过滤装置的制作方法

专利名称：过滤装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种利用微滤膜(Microfiltrationmembrane)或超滤膜 (Ultrafiltration Membrane)等膜来过滤原液而获得过滤液的过滤装置。
背景技术：
公知有利用微滤膜或超滤膜等的膜组件的膜过滤装置。在膜过滤装置中，为了消除膜组件的阻塞，进行使过滤液从膜组件的2次侧向1次侧逆流而清洗膜的反洗。作为能够反洗的过滤装置的方式，公知有各种各样的方式，例如在专利文献1中记载有能够交替反洗的方式。在专利文献1中，记载有内压过滤式或外压过滤式的中空纤维膜过滤装置。该膜过滤装置具有多个膜组件，例如在反洗时能够将从第1膜组件排出的过滤液向其他的第2 膜组件的2次侧供给而进行第2膜组件的反洗。采用这种能够交替反洗的过滤装置，不需要为了反洗而预先储存过滤水的储存容器等，有利于装置的小型化、紧凑化。专利文献1 国际公开第09/037999号手册但是，在专利文献1所示的过滤装置中，根据反洗对象的第2膜组件的污浊(阻塞)程度，需要用高压向第2组件供给反洗液，为了实现该高压，需要进一步提高原水向第1 膜组件的供给压力，其结果，需要将膜组件的耐压特性提高至普通的过滤运转、反洗运转所要求的水平以上，在实用方面的困难性较大。

实用新型内容本实用新型就是鉴于这种课题而做出来的，其目的在于提供一种实现装置的小型化、紧凑化，同时不要求膜组件的耐压特性等达到正常所需耐压特性以上，能够容易地实现且在实用方面也优良的过滤装置。本实用新型的过滤装置具有多个膜组件、用于向各膜组件的1次侧导入原液的导入管线、与各膜组件的2次侧相连接并且用于排出由膜组件过滤后的过滤液的过滤液排出管线，在反洗时，与成为反洗对象的膜组件相连接的导入管线的流路被关闭，其特征在于， 该过滤装置具有原液供给泵，其设置在导入管线上，并且用于向膜组件供给规定流量的原液；过滤液压送泵，其设置在过滤液排出管线上，并且用于压送过滤液；反洗管线，其使过滤液排出管线的过滤液压送泵下游侧与各膜组件的2次侧相连接，并且在反洗时在该反洗管线与成为反洗对象的膜组件之间的流路被打开而使过滤液作为反洗液流动；清洗液排出管线，其与各模组件的1次侧相连接，并且在反洗时来自成为反洗对象的膜组件的流路被打开而排出透过了膜组件的反洗液；压力检测单元，其用于检测过滤液压送泵的吸入侧的过滤液的压力；控制单元，其根据由压力检测单元检测出的压力来控制过滤液压送泵的驱动。在本实用新型中，即使在反洗膜组件时，也能利用非反洗对象的膜组件继续进行从原液获得过滤液的普通的过滤运转。在该普通的过滤运转中获得的过滤液通过过滤液压送泵的驱动被作为反洗液向反洗对象的膜组件的2次侧供给，透过该膜组件的膜的反洗液通过清洗液排出管线被排出。在此，例如，在采用没有用中间容器等断开原液供给泵和过滤液压送泵的连接地在实际上连续的管线上配置原液供给泵和过滤液压送泵的方式时，当平衡被打破时有可能在过滤液压送泵侧产生气蚀(cavitation)。但是，在本实用新型中，利用压力检测单元检测在过滤液压送泵吸入侧的过滤液的压力，根据检测出的压力控制过滤液压送泵的驱动，因此能够一边防止气蚀的产生于未然，一边驱动过滤液压送泵。其结果，能够实现在实际上连续的管线上配置原液供给泵和过滤液压送泵的结构，能够连续地向成为反洗对象的膜组件供给过滤液，因此不需要为了反洗而预先储存过滤液的清洗容器等，而能够实现小型化、紧凑化。而且，不是将利用非反洗对象的膜组件获得的过滤液直接供给到成为反洗对象的膜组件，而是经由过滤液压送泵进行供给，因此还能够根据成为反洗对象的膜组件的污浊(阻塞)程度适当地提高供给压力，因此不必将膜组件的耐压特性提高至正常所需耐压特性以上，能够容易地实现并且在实用方面优良。而且，优选控制单元自动控制过滤液压送泵的驱动，使得由压力检测单元检测出的压力维持为规定的设定压力。当由原液供给泵产生的原液压入压力与由过滤液压送泵产生的过滤液引入压力取得平衡时，能够一边抑制在过滤液压送泵产生气蚀，一边实现稳定的驱动。采用上述结构，例如，当由于非反洗对象的膜组件的阻塞、由原液供给泵供给的原液的流量变动而导致过滤液的压入压力比规定的设定压力低时，低速驱动过滤液压送泵， 反之当压入压力比规定的设定压力高时，高速驱动过滤液压送泵，从而能够实现原液的压入压力与过滤液的引入压力的平衡，因此能够防止在过滤液压送泵产生气蚀于未然，能够实现稳定的驱动。而且，优选在膜组件与过滤液压送泵之间还具有用于检测在过滤液排出管线中流动的过滤液的流量的流量检测单元，控制单元根据由流量检测单元检测出的流量，控制原液供给泵的驱动，从而向膜组件供给规定流量的原液。采用该结构，例如能够进行将在过滤液排出管线中流动的过滤液的流量设为定量的定量运转，过滤液压送泵的吸入侧的压力易于稳定，能够更有效地防止气蚀的产生。而且，优选清洗液排出管线也能够用作原液排出管线。若是在需要从1次侧排出供给到膜组件的原液时能够将清洗液排出管线用作原液排出管线的结构，则与同清洗液排出管线彼此独立地另外设置原液排出管线的情况相比，有利于装置的简单化、紧凑化。而且，优选上述膜组件为与反渗透膜相比具有大孔的膜的前级膜组件，该过滤装置还具有后级膜组件，其1次侧与过滤液排出管线相连接，并具有用于使过滤液透过的反渗透膜；2次透过液排出管线，其与后级膜组件的2次侧相连接，并且用于排出透过了反渗透膜的2次透过液，在该过滤装置中，反洗管线连接后级膜组件的1次侧和各前级膜组件的 2次侧，并且在反洗时，在上述反洗管线与成为反洗对象的前级膜组件之间的流路被打开， 使过滤液不透过反渗透膜而作为反洗液向前级膜组件的2次侧供给。不是直接向后级膜组件的反渗透膜供给原液，而是向后级膜组件供给利用具有大孔的膜的前级膜组件预先去除了粒径比较大的杂质后的过滤液，因此能够减少反渗透膜的阻塞，同时能够提高装置整体的过滤处理能力。而且，作为用于向反渗透膜供给过滤液的高压泵能够兼用作过滤液压缩泵，因此设备负担减轻，有利于装置小型化、紧凑化。而且，优选该过滤装置还具有浓缩液排出管线，其是从与后级膜组件的1次侧相连接的反洗管线分支出来的，并且在过滤时与大气连通，在反洗时封闭。在过滤时，反洗管线经由浓缩液排出管线与大气连通，因此施加在后级膜组件上的高压不会以高压状态影响反洗管线，而使反洗管线的在耐压方面的设备负担减轻。而且，优选该过滤装置还具有能够将反洗管线的流路调整为规定的开度的阀。通过该阀能够适当地调整过滤液压送泵的背压。采用本实用新型，能够实现装置的小型化、紧凑化，并且在实用方面也优良。

