一种旋转密封结构的制作方法

本发明属于芯片清洗，具体涉及一种旋转密封结构。

背景技术：

1、现有的芯片清洗设备，通常是在清洗箱的中部安装一个工作台，工作台的下方为机械区，工作台的上方为清洗芯片时的工艺区，工作台上则安装上端设置喷嘴组合的导液管，导液管外套接与喷嘴组合相连接的转轴管，机械区设置与转轴管相连接的驱动机构，以便于通过驱动机构控制转轴管带动喷嘴组合在工艺区内进行升降和旋转，以更好的清洗工艺区内的芯片。但此种结构在转轴管与工作台之间很容易形成间隙，使得工艺区内的液体通过间隙流入机械区内，就会对机械区内的设备造成腐蚀，因此，有必要设计一种密封结构来解决此问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种旋转密封结构，用以解决现有技术中存在的上述问题。

2、为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

3、一种旋转密封结构，安装于驱动机构上方的工作台上，包括下端与驱动机构相连接的转轴管，转轴管的上部贯穿工作台并延伸至工艺区内；所述转轴管外套接有固定座，固定座的下端与工作台密封连接，固定座的上部转动连接有套接于转轴管外的密封轴承外壳，且密封轴承外壳与固定座的外壁密封配合；所述密封轴承外壳的上端密封连接有套接于转轴管外的波纹管，波纹管的上端密封连接的支撑块，支撑块的一侧安装有喷嘴组合；所述转轴管的上端与支撑块相连接，转轴管内设置有导液管，导液管的上端与喷嘴组合相连接。

4、作为本发明中一种优选的技术方案，所述固定座上端的外壁上凸设有支撑环，支撑环的上端与密封轴承外壳的内顶面转动连接；所述密封轴承外壳的下端安装有位于支撑环下方的密封轴承，密封轴承的上端与支撑环的下端转动连接；所述密封轴承套接于固定座外，密封轴承的内壁上开设有环形安装槽，环形安装槽内安装有与固定座外壁密封配合的密封条。

5、作为本发明中一种优选的技术方案，所述密封轴承外壳的内顶面与支撑环的上端间隔设置，密封轴承外壳的内顶面开设有第一上环槽，支撑环的上端开设有与第一上环槽相对应的第一下环槽，第一上环槽与第一下环槽之间设置有多个第一滚珠。

6、作为本发明中一种优选的技术方案，所述支撑环的下端与密封轴承的上端间隔设置，支撑环的下端开设有第二上环槽，密封轴承的上端开设有与第二上环槽相对应的第二下环槽，第二上环槽与第二下环槽之间设置有多个第二滚珠。

7、作为本发明中一种优选的技术方案，所述支撑块的下端固定连接有底座，底座的下端与波纹管的上端相连接，底座套接于转轴管外。

8、作为本发明中一种优选的技术方案，所述波纹管的上端固定有上连接法兰，波纹管的下端固定有下连接法兰，上连接法兰通过螺栓与底座相连接，下连接法兰通过螺栓与密封轴承外壳相连接。

9、作为本发明中一种优选的技术方案，所述固定座与工作台之间、密封轴承外壳与下连接法兰之间以及底座与上连接法兰之间均设置有密封垫。

10、作为本发明中一种优选的技术方案，所述底座的外壁上开设有定位孔，定位孔所对应的转轴管外壁上开设有定位槽，定位孔与定位槽内配合插接有定位销。

11、作为本发明中一种优选的技术方案，所述支撑块内设置有l形通道，l形通道的一端朝向并与转轴管相连通，l形通道的另一端与喷嘴组合相连接。

12、有益效果：本发明中的喷嘴组合、支撑块、波纹管、密封轴承外壳、固定座和工作台从上到下依次密封连接，使得结构内部形成一个密封腔，可以避免工艺区内的液体进入密封腔，进而下流至机械区，对机械区内的设备造成腐蚀；与此同时，本发明将转轴管设置于密封腔内并与支撑块相连接，使得转轴管受到驱动机构的控制进行转动和升降调节时，均可以将作用力传递至支撑块上，而本发明中的密封轴承外壳转动连接于固定座上，可以使得喷嘴组合、支撑块、波纹管和密封轴承外壳能够相对于固定座进行同步转动，进而在转轴管的作用力下可以带动喷嘴组合进行旋转调节，同理，波纹管本身具备伸缩调节的功能，使得支撑块与喷嘴组合能够在转轴管的作用力下进行升降调节，进而将导液管导流的清洁区喷洒至清洁区的指定位置，进而在保证密封的情况下实现芯片清洁。

