一种硅片清洗花篮夹钳的制作方法

本技术涉及硅片加工领域，具体涉及一种硅片清洗花篮夹钳。

背景技术：

1、在硅片的加工过程中，表面会不断被各种杂质污染，为获得洁净的表面，一般会进行多次清洗，在磨抛过程中多使用槽式清洗机进行硅片的清洗工作，清洗介质包括酸液、碱液以及去离子水等。但若在清洗过程中出现设备故障停机，而此时硅片又处于酸液槽或碱液槽，时间过长会造成整篮硅片的损失，影响生产的同时也会造成经济损失。为保护硅片、避免损失，生产现场多采取排空槽内酸液碱液并做好手部防护后取出花篮的方法，由于硅片清洗中所使用的酸碱大多对人体存在强腐蚀性，故此种方法存在极大的安全隐患。

技术实现思路

1、针对现有花篮手动取出液槽的不便，本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗花篮夹钳，以满足设备故障停机时更快更安全取出花篮的要求，保障生产、避免经济损失并消除安全隐患。

2、为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种硅片清洗花篮夹钳，该夹钳的主体部分由钳体一和钳体二通过铰接构成；

4、钳体一由提钩和加力夹杆组成；钳体二由提钩和固定夹杆组成；

5、加力夹杆与固定夹杆上分别设有铰接板，铰接板之间通过铰接轴连接，使钳体一和钳体二之间可以实现一定角度范围内的相对转动。

6、进一步地，所述加力夹杆和固定夹杆上分别设有弹簧挂钩，用伸缩弹簧连接，使夹钳在未受力时处于打开状态。

7、进一步地，所述钳体一和钳体二分别具有两个提钩，四个提钩对称设置。

8、进一步地，所述固定夹杆位于所述加力夹杆的正上方。

9、进一步地，所述提钩下部安装由pfa套管，避免在夹取花篮时产生金属污染问题。

10、进一步地，所述加力夹杆上安装有防滑橡胶套，方便握持。

11、进一步地，所述钳体一和钳体二使用不锈钢棒通过折弯及焊接加工而成。

12、本实用新型的优点在于：

13、本实用新型的硅片清洗花篮夹钳具有结构简单、操作便捷的特点，能有效避免清洗或腐蚀设备故障停机时的产品损失、提高生产安全性。

技术特征：

1.一种硅片清洗花篮夹钳，其特征在于，该夹钳的主体部分由钳体一和钳体二通过铰接构成；

2.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮夹钳，其特征在于，所述加力夹杆和固定夹杆上分别设有弹簧挂钩，用伸缩弹簧连接，使夹钳在未受力时处于打开状态。

3.根据权利要求1或2所述的硅片清洗花篮夹钳，其特征在于，所述钳体一和钳体二分别具有两个提钩，四个提钩对称设置。

4.根据权利要求1或2所述的硅片清洗花篮夹钳，其特征在于，所述固定夹杆位于所述加力夹杆的正上方。

5.根据权利要求1或2所述的硅片清洗花篮夹钳，其特征在于，所述提钩下部安装由pfa套管。

6.根据权利要求1或2所述的硅片清洗花篮夹钳，其特征在于，所述加力夹杆上安装有防滑橡胶套。

7.根据权利要求1或2所述的硅片清洗花篮夹钳，其特征在于，所述钳体一和钳体二使用不锈钢棒通过折弯及焊接加工而成。

技术总结
本技术公开了一种硅片清洗花篮夹钳，该夹钳的主体部分由钳体一和钳体二通过铰接构成；钳体一由提钩和加力夹杆组成；钳体二由提钩和固定夹杆组成；加力夹杆与固定夹杆上分别设有铰接板，铰接板之间通过铰接轴连接，使钳体一和钳体二之间可以实现一定角度范围内的相对转动。本技术的硅片清洗花篮夹钳具有结构简单、操作便捷的特点，能有效避免清洗或腐蚀设备故障停机时的产品损失、提高生产安全性。

技术研发人员：潘世林,陈信,邵秋生,王占滨,于兴瑞
受保护的技术使用者：山东有研艾斯半导体材料有限公司
技术研发日：20240312
技术公布日：2024/11/4