[0016]图1是示意性表示本实用新型的第1实施方式的过滤装置的图。[0017]图2是本实施方式的过滤装置的概略立体图。[0018]图3是沿图2中的III-III线的剖视图。[0019]图4是沿图2中的IV-IV线的剖视图。[0020]图5是表示本实施方式的过滤装置的过滤处理过程的流程图。[0021]图6是表示过滤运转时的液体的流向的图。[0022]图7是表示第2MF膜组件反洗运转时的液体的流向的图。[0023]图8是表示第IMF膜组件反洗运转时的液体的流向的图。[0024]图9是表示第1、第2MF膜组件的冲洗(flushing)处理的液体流向的图。[0025]图10是示意性表示本实用新型的第2实施方式的过滤装置的图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本实用新型的优选实施方式的过滤装置。如图1 图4所示，过滤装置IA是接收生活废水、工业用水、工厂废水或河流水这样的原水(原液)并通过膜过滤进行净化处理的装置。过滤装置IA具有多个MF膜组件 3A.3B和多个RO膜组件5。最初将原水供给到M F膜组件3A、3B中来去除粒径比较大的浊质，接着再供给到RO膜组件5中来实施2次处理。通过将多个MF膜组件3AJB和多个RO 膜组件5容纳在一个集装箱(Container) 7中，来进行单元化，而实现能够输送的形态。集装箱7是普通的货物输送所使用的箱状的海上集装箱，集装箱7由配置在该集装箱7的底部的平板状的基部7a和安装在基部7a上的盖部7b构成，呈大致长方体形状。 在盖部7b的长度方向的一端设有门。集装箱7的全长能够采用约6m(20英尺)或12m(40 英尺)的各种形态。MF膜组件3A、;3B具有由中空纤维膜构成的MF膜(微滤膜)3a和容纳多根MF膜3a 的束的大致圆筒状的壳体:3b，MF膜3a的束借助设置在壳体北的两端附近的粘接层固定在壳体北上。MF膜组件3A、3B隔着MF膜3a被划分为1次侧的区域UA和2次侧的区域DA， 1次侧为接收原水的上游侧的区域UA，2次侧为成为透过了 MF膜3a的过滤水的流出处的下游侧的区域DA。而且，在MF膜组件3A JB的一个端部上设有与1次侧相连通的原水导入部 3c。另外，在MF膜组件3A、3B的另一个端部上设有与2次侧相连通的过滤水排出部3d和与1次侧相连通且用于排出清洗水、未透过MF膜3a的原水的清洗水排出部!Be。多个MF膜组件3AJB被分为相同根数的第1组和第2组。另外，在本实施方式中， 说明将多个MF膜组件分为相同根数的两组的情况，但也可以分为3组以上，各个组中的MF膜组件的根数也可以不同。如图2和图3所示，沿两列排列配置属于第1组的多个MF膜组件(以下称作“第 IMF膜组件”)3A和属于第2组的多个MF膜组件(以下称作“第2MF膜组件”)!3B。另外，图 3是沿图2中的III-III线的概略剖面图，为了便于说明，在多根MF膜组件3A JB中，附图右侧表示在前侧排列的第IMF膜组件3A，附图左侧表示在后侧排列的第2MF膜组件!3B。第IMF膜组件3A竖立设置在配置在上侧的第1过滤水排出集管(header pipe)9A 与配置在下侧的第1原水导入集管IlA之间。另外，第2MF膜组件;3B竖立设置在配置在下侧的第2原水导入集管IlB与配置在上侧的第2过滤水排出集管9B之间。第1原水导入集管IlA沿着集装箱7的下侧、即基部7a配置。在第1原水导入集管IlA上设有与第IMF膜组件3A的根数对应的多个支管，根据需要第IMF膜组件3A的原水导入部3c经由接头管与第1原水导入集管IlA的支管相连接。另外，第1过滤水排出集管9A沿着集装箱7的上侧、即盖部7b的顶面配置。在第 1过滤水排出集管9A上设有与第IMF膜组件3A的根数对应的多个支管，第IMF膜组件3A 的过滤水排出部3d经由接头管与第1过滤水排出集管9A的支管相连接。另外，在第IMF膜组件3A的上侧，与第1过滤水排出集管9A并列地设置有第1清洗水排出集管13A。在第1清洗水排出集管13A上设有与第IMF膜组件3A的根数对应的多个支管，第IMF膜组件3A的清洗水排出部!Be经由接头管与第1清洗水排出集管13A的支管相连接。第2MF膜组件;3B也与第IMF膜组件3A —样，第2MF膜组件的原水导入部3c经由接头管与第2原水导入集管IlB的支管相连接，过滤水排出部3d经由接头管与第2过滤水排出集管9B的支管相连接，清洗水排出部!Be经由接头管与第2清洗水排出集管1 的支管相连接。如图1、图2及图4所示，RO膜组件5具有RO膜(反渗透膜)5a和以使多个RO膜 fe呈一列排列的方式容纳多个RO膜如的大致圆筒状的壳体(也称作“容器”)恥。RO膜组件5隔着RO膜fe被划分为1次侧的区域UA和2次侧的区域DA。1次侧为接收过滤液的上游侧的区域UA，2次侧为成为透过了 RO膜fe的2次透过水O次透过液)的流出处的下游侧的区域DA。在RO膜组件5的一个端部上设有与1次侧相连通的过滤水导入部5c， 在另一个端部上设有与2次侧相连通的透过水排出部5d和与1次侧相连通的浓缩水排出部k。从浓缩水排出部k排出未透过RO膜fe的过滤水。多个RO膜组件5以沿着集装箱7的长度方向横倒设置的状态固定在架台15上。 多个RO膜组件5彼此的连结方式能够采用各种形式，本实施方式的多个RO膜组件5以成为多级的方式相连结。