专利名称：排气处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种排气处理装置，尤指一种可增加粉尘去除率的排气处理装置。
背景技术：
由半导体制造装置排出的半导体排气(gas)对人体或环境有害，而且具有可燃 性、爆炸性，对于概金属具有高腐蚀性。以该半导体排气的代表例而言，列举周期表III、IV、 V族元素的氢化物，例如SiH4、PH3、B2H6等，而且在制造步骤中加以使用但未反应的SiH2Cl2、 SiHCl3、Si2H6、TE0S (四乙氧基硅炕，tetraethoxysilane)等Si化合物亦包含在该排气中。以往，半导体排气在利用大量氮气予以稀释后，使该排气浓度在爆炸下限以下，另 外进行在与大量过剩的空气相混合以后，直接释出至大气的处理。但是，目前对于环境保护的认识提升，并且环境管理变得较为严谨，如前所述的大 气释出方法趋向严格限制的方向。因此，变得必须积极地将半导体排气予以除害。因此，当 将半导体排气释出至大气中时，使用半导体排气处理装置，而以至少将有毒气体的浓度降 低至容许值以下。在此，以半导体排气的处理方法而言，可大致分为湿式法、吸附法、加热分解法及 燃烧法等4种方法；其中，加热分解法尤其在反应炉内配设棒状的电热加热器，藉由该加热 器所发出的高热，将半导体排气导入形成在反应炉内的加热区域，且将该气体进行热分解 的电热加热分解法极为符合作业现场的需求，而在多数现场予以采用。
实用新型内容本实用新型所解决的技术问题在于提供一种可应用于加热分解法中，增加粉尘 去除率的排气处理装置。本实用新型的技术方案为一种排气处理装置，该排气处理装置至少设有入口 洗气器、反应炉、出口洗气器、排气风扇以及水槽，该入口洗气器接收处理气体，并将该处理 气体送入水槽，以去除处理气体所含有的粉尘或水溶性气体；该水槽设有气体信道，该气体 信道一端连接入口洗气器，另端则连接反应炉，而该气体通道内相对于入口洗气器与反应 炉之间并设有网板。其中，该气体通道上方设有一第一盖板，该第一盖板与该网板组装固定。进一步设有至少一喷水器，且该喷水器设于该气体通道上，并朝该气体通道进行 喷水。该气体通道上方设有一第一盖板，该第一盖板与该网板组装固定，且该第一盖板 并设有至少一喷水穿孔用以连接至少一喷水器，使该喷水器朝该气体通道进行喷水。该水槽上方盖设有一第二盖板，而该第二盖板并至少设有第一、第二以及第三穿 孔，该第一穿孔上则供第一盖板盖合固定。该入口洗气器中并设有复数过滤球。[0013]该反应炉至少设有一本体、一气体导入口以及一底座，该气体导入口与该气体通 道一端连接用以将气体导入本体内，该底座设于本体底部，且该底座中央设有一穿槽以供 气体导入口穿设，而该底座底部设有一导出口，该导出口与该出口洗气器连接。该底座设有一环形承水槽以及与该承水槽相通的可制造出随该环形承水槽形成 螺旋状水流的供水管。该承水槽设有一斜导边。该入口洗气器中并设有复数过滤球。本实用新型的有益效果为排气处理装置至少设有入口洗气器、反应炉、出口洗 气器、排气风扇以及水槽，该入口洗气器接收处理气体，并将该处理气体送入水槽，以去除 处理气体所含有的粉尘或水溶性气体；其中，该水槽设有气体信道，该气体信道一端连接入 口洗气器，另端则连接反应炉，而该气体通道内相对于入口洗气器与反应炉之间并设有网 板，使处理气体经由该网板时可将粉尘滤出而掉落至下方的水槽，可增加粉尘去除率。
图1为本实用新型中排气处理装置的结构示意图； 图2为本实用新型中水槽与各盖板的结构分解图； 图3为本实用新型中入口洗气器、水槽与出口洗气器的结构立体图； 图4为本实用新型中处理气体经过入口洗气器、水槽与出口洗气器的结构示意
图5为本实用新型中底座 图6为本实用新型中底座 图7为本实用新型中底座图号说明
排气处理装置1 过滤球11 本体21 加热器212 气体导入口 22 穿槽231 承水槽233 斜导边235 出口洗气器30 水槽50 网板52 第一穿孔531 第三穿孔533 喷水穿孔541
的结构立体图； 的结构剖视图； 中螺旋状水流的结构示意图<
入口洗气器10 反应炉20 气体导入管211 刮除器213 底座23 导出口 232 供水管234 液体导管24 排气风扇40 气体通道51 第二盖板53 第二穿孔532 第一盖板54 喷水器5具体实施方式
本实用新型排气处理装置，如图1至图4所示，藉由加热分解法的排气处理装置， 该排气处理装置1至少设有入口洗气器10、反应炉20、出口洗气器30、排气风扇40以及 水槽50，该入口洗气器10接收处理气体，并将该处理气体送入水槽50，以去除处理气体所 含有的粉尘或水溶性气体。该水槽50设有气体信道51，该气体信道51 —端连接入口洗气器10，另端则连接 反应炉20，而该气体通道51内相对于入口洗气器10与反应炉20之间并设有网板52，该水 槽50上方盖设有一第二盖板53，用以将气体通道51遮蔽，而该第二盖板53并至少设有第 一、第二以及第三穿孔531、532、533，该第一穿孔531上则可供一第一盖板54盖合固定，该 第一盖板54与该网板52组装固定，且该第一盖板54并设有至少一喷水穿孔541用以连接 至少一喷水器55，使该喷水器55朝该气体通道51进行喷水。