一种用于单晶炉拆炉清理的除尘装置及单晶生产车间的制作方法

本技术涉及单晶炉拆炉清理，具体而言，涉及一种用于单晶炉拆炉清理的除尘装置及单晶生产车间。

背景技术：

1、单晶炉热场在运行一炉完成后，需要对其进行拆炉清理，主室的高纯卫生尤为重要，拆解的石墨件附着的碳化硅、硅蒸汽等杂质，主要还是操作人员采用常规的工具清理真空管道，石墨件等容易造成扬尘，粉尘较多。

2、现有技术存在的缺点：

3、人工清洁，在拆装热场石墨件会产生大量的硅化物粉尘，没有合理的措施进行粉尘的隔离或收集，这些硅化物粉尘会从其顶部炉口进入到车间，硅化物粉尘掉落还会积累在单晶炉上，车间的各个角落，造成车间环境污染，还需要车间人员进行清理，用抹布擦拭炉子，需要大量的人力物力，但不能解决根本问题。没有有效的方法将硅化物粉尘进行隔绝，阻止进入生产车间，当操作人员将其表面扬尘清理干净的过程中，还不能提供较为合理的工作环境给操作人员，在进行清洁卫生的时候需要借助登高梯等工具，清理工作较为麻烦，也不符合人体工程学，不能减轻操作人员的工作强度。

4、因此现有技术中所使用的部分清理工具，清理洁净度低、自动化程度低，不能在根源上去收集硅化物粉尘。综上，单晶生产车间的环境高洁净度问题一直是行业痛点。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，其能够在拆炉清理时，提高除尘的自动化程度，能在根源上收集硅化物粉尘，清理洁净度高。

2、本实用新型的另一目的在于提供一种单晶生产车间，其能够在拆炉清理时，提高除尘的自动化程度，能在根源上收集硅化物粉尘，清理洁净度高。

3、本实用新型的技术方案是这样实现的：

4、一种用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，对应设置于单晶炉下炉室的顶部炉口处，包括：

5、机架，包括两个相对设置的框架，两个所述框架分别为第一框架和第二框架；所述框架包括位于底部的横梁和设置于横梁之上的拱梁，所述拱梁的两端分别与所述横梁的两端连接并形成封闭型的所述框架，所述框架为空心结构而形成吸尘腔，所述框架的内侧部开设多个吸尘口，两个所述框架的外侧部分别安装有封板；

6、吸尘单元，所述封板上开设有安装口，所述吸尘单元安装于所述安装口，所述吸尘单元的抽风口与所述吸尘腔连通，所述吸尘单元的排风口与外部大气连通；

7、伸缩杆，所述伸缩杆为空心结构，两个所述框架之间通过若干根伸缩杆连通，所述伸缩杆能够控制两个所述框架互相靠近或远离；

8、伸缩棚组件，包括电动伸缩棚；所述电动伸缩棚设置于两个所述框架之间，且所述电动伸缩棚的一端固定于所述第一框架的内侧部；所述电动伸缩棚伸展开后，两个所述封板与所述电动伸缩棚之间围成一个开口朝下的吸尘空间，所述开口为所述吸尘空间的吸口；

9、行走机构，所述行走机构安装于所述横梁的底部；

10、其中，所述横梁的底部以及所述电动伸缩棚的底部分别设置有用于与地面之间形成密封的隔气布。

11、进一步地，所述伸缩棚组件还包括备用的手动伸缩棚，所述电动伸缩棚与所述手动伸缩棚依次设置于两个所述框架之间，且所述手动伸缩棚的一端固定于所述第二框架的内侧，所述手动伸缩棚的底部也设置用于与地面之间形成密封的隔气布。

12、进一步地，所述电动伸缩棚包括第一伸缩棚体和电动伸缩组件，所述手动伸缩棚包括第二伸缩棚体，所述第一伸缩棚体与所述第二伸缩棚体结构均与所述拱梁的形状一致，所述第一伸缩棚体与所述第二伸缩棚体依次设置于两个所述框架之间且分别搭在所述伸缩杆上，且所述第一伸缩棚体的一端以及所述电动伸缩组件的一端分别与所述第一框架连接，所述电动伸缩组件的另一端与所述第一伸缩棚体的另一端连接，所述第二伸缩棚体的一端与所述第二框架的内侧部连接。

13、进一步地，所述第一伸缩棚体与所述第二伸缩棚体结构相同，且所述第一伸缩棚体与所述第二伸缩棚的伸缩方向与所述伸缩杆的伸缩方向相同。

14、进一步地，所述电动伸缩组件采用电动推杆、电动液压杆或伸缩气缸。

15、进一步地，所述第一伸缩棚体、所述第二伸缩棚体与所述拱梁均呈倒“u”型；

16、所述第一框架与所述第一伸缩棚体之间、所述第二框架与所述第二伸缩棚体之间分别设置有u型密封垫；

17、所述第一伸缩棚体上靠近于所述第二伸缩棚体的一侧部设置有u型密封垫，和/或，所述第二伸缩棚体上靠近于所述第一伸缩棚体的一侧部设置有u型密封垫；或者，所述第一伸缩棚体上靠近于所述第二伸缩棚体的一侧部以及所述第二伸缩棚体上靠近于所述第一伸缩棚体的一侧部分别设置有u型磁吸垫。