具体来说，在第1级上配置4根RO膜组件5，在第2级上配置2根 RO膜组件5，在第3级上配置1根RO膜组件5。在第1级的RO膜组件5中，过滤水导入部5c与上游侧集管17相连接，透过水排出部5d与下游侧集管19相连接。另外，第2级的RO膜组件5的过滤水导入部5c与第1级的 RO膜组件5的浓缩水排出部k相连接，透过水排出部5d与下游侧集管19相连接。另外， 第3级的RO膜组件5的过滤水导入部5c与第2级的RO膜组件5的浓缩水排出部k相连接，透过水排出部5d与下游侧集管19相连接。另外，第3级的RO膜组件5的浓缩水排出部k与排出过滤水的管路29a相连接。通过这种连接方式，能够增加2次透过水的流量。[0040]接着，参照图1说明过滤装置IA的配管的结构。另外，在图1(图6 图9也一样)中，以第IMF膜组件3A中的1根为代表进行描述，另外，以第2MF膜组件;3B中的1根为代表进行描述，而且，以多个RO膜组件5中的1根为代表进行说明。在过滤装置IA中，设有从未图示的原水储存容器接收原水的导入管线21。导入管线21由具有规定的管径的管路21a构成。导入管线21的管路分支为两个方向，一个分支部与连接在第IMF膜组件3A上的第1原水导入集管IlA相连接，另一个分支部与连接在第 2M F膜组件;3B上的第2原水导入集管IlB相连接。另外，在导入管线21上设置有MF送液泵(原液供给泵)21b，利用该MF送液泵21b 以规定的压力向第IMF膜组件3A、第2MF膜组件;3B供给原水。另外，在导入管线21的一个分支部上设有开闭流路的第1阀V1，在另一个分支部上也设有开闭流路的第2阀V2。第 1阀义和第2阀V2能够采用假定由操作盘(控制单元)41进行自动控制、例如序列控制 (sequence control)的电动阀等，但在采用手动进行切换时也可以是手动阀。另外，在过滤装置IA中设有使第IMF膜组件3A及第2MF膜组件与RO膜组件 5相连接的连接管线23，第IMF膜组件3A及第2MF膜组件与RO膜组件5之间没有借助中间容器等地由连接管线23直接连接。连接管线23具有管路23a、23b，其具有规定的管径；RO送液泵(过滤液压送泵)23d，其以规定的高压向RO膜组件5压送过滤水，由第IMF膜组件3A及第2MF膜组件 3B中的至少一方过滤了的过滤水被RO送液泵23d直接供给到RO膜组件5。连接管线23的管路隔着RO送液泵23d被分为上游侧管路23a和下游侧管路2 。 上游侧管路23a的上游侧的一部分与第IMF膜组件3A和第2MF膜组件相对应地分支为两个方向，一个分支部与连接在第IMF膜组件3A上的第1过滤水排出集管9A相连接，另一个分支部与第2过滤水排出集管9B相连接。在一个分支部上设有开闭流路的第3阀V3,在另一个分支部上设有开闭流路的第4阀V4。第3阀V3和第4阀V4能够采用假定由操作盘 (控制单元)41进行自动控制、例如序列控制的电动阀等，但在采用手动进行切换时也可以是手动阀。另外，在一个分支部与另一个分支部的合流位置的下游侧的部分设有用于检测在管路内流动的过滤水的流量的流量计23e。另外，上游侧管路23a的下游端与RO送液泵23d 的吸入部相连接，而且在RO送液泵23d的吸入部附近设有用于检测RO送液泵23d的吸入侧的压力的压力传感器23f。流量计2 相当于检测在连接管线(过滤液排出管线)23中流动的过滤水(过滤液)的流量的流量检测单元。连接管线23的下游侧管路23b的上游端与RO送液泵23d的出口部相连接，下游端与连接在RO膜组件5上的上游侧集管17相连接。另外，在下游侧管路2 上设有开闭流路的第5阀V5。第5阀V5能够采用假定由操作盘(控制单元)41进行自动控制、例如序列控制的电动阀等，但在采用手动进行切换时也可以是手动阀。另外，在过滤装置IA中设有用于从第IMF膜组件3A和第2MF膜组件的至少一方排出反洗水或原水的清洗水排出管线(清洗液排出管线)25。清洗水排出管线25由具有规定的管径的管路2 构成。清洗水排出管线25的上游侧的管路分支为两个方向，一个分支部与连接在第IMF膜组件3A的1次侧上的第1清洗水排出集管13A相连接，另一个分支部与连接在第2MF膜组件;3B的1次侧上的第2清洗水排出集管1 相连接。另外，在一个分支部上设有用于打开流路的第6阀V6,在另一个分支部上设有用于打开流路的第7阀 V7。而且，清洗水排出管线25的下游侧与未图示的废液容器相连接。另外，在交替反洗时， 反洗水在清洗水排出管线25中流动并排出，但在冲洗处理时，原水在清洗水排出管线25中流动并排出。另外，在过滤装置IA中设有用于排出透过了 RO膜组件5的2次透过水O次透过液)的透过水排出管线O次透过液排出管线)27、用于排出从RO膜组件5流出的反洗用的过滤水(反洗水)的反洗管线四、从反洗管线四分支出来并与废液容器32相连接的浓缩水排出管线30。透过水排出管线27经由下游侧集管19与RO膜组件5的2次侧相连接。透过水排出管线27具有管路27a，其具有规定的管径；流量计27b，其用于检测在管路27a中流动的2次透过水的流量；第8阀V8，其用于开闭流路。第8阀V8能够采用假定由操作盘41 进行自动控制、例如序列控制的电动阀等，但在采用手动进行切换时也可以是手动阀。由RO 膜组件5过滤的2次透过水通过透过水排出管线27输出到集装箱7外。反洗管线四由具有规定的管径的管路构成。反洗管线四的管路隔着与浓缩水排出管线30的管路30a相连接的分支部具有上游侧的主管部29a和下游侧的返送管部^b。 主管部29a与第3级(最后一级)的RO膜组件5的浓缩水排出部^相连接，其结果，实现与RO膜组件5的1次侧相连通的方式。在多级配置的RO膜组件5中，未透过任何RO膜fe 的浓缩水或过滤水(反洗水)经由第3级的RO膜组件5的浓缩水排出部k向反洗管线四排出。在主管部29a上设有能够将流路调整为规定的开度的控制阀Va。在过滤运转时， 当利用控制阀Va缩小开度时，从RO膜组件5流出的透过水的流量少量增加，反之当打开时，透过水的流量少量减少。因而，通过利用控制阀Va来调整开度，能够微调透过水的流量。