专利名称：扩散炉的尾气处理系统管道装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及扩散炉，尤其涉及扩散炉的尾气处理系统管道装置。
背景技术：
扩散炉是用于半导体扩散(掺杂)工艺的一种专用设备，其原理是在高温环境下， 通过分子的热运动，让磷(P)、铝(AL)、镓(( )、硼(B)等杂质元素进入纯净的硅片内部，形 成PN结。扩散的过程是在石英腔体内进行的，对于磷扩散，腔体内部不断流入携带有三氯 氧磷的气体，反应后形成的废气通过排气口进入尾气处理系统，进行冷凝和过滤。在废气收 集过程中，由于废气中含有偏磷酸，它很容易堆积在石英管的接头处，若时间过长可能堵塞 管口 ；同时若石英管的接头密封性不好，也容易泄露到环境中。
发明内容为了克服上述缺点，本实用新型提供了一种具有少偏磷酸环境、防止石英管口堵 塞、密封性好、使用寿命长的扩散炉的尾气处理系统管道装置。本实用新型所述扩散炉的尾气处理系统管道装置包括废液瓶、石英管一、石英管 二、球头、聚四氟乙烯球面垫块、球碗和接头夹子；其中废液瓶之间通过石英管一与石英管 二连接，石英管一在与石英管二连接的一端为球碗，石英管二在与石英管一连接的一端为 球头，球头与球碗之间设置有聚四氟乙烯球面垫块，接头夹子的两个夹脚分别设置在球头 与球碗相向的两端，其方向为石英管的轴线方向。本实用新型所述扩散炉的尾气处理系统管道装置具有良好的密封性，且聚四氟乙 烯的球面垫块表面光滑，使偏磷酸就不易在接头处沉积，防止石英管口的堵塞，提高了尾气 处理系统的使用寿命。
图1为本实用新型所述扩散炉的尾气处理系统管道装置的示意图。图2为图1中所示石英管一与石英管二连接处的结构图。图中编号说明1-球头；2-聚四氟乙烯球面垫块；3-球碗；4-接头夹子；5-石英管一 ；6_石英管 二 ； 7-废液瓶。
具体实施方式
结合图1至图2对本实用新型所述扩散炉的尾气处理系统管道装置进行详细说 明。本实用新型所述本实用新型所述扩散炉的尾气处理系统管道装置，包括废液瓶7、 石英管一 5、石英管二 6、球头1、聚四氟乙烯球面垫块2、球碗3和接头夹子4 ；其中废液瓶7 之间通过石英管一 5与石英管二 6连接，石英管一 5在与石英管二 6连接的一端为球碗3，石英管二 6在与石英管一 5连接的一端为球头1，球头1与球碗3之间设置有聚四氟乙烯球 面垫块2，接头夹子4的两个夹脚分别设置在球头1与球碗3相向的两端，其方向为石英管 的轴线方向，即接头夹子4施加加紧力将石英管一与石英管二的接头加紧，起到良好的密 封作用。
权利要求1. 一种扩散炉的尾气处理系统管道装置，其特征在于它主要包括废液瓶、石英管一、石 英管二、球头、聚四氟乙烯球面垫块、球碗和接头夹子；其中废液瓶之间通过石英管一与石 英管二连接，石英管一在与石英管二连接的一端为球碗，石英管二在与石英管一连接的一 端为球头，球头与球碗之间设置有聚四氟乙烯球面垫块，接头夹子的两个夹脚分别设置在 球头与球碗相向的两端，其方向为石英管的轴线方向。
专利摘要本实用新型提供了一种扩散炉的尾气处理系统管道装置，它主要包括废液瓶、石英管一、石英管二、球头、聚四氟乙烯球面垫块、球碗和接头夹子；其中废液瓶之间通过石英管一与石英管二连接，石英管一在与石英管二连接的一端为球碗，石英管二在与石英管一连接的一端为球头，球头与球碗之间设置有聚四氟乙烯球面垫块，接头夹子的两个夹脚分别设置在球头与球碗相向的两端，其方向为石英管的轴线方向；其优点在于具有良好的密封性，且聚四氟乙烯的球面垫块表面光滑，使偏磷酸就不易在接头处沉积，防止石英管口的堵塞，提高了尾气处理系统的使用寿命。
文档编号B01D53/00GK201899961SQ20102066601
公开日2011年7月20日 申请日期2010年12月17日 优先权日2010年12月17日
发明者崔慧敏 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司