18、进一步地，所述行走机构包括四组行走组件，四组所述行走组件分别安装于所述机架底部的四角处；

19、所述行走组件包括伺服电机、联轴器、轴承安装座和麦克纳姆轮，所述麦克纳姆轮的轮轴通过轴承安装于所述轴承安装座，所述轴承安装座固定安装于所述横梁的底部，所述伺服电机的输出轴通过所述联轴器与所述麦克纳姆轮的轮轴连接。

20、进一步地，所述吸尘单元采用风机过滤机组。

21、进一步地，所述封板采用透明材质。

22、一种单晶生产车间，包括下炉室和水平的炉台，多个所述下炉室的顶部共同设置所述炉台，且所述炉台内安装所述下炉室顶部的炉口，还包括所述的用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，所述用于单晶炉拆炉清理的除尘装置能够行走至所述炉台上的任一所述炉口处。

23、相比于现有技术而言，本实用新型的有益效果是：

24、本申请提供一种用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，整个装置通过电动伸缩棚的伸缩而实现收拢变小或者展开变大，需要除尘时，整个除尘装置能够通过行走机构移动至单晶炉顶部炉口处并完全罩住整个下炉室顶部的炉口，电动伸缩棚展开变大，同时两个封板与电动伸缩棚之间围成一个开口朝下的吸尘空间，该吸尘空间通过隔气布的作用与下炉室顶部的炉口密封连通，操作人员在炉室内拆炉清理时，启动吸尘单元便可以将炉室内产生的灰尘统一吸收，能够在根源上密封除尘，相对于现有技术极大地减少了所花费的人力物力，提高自动化程度，清理洁净度更高。

技术特征：

1.一种用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，对应设置于单晶炉下炉室的顶部炉口(11)处，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，其特征在于，所述伸缩棚组件还包括备用的手动伸缩棚(8)，所述电动伸缩棚(7)与所述手动伸缩棚(8)依次设置于两个所述框架之间，且所述手动伸缩棚(8)的一端固定于所述第二框架(2)的内侧部，所述手动伸缩棚(8)的底部也设置用于与地面之间形成密封的隔气布。

3.根据权利要求2所述的用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，其特征在于，所述电动伸缩棚(7)包括第一伸缩棚体(701)和电动伸缩组件(702)，所述手动伸缩棚(8)包括第二伸缩棚体(801)，所述第一伸缩棚体(701)与所述第二伸缩棚体(801)结构均与所述拱梁的形状一致，所述第一伸缩棚体(701)与所述第二伸缩棚体(801)依次设置于两个所述框架之间且分别搭在所述伸缩杆(6)上，且所述第一伸缩棚体(701)的一端以及所述电动伸缩组件(702)的一端分别与所述第一框架(1)连接，所述电动伸缩组件(702)的另一端与所述第一伸缩棚体(701)的另一端连接，所述第二伸缩棚体(801)的一端与所述第二框架(2)的内侧部连接。

4.根据权利要求3所述的用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，其特征在于，所述第一伸缩棚体(701)与所述第二伸缩棚体(801)结构相同，且所述第一伸缩棚体(701)与所述第二伸缩棚的伸缩方向与所述伸缩杆(6)的伸缩方向相同。

5.根据权利要求3所述的用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，其特征在于，所述电动伸缩组件(702)采用电动推杆、电动液压杆或伸缩气缸。

6.根据权利要求4所述的用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，其特征在于，所述第一伸缩棚体(701)、所述第二伸缩棚体(801)与所述拱梁均呈倒“u”型；

7.根据权利要求1所述的用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，其特征在于，所述行走机构(9)包括四组行走组件，四组所述行走组件分别安装于所述机架底部的四角处；

8.根据权利要求1所述的用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，其特征在于，所述吸尘单元(5)采用风机过滤机组。

9.根据权利要求1所述的用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，其特征在于，所述封板(4)采用透明材质。

10.一种单晶生产车间，包括下炉室和水平的炉台(10)，多个所述下炉室的顶部共同设置所述炉台(10)，且所述炉台(10)内安装所述下炉室顶部的炉口(11)，其特征在于，还包括权利要求1-9中任一项所述的用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，所述用于单晶炉拆炉清理的除尘装置能够行走至所述炉台(10)上的任一所述炉口(11)处。

技术总结
本技术涉及单晶炉拆炉清理技术领域，具体而言，涉及一种用于单晶炉拆炉清理的除尘装置，包括：机架，包括两个相对设置的框架，框架为空心结构而形成吸尘腔，框架的内侧部开设多个吸尘口，两个框架的外侧部分别安装有封板；吸尘单元安装于所述安装口；伸缩杆，伸缩杆为空心结构，两个框架之间通过若干根伸缩杆连通；伸缩棚组件，包括电动伸缩棚；所述电动伸缩棚设置于两个所述框架之间；电动伸缩棚伸展开后，两个封板与电动伸缩棚之间围成一个开口朝下的吸尘空间；行走机构安装于所述横梁的底部；横梁的底部以及电动伸缩棚的底部分别设置隔气布。其能够在拆炉清理时，提高除尘的自动化程度，能在根源上收集硅化物粉尘，清理洁净度高。

技术研发人员：米家东,王兴乐,马腾飞,乔乐
受保护的技术使用者：四川高景太阳能科技有限公司
技术研发日：20240424
技术公布日：2024/12/19