另外，在主管部的控制阀Va的下游侧，根据需要设有用于检测在主管部^a内流动的液体的流量的流量计^d。返送管部^b与第IMF膜组件3A及第2MF膜组件相连接。返送管部^b的下游侧、即与第IMF膜组件3A及第2MF膜组件相连接的一侧分支为两个方向，一个分支部与第1过滤水排出集管9A相连接，另一个分支部与第2过滤水排出集管9B相连接。在一个分支部上设有开闭流路的第10阀Vltl，在另一个分支部上设有开闭流路的第11阀Vn。第10 阀Vltl和第11阀V11能够采用假定由操作盘41进行自动控制、例如序列控制的电动阀等，但在采用手动进行切换时也可以是手动阀。浓缩水排出管线30设有具有规定的管径的管路30a和开闭流路的第9阀V9。第 9 _V9能够采用假定由操作盘(控制单元)41进行自动控制、例如序列控制的电动阀等，但在采用手动进行切换时也可以是手动阀。废液容器32不密封，在过滤运转时第9阀V9打开，因此浓缩水排出管线30成为与大气连通的状态。其结果，在过滤运转时，施加在RO膜组件5上的高压不会以高压状态影响反洗管线四，而使反洗管线四的在耐压方面的设备负担减轻。另外，过滤装置IA具有向反洗管线四的返送管部29b供给药液的药液供给部33。 药液供给部33具有设置在集装箱7的基部7a上的NaClO储存槽33d、连接NattO储存槽 33d和反洗管线四的返送管部^b的药液移送管33e、与Natno储存槽33d相对应的送液泵(省略图示)、开闭药液移送管33e的流路的第12阀V12。在反洗第IMF膜组件3A或第 2MF膜组件;3B时，使用储存在Natno储存槽33d中的Natno溶液。另外，第12阀V12能够采用假定由操作盘41进行自动控制、例如序列控制的电动阀等，但在采用手动进行切换时也可以是手动阀。另外，过滤装置IA除了 NaaO储存槽33d之外还具有NaOH储存槽33a、阻垢剂 (scale inhibitor)储存槽33b、还原剂储存槽33c (参照图2)。在清洗RO膜组件5时，使用储存在SBS(sodium bisulfite 亚硫酸氢钠)等的还原剂储存槽33c、阻垢剂储存槽33b 中的SBS及阻垢剂。另外，过滤装置IA具有向第IMF膜组件3A及第2MF膜组件供给气水反洗(air scrubbing)用的压缩空气的高压空气供给部35。高压空气供给部35具有输出压缩空气的压缩机(省略图示)和将由压缩机输送的压缩空气向第IMF膜组件3A的1次侧及第2MF 膜组件3B的1次侧供给的高压空气供给管35a。高压空气供给管3 的下游部分与第IMF膜组件3A及第2MF膜组件的根数对应地分支为多个支管。高压空气供给管3 的各支管以分别与多个第IMF膜组件3A及多个第2MF膜组件;3B的1次侧相连通的方式与第IMF膜组件3A的下部或第2MF膜组件的下部相连接。另外，在高压空气供给管3 上设有开闭与第IMF膜组件3A侧相连接的支管的流路的第13阀V13和开闭与第2MF膜组件;3B侧相连接的支管的流路的第14阀V14。第 13阀V13和第14阀V14能够采用假定由操作盘41进行自动控制、例如序列控制的电动阀等， 但在采用手动进行切换时也可以是手动阀。另外，过滤装置IA具有操作盘41，该操作盘41除了控制普通的过滤运转之外， 还控制用于交替反洗运转的流路的开闭等。操作盘41由控制CPU (Central Processing Unit)、存储装置(Strage Unit)、输入装置(Input Device)及输出装置(Output Device) 等构成，通过按照规定的程序进行动作，来实现阀控制部43、MF泵控制部45、RO泵控制部 47及2次透过水控制部49的各功能。以下，按照功能说明操作盘41的结构。另外，在本实施方式中，以操作盘41实现阀控制部43、MF泵控制部45、RO泵控制部47及2次透过水控制部49的所有功能的方式说明操作盘41，但也可以分散配置多个控制装置(控制单元) 并使各控制装置分开承担各功能。操作盘41以能够发送接收控制信号的方式与第1阀V1、第2阀V2、第3阀V3、第4 阀V4、第5阀V5、第6阀V6、第7阀V7、第8阀V8、第9阀V9、第10阀Vltl、第11阀Vn、第12 阀V12、第13阀V13及第14阀V14有线或无线连接。当从作为阀控制部43发挥作用的操作盘41向第1阀V1 第14阀V14发送控制信号时，第1阀V1 第14阀V14接收该控制信号， 然后第1阀V1 第14阀V14按照接收的控制信号打开或关闭流路。另外，操作盘41与设置在连接管线23上的流量计2 有线或无线连接，构成为能够获取由流量计2 检测出的流量数据。另外，操作盘41以能够发送接收控制信号的方式与MF送液泵21b有线或无线连接。作为MF泵控制部45发挥作用的操作盘41监视由流量计2 检测出的流量数据， 当流量数据低于规定的阈值(例如以25m3/h为中心的规定的误差范围)时，使MF送液泵 21b高速运转而增加流量；当流量数据高于规定的阈值时，使MF送液泵21b低速运转而减少流量。其结果，MF泵控制部45进行将通过连接管线23的过滤水的流量保持为规定的设定流量的自动控制，其结果，使规定流量的原水向第IMF膜组件3A及第2MF膜组件中的至少一方供给。另外，过滤水的流量设定通过由操作者等进行的操作盘41的输入操作来进行，接受输入操作的操作盘41将输入值作为过滤水的流量的阈值设定登记在存储器等中。另外，操作盘41与设置在连接管线23上的压力传感器23f有线或无线连接，构成为能够获取由压力传感器23f检测出的压力数据。另外，操作盘41以能够发送接收控制信号的方式与RO送液泵23d有线或无线连接。作为RO泵控制部47发挥作用的操作盘41监视由压力传感器23f检测出的压力数据，当压力数据低于规定的阈值(例如以5米水柱为中心的规定的误差范围)时，使RO 送液泵23d低速运转而减少压送流量；当压力数据高于规定的阈值时，使RO送液泵23d高速运转而增加压送流量。其结果，RO泵控制部47进行将RO送液泵23d吸入部侧的压力保持为规定的设定压力的自动控制。