专用于过滤活性炭类的超高精密过滤器的制作方法

文档序号:4980781阅读:237来源:国知局
专利名称:专用于过滤活性炭类的超高精密过滤器的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种过滤装置,尤其涉及一种专用于过滤活性炭类的超高精密过滤為。
背景技术
在多晶硅的生产过程中,干法尾气回收须用活性炭吸附氢气中的氯化氢气体。从 而使氢气中夹带微量活性炭,造成氢气纯度降低,严重影响多晶硅的质量及后续操作的可 靠性。
实用新型内容为了解决上述背景技术中存在的问题,本实用新型提供了一种密封严密、过滤效 果好和使用维护方便的专用于过滤活性炭类的超高精密过滤器。 本实用新型要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的一种专用于过滤活 性炭类的超高精密过滤器,包括外壳和至少一组滤芯,所述外壳呈U形,U形开口一端安装 有法兰盖板,外壳一侧设有物料入口 ,外壳一侧还设有物料出口 ,所述滤芯位于外壳内且滤 芯一端安装于法兰盖板上。其物料入口还设置有挡料环。 本实用新型的有益效果在于本实用新型采用进口特殊材质滤芯,再加之巧妙设 计,不仅使过滤器其过滤精度达到0. 01 ii m级,而且过滤效率大大提高,加之滤芯璇接于 法兰盖板上,更可方便取换以至于便于维护。整个实用新型零部件采用了特殊材质,使其 在-2(TC -180°〇范围内均可正常工作。

图1本实用新型结构示意图。
图中1.外壳;2.滤芯;3.法兰盖板;4.物料入口 ;5.物料出口 ;6.挡料环。
具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步的描述; 如图1所示,一种专用于过滤活性炭类的超高精密过滤器,包括外壳1和至少一组 滤芯2,所述外壳1呈U形,U形开口一端安装有法兰盖板3,外壳1 一侧设有物料入口 4,外 壳1 一侧还设有物料出口 5,所述滤芯2位于外壳1内且滤芯2 —端璇接安装于法兰盖板3 上,取换极其方便。其物料入口4还设置有挡料环6。夹带微量活性炭的氢气由物料入口4 进入过滤器壳体内,通过滤芯2滤过活性炭,过滤后的氢气再由物料出口 5通出进入下道工 序。
权利要求一种专用于过滤活性炭类的超高精密过滤器,包括外壳(1)和至少一组滤芯(2),其特征在于所述外壳(1)呈U形,U形开口一端安装有法兰盖板(3),外壳一侧设有物料入口(4),外壳一侧还设有物料出口(5),所述滤芯(2)位于外壳(1)内且滤芯(2)一端安装于法兰盖板(3)上。
2. 根据权利要求1所述的专用于过滤活性炭类的超高精密过滤器,其特征在于所述物 料入口 (4)设有挡料环(6)。
专利摘要一种专用于过滤活性炭类的超高精密过滤器,包括外壳和至少一组滤芯,所述外壳呈U形,U形开口一端安装有法兰盖板,外壳一侧设有物料入口,外壳一侧还设有物料出口,所述滤芯位于外壳内且滤芯一端安装于法兰盖板上。其物料入口还设置有挡料环。本实用新型采用进口特殊材质滤芯,再加之巧妙设计,不仅使过滤器其过滤精度达到0.01μm级,而且过滤效率大大提高,加之滤芯璇接于法兰盖板上,更可方便取换以至于便于维护。整个实用新型零部件采用了特殊材质,使其在-20℃-180℃范围内均可正常工作。
文档编号B01D46/24GK201500492SQ200920080288
公开日2010年6月9日 申请日期2009年4月20日 优先权日2009年4月20日
发明者沈晓明 申请人:张家港市华菱化工机械有限公司
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