置于第二管道，第二管道于水洗组件两侧分别设置第十三阀门和第九阀门，第二管道于第九阀门远离水洗组件一侧设置第八阀门，第二管道于第十三阀门与水洗组件之间连接第三管道一端，第二管道于第八阀门远离第九阀门一侧连接第三管道另一端，第三管道两端分别设置第十五阀门和第十六阀门；第二管道连接第四管道，第四管连接第五管道，烘干组件设置于第五管道，改进冷阱方法，提高清洗效率。

技术研发人员：李国兵,邱俊,黄旭
受保护的技术使用者：四川富乐德科技发展有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/1/6