另外，RO送液泵23d的吸入部侧的压力设定通过由操作者等进行的操作盘41的输入操作来进行，接受输入操作的操作盘41将输入值作为RO送液泵23d吸入部侧的压力的阈值设定登记在存储器等中。另外，操作盘41与设置在透过水排出管线27上的流量计27b有线或无线连接，构成为能够获取由流量计27b检测出的流量数据。另外，操作盘41与设置在反洗管线四的主管部29a上的流量计29d有线或无线连接，构成为能够获取由流量计29d检测出的流量数据。另外，操作盘41以能够发送接收控制信号的方式与设置在主管部29a上的控制阀Va 有线或无线连接。作为2次透过水控制部49发挥作用的操作盘41监视由透过水排出管线 27侧的流量计27b检测出的流量数据，根据需要还监视由反洗管线四侧的流量计29d检测出的流量数据。然后，操作盘41进行将由透过水排出管线27侧的流量计27d检测出的流量数据保持为规定的设定流量的自动控制。另外，2次透过水的流量设定通过由操作者等进行的操作盘41的输入操作来进行，接受输入操作的操作盘41将输入值作为2次透过水的流量的阈值设定登记在存储器等中。接着，参照图5 图9说明采用本实施方式的过滤装置IA的处理流程。图5是表示过滤装置IA的运转过程的流程图。另外，图6是表示进行过滤运转状态下的液体的流向的图，图7是表示第2MF膜组件;3B进行反洗处理状态下的液体的流向的图，图8是表示第 IMF膜组件3A进行反洗处理状态下的液体的流向的图。另外，图9是表示在第IMF膜组件 3A和第2MF膜组件;3B两者都实施冲洗处理状态下的液体的流向的图。在使过滤装置IA运转时，作为初始设定需要输入与过滤装置IA的处理能力、要求性能等相应的设定值。在本实施方式中，例如，由操作者进行用于进行共计30分钟的运转的输入操作，该30分钟的运转包括普通的过滤27分钟、第2MF膜组件;3B的反洗1分钟、第 IMF膜组件3A的反洗1分钟、然后第IMF膜组件3A及第2MF膜组件的冲洗1分钟。而且，通过操作者的输入操作来设定过滤水的设定流量为25m3/h、RO送液泵23d的吸入侧的设定压力为5米水柱、2次透过水的设定流量为20m3/h这样的数据。如图5和图6所示，当开始原水的过滤处理时，操作盘41开始普通的过滤运转(步骤Si)。在此，操作盘41打开第1阀V1 第5阀V5、第8阀V8、第9阀V9,关闭第6阀V6、 第7阀V7、第10阀Vltl 第14阀V14。通过以上的阀控制，导入管线21、连接管线23、透过水排出管线27及浓缩水排出管线30成为流路打开的状态，反洗管线四及清洗水排出管线 25成为流路关闭的状态。[0070]接着，驱动MF送液泵21b，当由压力传感器23f检测出的压力数据达到规定压力 (5米水柱)时，驱动RO送液泵23d而向RO膜组件5供给过滤水。另外，微调控制阀Va的开度，使得从RO膜组件5排出的2次透过水的流量保持为规定的设定流量O0m3/h)。进一步详细说明普通的过滤运转。在过滤装置IA中，进行流量控制、压力控制、流量控制这样的MF-RO直接连结控制。具体来说，将由流量计2 检测出的过滤水的流量数据输入操作盘41的控制CPU(未图示)。控制CPU根据由流量计2 检测出的流量数据进行 PID (Proportional Integral Derivative)运算，根据该运算结果进行MF送液泵用变频器 (inverter)频率控制。由此，控制MF送液泵21b的电动机转速，从而改变原水向第IMF膜组件3A及第2MF膜组件;3B的供给量。另外，作为用于MF送液泵用变频器频率控制的PID 运算，例如能够列举根据与设定值的偏差进行的输出运算，在本实施方式中，是用于将过滤水的流量维持为25m3/h的输出运算。另外，将由压力传感器23f获取的RO送液泵23d的吸入侧的压力数据输入操作盘 41的控制CPU。控制CPU根据由压力传感器23f检测出的压力数据进行PID运算，而进行 RO送液泵用变频器频率控制。由此，控制RO送液泵23d的电动机转速，从而改变RO送液泵23d的排出量。另外，作为用于RO送液泵23d用变频器频率控制的PID运算，例如能够列举根据与设定值的偏差进行的输出运算，在本实施方式中，是用于将RO送液泵23d的吸入侧的压力维持为5米水柱的输出运算。另外，将由设置在透过水排出管线27上的流量计27b检测出的2次透过水的流量数据输入操作盘41的控制CPU。控制CPU根据由流量计27b检测出的流量数据进行PID运算，根据该运算结果进行控制阀Va的开度控制。由此，改变从RO膜组件5排出的浓缩水的流量，而随之改变2次透过水的流量。另外，作为用于控制阀Va的开度控制的PID运算，例如能够列举根据与设定值的偏差进行的输出运算，在本实施方式中，是用于将2次透过水的流量维持为20m3/h的输出运算。通过进行上述MF-RO直接连结控制，例如在MF膜压差增大时，MF送液泵21b的转速上升而使过滤水的流量维持在25m3/h，在RO膜压差增大时，RO送液泵23d的转速上升而使2次透过水的流量维持在20m3/h (浓缩水的流量5m3/h)。因而，能够持续RO送液泵23d 的吸入侧的压力稳定在5米水柱的状态(即，压入流量与RO送液泵23d的引入流量达到平衡的状态)，由此，能够防止在RO送液泵23d的吸入侧产生气蚀。当经过了上述过滤运转时间(27分钟)后，在操作盘41的作用下开始第IMF膜组件3A与第2MF膜组件;3B的交替反洗运转。最初，操作盘41使第IMF膜组件3A侧的过滤运转持续，将第2MF膜组件;3B侧切换为反洗运转(步骤2)。在此，操作盘41控制MF送液泵21b的驱动，将过滤水的流量调整为原来的一半左右。接着，操作盘41将第2阀V2、第4 阀V4、第8阀V8及第9阀V9切换为关闭(关闭阀)，将第7阀V7、第11阀V11及第14阀V14 切换为打开(打开阀)，适当地打开第12阀V12(参照图7)。