技术特征：

1.一种旋转密封结构，安装于驱动机构上方的工作台(1)上，其特征在于，包括下端与驱动机构相连接的转轴管(2)，转轴管(2)的上部贯穿工作台(1)并延伸至工艺区内；所述转轴管(2)外套接有固定座(3)，固定座(3)的下端与工作台(1)密封连接，固定座(3)的上部转动连接有套接于转轴管(2)外的密封轴承外壳(4)，且密封轴承外壳(4)与固定座(3)的外壁密封配合；所述密封轴承外壳(4)的上端密封连接有套接于转轴管(2)外的波纹管(5)，波纹管(5)的上端密封连接的支撑块(6)，支撑块(6)的一侧安装有喷嘴组合(7)；所述转轴管(2)的上端与支撑块(6)相连接，转轴管(2)内设置有导液管(8)，导液管(8)的上端与喷嘴组合(7)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种旋转密封结构，其特征在于，所述固定座(3)上端的外壁上凸设有支撑环，支撑环的上端与密封轴承外壳(4)的内顶面转动连接；所述密封轴承外壳(4)的下端安装有位于支撑环下方的密封轴承(9)，密封轴承(9)的上端与支撑环的下端转动连接；所述密封轴承(9)套接于固定座(3)外，密封轴承(9)的内壁上开设有环形安装槽(901)，环形安装槽(901)内安装有与固定座(3)外壁密封配合的密封条。

3.根据权利要求2所述的一种旋转密封结构，其特征在于，所述密封轴承外壳(4)的内顶面与支撑环的上端间隔设置，密封轴承外壳(4)的内顶面开设有第一上环槽，支撑环的上端开设有与第一上环槽相对应的第一下环槽，第一上环槽与第一下环槽之间设置有多个第一滚珠。

4.根据权利要求2所述的一种旋转密封结构，其特征在于，所述支撑环的下端与密封轴承(9)的上端间隔设置，支撑环的下端开设有第二上环槽，密封轴承(9)的上端开设有与第二上环槽相对应的第二下环槽，第二上环槽与第二下环槽之间设置有多个第二滚珠。

5.根据权利要求1所述的一种旋转密封结构，其特征在于，所述支撑块(6)的下端固定连接有底座(10)，底座(10)的下端与波纹管(5)的上端相连接，底座(10)套接于转轴管(2)外。

6.根据权利要求5所述的一种旋转密封结构，其特征在于，所述波纹管(5)的上端固定有上连接法兰，波纹管(5)的下端固定有下连接法兰，上连接法兰通过螺栓与底座(10)相连接，下连接法兰通过螺栓与密封轴承外壳(4)相连接。

7.根据权利要求6所述的一种旋转密封结构，其特征在于，所述固定座(3)与工作台(1)之间、密封轴承外壳(4)与下连接法兰之间以及底座(10)与上连接法兰之间均设置有密封垫。

8.根据权利要求5-7中任一项所述的一种旋转密封结构，其特征在于，所述底座(10)的外壁上开设有定位孔(1001)，定位孔所对应的转轴管(2)外壁上开设有定位槽，定位孔(1001)与定位槽内配合插接有定位销。

9.根据权利要求1所述的一种旋转密封结构，其特征在于，所述支撑块(6)内设置有l形通道，l形通道的一端朝向并与转轴管(2)相连通，l形通道的另一端与喷嘴组合(7)相连接。

技术总结
本发明属于芯片清洗技术领域，公开了一种旋转密封结构，安装于驱动机构上方的工作台上，包括下端与驱动机构相连接的转轴管，转轴管的上部贯穿工作台并延伸至工艺区内；转轴管外套接有固定座，固定座的下端与工作台密封连接，固定座的上部转动连接有套接于转轴管外的密封轴承外壳，密封轴承外壳与固定座的外壁密封配合；密封轴承外壳的上端密封连接有套接于转轴管外的波纹管，波纹管的上端密封连接的支撑块，支撑块的一侧安装有喷嘴组合；转轴管的上端与支撑块相连接，转轴管内设置有导液管，导液管的上端与喷嘴组合相连接。本发明在保证密封的情况下实现芯片清洁。

技术研发人员：王浩,胡卫志,封家鑫
受保护的技术使用者：上海日弗龙新材料科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/3/27