故整体组装时，该第二盖板53盖合固定于水槽50上方，并将水槽50连同该气体 通道51遮蔽，而入口洗气器10则装设于第二穿孔532上，并藉由该第二穿孔L532与气体 通道51相通，该反应炉20则装设于第三穿孔533上，并藉由该第三穿孔533与气体通道51 相通，其中，该网板52与第一盖板54相互组装固定，使该网板52可随该第一盖板54的拆 离而自气体信道51分离，以让使用者可清洗该网板甚至方便进行更换维修等作业。使用时，处理气体进入入口洗气器10中，该入口洗气器10中可设有复数过滤球 11，对该处理气体进行第一次的过滤，而该处理气体进入水槽中的气体通道51时，可藉由 该网板52对该处理气体进行第二次过滤，以将处理气体中的粉尘滤出而掉落至下方的水 槽50，可增加粉尘去除率，且该气体通道51中并藉由喷水器55的喷水，亦可将水溶性气体 溶解至水槽50中，而去除粉尘及水溶性气体的处理气体则离开气体通道51进入反应炉20 进行加热分解。而该反应炉20至少设有一本体21、一气体导入口 22以及一底座23，该气体导入 口 22与该气体通道51 —端连接用以将气体导入本体21内，该底座23设于本体21底部， 且该底座23中央设有一穿槽231以供气体导入口 22穿设，而该底座23底部设有一导出口 232，该导出口 232与该出口洗气器30连接，请同时参阅图5至图7所示，该底座23设有一 环形承水槽233以及与该承水槽233相通的供水管234，该供水管234可制造出随该环形 承水槽233形成螺旋状的水流，且该承水槽233设有一斜导边235，让处理气体经由气体通 道51后藉气体导入口 22进入反应炉的本体21中，该本体21内设有气体导入管211、加热 器212以及刮除器213，令该处理气体进行热分解，并利用刮除器213将附着于气体导入管 211以及本体21的内周面的粉尘予以去除，而分解后的处理气体以及被刮除的粉尘则经由 底座环形承水槽233中斜导边235的设置，以及该供水管234所形成螺旋状水流的冲刷使 粉尘集中由导出口 232流出，而该导出口 232与该出口洗气器30连接，且该导出口 232并 连接有一液体导管24至该水槽50处，使该分解后的处理气体则连接至出口洗气器30，而液 体连同粉尘则由该液体导管24导入水槽50中；最后，分解后的处理气体则经由出口洗气器 30连接至排气风扇40，以将处理分解完毕的气体得以排出至大气。值得一提的是，本实用新型气体通道中所设置的网板可进一步对处理气体进行过 滤，以增加粉尘去除率，且该网板设计成与该第一盖板连接，使该网板可随该第一盖板的拆 离而自气体信道分离，以让使用者可清洗该网板甚至方便进行更换维修等作业。
权利要求一种排气处理装置，该排气处理装置至少设有入口洗气器、反应炉、出口洗气器、排气风扇以及水槽，该入口洗气器接收处理气体，并将该处理气体送入水槽，以去除处理气体所含有的粉尘或水溶性气体；其特征在于该水槽设有气体信道，该气体信道一端连接入口洗气器，另端则连接反应炉，而该气体通道内相对于入口洗气器与反应炉之间并设有网板。
2.如权利要求1所述的排气处理装置，其特征在于，该气体通道上方设有一第一盖板， 该第一盖板与该网板组装固定。
3.如权利要求1所述的排气处理装置，其特征在于，进一步设有至少一喷水器，且该喷 水器设于该气体通道上，并朝该气体通道进行喷水。
4.如权利要求1所述的排气处理装置，其特征在于，该气体通道上方设有一第一盖板， 该第一盖板与该网板组装固定，且该第一盖板并设有至少一喷水穿孔用以连接至少一喷水 器，使该喷水器朝该气体通道进行喷水。
5.如权利要求2或4所述的排气处理装置，其特征在于，该水槽上方盖设有一第二盖 板，而该第二盖板并至少设有第一、第二以及第三穿孔，该第一穿孔上则供第一盖板盖合固 定。
6.如权利要求5所述的排气处理装置，其特征在于，该入口洗气器中并设有复数过滤球。
7.如权利要求5所述的排气处理装置，其特征在于，该反应炉至少设有一本体、一气体 导入口以及一底座，该气体导入口与该气体通道一端连接用以将气体导入本体内，该底座 设于本体底部，且该底座中央设有一穿槽以供气体导入口穿设，而该底座底部设有一导出 口，该导出口与该出口洗气器连接。
8.如权利要求7所述的排气处理装置，其特征在于，该底座设有一环形承水槽以及与 该承水槽相通的可制造出随该环形承水槽形成螺旋状水流的供水管。
9.如权利要求8所述的排气处理装置，其特征在于，该承水槽设有一斜导边。
10.如权利要求1、2、3或4所述的排气处理装置，其特征在于，该入口洗气器中并设有 复数过滤球。
专利摘要本实用新型排气处理装置，排气处理装置至少设有入口洗气器、反应炉、出口洗气器、排气风扇以及水槽，该入口洗气器接收处理气体，并将该处理气体送入水槽，以去除处理气体所含有的粉尘或水溶性气体；其中，该水槽设有气体信道，该气体信道一端连接入口洗气器，另端则连接反应炉，而该气体通道内相对于入口洗气器与反应炉之间并设有网板，使处理气体经由该网板时可将粉尘滤出而掉落至下方的水槽，可增加粉尘去除率。
文档编号B01D46/10GK201658913SQ200920350380
公开日2010年12月1日 申请日期2009年12月25日 优先权日2009年12月25日
发明者田少郎 申请人:华宣科技股份有限公司