通过以上的阀控制，变成如下状态在导入管线21中，与成为反洗对象的第2MF膜组件;3B相连接的流路被封闭，并且，在反洗管线四及清洗水排出管线25中，与成为反洗对象的第2MF膜组件;3B相连接的流路被打开。另外，操作盘41驱动未图示的压缩机，向第2MF膜组件;3B的1次侧供给气水反洗用的空气。另外，操作盘41通过调整控制阀Va，也能够将反洗管线四调整为规定的开度，其结果，能够适当地调整RO送液泵23d的背压。在上述第2MF膜组件;3B的反洗运转中，在第IMF膜组件3A的过滤运转中获得的过滤水被供给到RO膜组件5。在此，供给到RO膜组件5的过滤水不透过RO膜组件5的RO 膜如而作为反洗水输送到反洗管线29，向第2MF膜组件;3B的2次侧供给而进行MF膜3a 的反洗，同时还进行第2MF膜组件;3B的气水反洗。另外，利用药液供给部33适当地供给规定的药液，而还进行第2MF膜组件;3B的药洗处理。流到第2MF膜组件的1次侧的过滤水通过清洗水排出管线25向废液容器(省略图示)排出。在此，进一步详细说明伴随着第2MF膜组件;3B的反洗运转的控制。在过滤装置IA 中，进行流量控制、压力控制这样的MF-RO直接连结控制。具体来说，将由流量计2 检测出的过滤水的流量数据输入操作盘41的控制CPU(未图示)。控制CPU根据由流量计23e 检测出的流量数据进行PID (ProportionalIntegral Derivative)运算，根据该运算结果进行MF送液泵用变频器频率控制。由此，控制M F送液泵21b的电动机转速，从而改变原水向第IMF膜组件3A的供给量。另外，作为用于MF送液泵用变频器频率控制的PID运算，例如能够列举根据与设定值的偏差进行的输出运算，在本实施方式中，是用于将过滤水的流量维持为12. 5m3/h的输出运算。另外，将由压力传感器23f获取的RO送液泵23d的吸入侧的压力数据输入操作盘 41的控制CPU。控制CPU根据由压力传感器23f检测出的压力数据进行PID运算，而进行 RO送液泵用变频器频率控制。由此，控制RO送液泵23d的电动机转速，从而改变RO送液泵23d的排出量。另外，作为用于RO送液泵用变频器频率控制的PID运算，例如能够列举根据与设定值的偏差进行的输出运算，在本实施方式中，是用于将RO送液泵23d的吸入侧的压力维持为5米水柱的输出运算。通过进行上述MF-RO直接连结控制，例如在作为加压侧的第IMF膜组件3A的MF膜压差增大时，MF送液泵21b的转速上升而使过滤水的流量维持在12. 5m3/h。另一方面，在作为反洗对象的第2MF膜组件;3B的MF膜压差增大时，RO送液泵23d的转速上升而使吸入侧的压力维持在5米水柱，因此RO送液泵23d的排出量(反洗量)也继续保持在12. 5m3/ h。由此，能够防止在RO送液泵23d的吸入侧产生气蚀。接着，操作盘41将第2MF膜组件侧切换为过滤运转，将第IMF膜组件3A侧切换为反洗运转(步骤S3)。在此，操作盘41将第1阀V1、第3阀V3、第11阀Vn、第14阀V14 切换为关闭(关闭阀)，将第2阀V2、第4阀V4、第6阀V6、第10阀Vltl、第13阀V13切换为打开(打开阀)，而且，适当地打开第12阀V12。通过这些阀控制，加压侧切换为第2MF膜组件 3B，而且反洗对象切换为第IMF膜组件3A。S卩，在导入管线21中，与成为反洗对象的第IMF 膜组件3A相连接的流路关闭，与非反洗对象的第2MF膜组件;3B相连接的流路打开。另外， 成为在反洗管线四及清洗水排出管线25中，与成为反洗对象的第IMF膜组件3A相连接的流路打开，与第2MF膜组件;3B相连接的流路关闭的状态。在上述第IMF膜组件3A的反洗运转中，第2MF膜组件切换为过滤运转，利用第 2MF膜组件;3B获得的过滤水被供给到RO膜组件5。在此，供给到RO膜组件5的过滤水不透过RO膜组件5的RO膜fe而作为反洗水输送到反洗管线29，向第IMF膜组件3A的2次侧供给而进行MF膜3a的反洗，同时还进行第IMF膜组件3A的气水反洗。另外，利用药液供给部33适当地供给规定的药液，还进行第IMF膜组件3A的药洗处理。向第IMF膜组件3A的1次侧流出的过滤水通过清洗水排出管线25向废液容器(省略图示)排出。接着，操作盘41进行第IMF膜组件3A和第2MF膜组件的冲洗处理(步骤S4)。 在此，操作盘41将第4阀V4、第10阀Vltl、第12阀V12、第13阀V13切换为关闭(关闭阀)， 将第1阀V1及第7阀V7切换为打开(打开阀)。在上述冲洗处理中，向第IMF膜组件3A的1次侧和第2MF膜组件的1次侧双方都供给原水，冲洗残留在第IMF膜组件3A及第2MF膜组件的1次侧的清洗水、浊质等。 通过反复执行以上的步骤Sl 步骤S4的处理，来进行用于过滤处理的运转。另外，上述冲洗处理也可以在第IMF膜组件3A和第2MF膜组件各自的反洗工序之后交替进行。由此，能够可靠地去除反洗时浮游的浊质物质。接着，假定反洗对象为第2MF膜组件:3B、非反洗对象为第IMF膜组件3A的情况来说明本实施方式的过滤装置IA的作用及效果。另外，在本实施方式中，实现了在连接管线 (过滤液排出管线)23的RO送液泵23d下游侧配置RO膜组件5、反洗管线四经由RO膜组件5与连接管线(过滤液排出管线)23相连接的方式。在该情况下，在非反洗对象的第IMF膜组件3A中继续进行从原水获得过滤水的过滤运转。在该过滤运转中获得的过滤水在RO送液泵23d的驱动作用下被作为反洗水向第 2MF膜组件;3B的2次侧供给，透过了第2MF膜组件的MF膜3a的反洗水通过清洗水排出管线25排出。例如，在采用没有用中间容器等断开MF送液泵和RO送液泵的连接地在实际上连续的管线上配置MF送液泵和RO送液泵的结构的情况下，当平衡打破时可能在RO送液泵侧产生气蚀。但是，在本实施方式中，利用压力传感器23f检测RO送液泵23d吸入侧的过滤水的压力数据，根据检测出的压力数据控制RO送液泵23d的驱动，因此能够一边防止气蚀的产生于未然，一边驱动RO送液泵23d。其结果，能够实现在实际上连续的管线上配置MF 送液泵21b和RO送液泵23d的结构。其结果，能够连续地向第2MF膜组件供给过滤水， 因此不需要为了反洗而预先储存过滤水的清洗容器等，而能够实现小型化、紧凑化。另外，例如，在采用向成为反洗对象的MF膜组件直接供给利用非反洗对象的MF膜组件获得的过滤水的方式时，也考虑包括MF膜组件的常年的阻塞等，需要以正常所需压力以上的高压向MF膜组件供给原水，MF送液泵的负载也变大，而且，需要将MF膜组件的耐压特性提高到正常所需耐压特性以上。但是，在本实施方式中，借助RO送液泵23d供给利用第IMF膜组件3A获得的过滤水，因此根据成为反洗对象的第2MF膜组件的污浊(阻塞) 程度能够适当地提高供给压力。因而，不必将第IMF膜组件3A、第2MF膜组件的耐压特性提高至正常所需耐压特性以上，能够容易地实现并且在实用方面优良。另外，本实施方式的操作盘(控制单元)41自动控制RO送液泵23d的驱动，使得由压力传感器23f检测出的压力维持为规定的设定压力。因而，MF送液泵21b的原水的压入压力与RO送液泵23d的过滤水的引入压力达到平衡，能够一边抑制在RO送液泵23d产生气蚀，一边实现稳定的驱动。例如，当由于第IMF膜组件3A(非反洗对象)的阻塞、由MF送液泵21b供给的原水的流量变动而导致过滤水的压入压力比规定的设定压力低时，低速驱动RO送液泵23d， 反之当压入压力比规定的设定压力高时，高速驱动RO送液泵23d，从而能够取得平衡，因此能够防止在RO送液泵23d产生气蚀于未然，能够实现稳定的驱动[0092]另外，本实施方式的过滤装置IA在第IMF膜组件3A及第2MF膜组件与RO送液泵23d之间具有用于检测在连接管线(过滤液排出管线)23中流动的过滤水的流量的流量计23e，作为MF泵控制部45发挥功能的操作盘41根据由流量计2 检测出的流量控制 MF送液泵21b的驱动，从而向第2M F膜组件;3B供给规定流量的原液。因而，例如能够进行将在连接管线23中流动的过滤水的流量设为定量的定量运转，RO送液泵23d的吸入侧的压力易于稳定，能够更有效地防止气蚀的产生。而且，例如在需要将供给到MF膜组件的原水从1次侧排出时、例如在反洗后实施冲洗处理等时，采用与清洗水排出管线彼此独立地另外设置原水排出管线的方式，会与原水排出管线的部分相应地导致设备大型化。但是，在本实施方式的过滤装置IA中，能够将清洗水排出管线25用作原水排出管线，因此有利于装置的简单化、紧凑化。另外，本实施方式的第IMF膜组件3A、第2MF膜组件与RO膜(反渗透膜)fe相比具有大孔的MF膜3a，相当于前级膜组件。另外，具有RO膜fe的RO膜组件5相当于后级膜组件。RO膜组件5的1次侧与连接管线23相连接，并且2次侧与透过水排出管线27相连接，反洗管线四连接RO膜组件5的1次侧与第IMF膜组件3A、第2MF膜组件各自的 2次侧。而且，在反洗对象为第2MF膜组件;3B时，在反洗时在反洗管线四与第2MF膜组件 3B之间反洗管线四的流路打开，过滤水不透过RO膜fe而作为反洗水向第2MF膜组件;3B 的2次侧供给。采用本实施方式，不是直接向RO膜组件5供给原水，而是向RO膜组件5供给通过第IMF膜组件3A、第2MF膜组件中的至少一方预先去除了粒径比较大的杂质后的过滤水。因而，能够减少RO膜如的阻塞，同时能够提高装置整体的过滤处理能力。而且，RO送液泵23d不仅用作用于向肌膜如供给过滤水的高压泵，还兼用作向作为反洗对象的第2MF 膜组件3B压送反洗水的泵，因此设备负担减轻，有利于装置的小型化、紧凑化。第2实施方式接着，参照图10说明本实用新型的第2实施方式的过滤装置1B。另外，第2实施方式的过滤装置IB具有与第1实施方式的过滤装置IA相同的元件、构件等，对于与第1实施方式相同的元件、构件等，标记相同的附图标记并省略详细的说明。另外，在图10中，以第IMF膜组件3A中的1根为代表进行描述，另外，以第2MF膜组件中的1根为代表进行描述。在本实施方式的过滤装置IB中，取代连接管线23而设置过滤水排出管线(过滤液排出管线)51，过滤水排出管线51不是与RO膜组件相连接而是与反洗管线53相连接。 即，在本实施方式中，实现了在过滤水排出管线51的RO送液泵23d下游侧直接与反洗管线 53相连接的方式。过滤水排出管线51具有管路51a、51b，其具有规定的管径；RO送液泵23d，其用于向后工序的RO膜组件5 (未图示)压送过滤水。过滤水排出管线51的管路51a、51b隔着RO送液泵23d被分为上游侧管路51a和下游侧管路51b。上游侧管路51a的上游侧的一部分与第IMF膜组件3A和第2MF膜组件相对应地分支为两个方向，一个分支部与连接在第IMF膜组件3A上的第1过滤水排出集管9A相连接，另一个分支部与第2过滤水排出集管9B相连接。在一个分支部上设有开闭流路的第3阀V3，在另一个分支部上设有开闭流路的第4阀V4。[0100]另外，在一个分支部和另一个分支部的合流位置下游侧的部分设有用于检测在管路内流动的过滤水的流量的流量计23e。另外，上游侧管路51a的下游端与RO送液泵23d 的吸入部相连接，而且在RO送液泵23d的吸入部附近设有用于检测RO送液泵23d吸入侧的压力的压力传感器23f。反洗管线53具有管路53a、53b，该管路53a、5 具有规定的管径，该管路53a、53b 隔着与过滤水排出管线51的下游侧管路51b相连通的连接部分一侧为53a、另一侧为5 地被划分。一侧的管路53a与RO膜组件相连接。另外，在一侧的管路53a上设有开闭流路的第15阀V15。第15阀V15以能够发送接收控制信号的方式与操作盘41相连接，根据来自操作盘41的控制信号开闭。另外，第15阀V15能够采用假定由操作盘41进行自动控制、例如序列控制的电动阀等，但在采用手动进行切换时也可以是手动阀。反洗管线53的另一侧的管路5 与第IMF膜组件3A及第2MF膜组件相连接。 另一侧的管路的下游侧分支为两个方向，一个分支部与第1过滤水排出集管9A相连接，另一个分支部与第2过滤水排出集管9B相连接。在一个分支部上设有开闭流路的第10阀 Vltl，在另一个分支部上设有开闭流路的第11阀Vn。第2实施方式的过滤装置也与第1实施方式相同地在进行普通的过滤运转之后进行交替反洗处理。交替反洗处理最初使第IMF膜组件3A继续进行普通的过滤处理，将第2MF 膜组件3B切换为反洗运转。在第2MF膜组件;3B持续规定时间的反洗运转之后，将第2MF 膜组件3B切换为普通的过滤运转，将第IMF膜组件3A切换为反洗运转。然后，在第IMF膜组件3A持续规定时间的反洗运转之后，进行第IMF膜组件3A及第2MF膜组件的冲洗处理。采用本实施方式的过滤装置1B，利用压力传感器23f检测RO送液泵23d吸入侧的过滤水的压力数据，根据检测出的压力数据控制RO送液泵23d的驱动，因此与第1实施方式的过滤装置IA相同地能够一边防止气蚀的产生于未然，一边驱动RO送液泵23d。其结果，能够实现在实际上连续的管线上配置MF送液泵21b和RO送液泵23d的结构。其结果， 例如能够连续地向反洗对象的第2MF膜组件;3B供给过滤水，因此不需要为了反洗而预先储存过滤水的清洗容器等，而能够实现小型化、紧凑化。以上，根据各实施方式具体说明了本实用新型，但是本实用新型并不仅仅限定于上述各实施方式。例如，在上述实施方式中，作为前级膜组件例示了 MF膜组件，作为后级膜组件例示了 RO膜组件，但是并不仅仅限定于这种组合，例如也能够设为利用具有超滤膜或纳滤膜等的膜组件的装置。
权利要求1.一种过滤装置，其具有多个膜组件、用于向各上述膜组件的1次侧导入原液的导入管线、与各上述膜组件的2次侧相连接并且用于排出由上述膜组件过滤后的过滤液的过滤液排出管线，在反洗时，与成为反洗对象的上述膜组件相连接的上述导入管线的流路被关闭，其特征在于，该过滤装置具有原液供给泵，其设置在上述导入管线上，并且用于向上述膜组件供给规定流量的原液；过滤液压送泵，其设置在上述过滤液排出管线上，并且用于压送上述过滤液； 反洗管线，其使上述过滤液排出管线的上述过滤液压送泵下游侧与各上述膜组件的2 次侧相连接，并且在反洗时在该反洗管线与成为反洗对象的上述膜组件之间的流路被打开而使上述过滤液作为反洗液流动；清洗液排出管线，其与各上述模组件的1次侧相连接，并且在反洗时来自成为反洗对象的上述膜组件的流路被打开而排出透过了上述膜组件的上述反洗液；压力检测单元，其用于检测上述过滤液压送泵的吸入侧的上述过滤液的压力； 控制单元，其根据由上述压力检测单元检测出的压力来控制上述过滤液压送泵的驱动。
2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，上述控制单元自动控制上述过滤液压送泵的驱动，使得由上述压力检测单元检测出的压力维持为规定的设定压力。
3.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，该过滤装置在上述膜组件与上述过滤液压送泵之间还具有用于检测在上述过滤液排出管线中流动的过滤液的流量的流量检测单元，上述控制单元根据由上述流量检测单元检测出的流量来控制上述原液供给泵的驱动， 从而向上述膜组件供给规定流量的原液。
4.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，该过滤装置在上述膜组件与上述过滤液压送泵之间还具有用于检测在上述过滤液排出管线中流动的过滤液的流量的流量检测单元，上述控制单元根据由上述流量检测单元检测出的流量来控制上述原液供给泵的驱动， 从而向上述膜组件供给规定流量的原液。
5.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于， 上述清洗液排出管线也能够用作原液排出管线。
6.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于， 上述清洗液排出管线也能够用作原液排出管线。
7.根据权利要求3所述的过滤装置，其特征在于， 上述清洗液排出管线也能够用作原液排出管线。
8.根据权利要求4所述的过滤装置，其特征在于， 上述清洗液排出管线也能够用作原液排出管线。
9.根据权利要求1 8中任一项所述的过滤装置，其特征在于， 上述膜组件为与反渗透膜相比具有大孔的膜的前级膜组件， 该过滤装置还具有后级膜组件，其1次侧与上述过滤液排出管线相连接，并且具有用于使上述过滤液透过的反渗透膜；2次透过液排出管线，其与上述后级膜组件的2次侧相连接，并且用于排出透过了上述反渗透膜的2次透过液，上述反洗管线连接上述后级膜组件的1次侧和各上述前级膜组件的2次侧，并且在反洗时，在上述反洗管线与成为反洗对象的上述前级膜组件之间的流路被打开，使上述过滤液不透过上述反渗透膜而作为反洗液向上述前级膜组件的2次侧供给。
10.根据权利要求9所述的过滤装置，其特征在于，该过滤装置还具有浓缩液排出管线，其是从与上述后级膜组件的1次侧相连接的上述反洗管线分支出来的，并且在过滤时与大气连通，在反洗时封闭。
11.根据权利要求10所述的过滤装置，其特征在于，该过滤装置还具有能够将上述反洗管线的流路调整为规定的开度的阀。
专利摘要本实用新型的目的在于提供一种谋求装置的小型化、紧凑化、同时不要求膜组件的耐压特性等达到正常所需耐压特性以上就能够容易地实现且在实用方面也优良的过滤装置。在直接连接第1、第2MF膜组件(3A、3B)和RO膜组件(5)的连接管线(21)上，设有RO送液泵(23d)，在RO送液泵(23d)的吸入侧设有压力传感器(23f)。另外，RO膜组件(5)的1次侧与MF膜组件(3A、3B)的2次侧通过反洗管线(29)相连接。在反洗第2MF膜组件(3B)时，驱动控制RO送液泵(23d)使得吸入压力维持规定的设定压力。其结果，不需要中间容器等而有利于装置的小型化、紧凑化。
文档编号B01D61/58GK202096887SQ20112004439
公开日2012年1月4日 申请日期2011年2月21日 优先权日2010年3月1日
发明者扪垣龙男 申请人:旭化成化学株式会社