专利名称：一种过滤装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及硅片湿法处理领域，尤其涉及湿法处理设备中工艺腔内发生碎片后硅片残屑的过滤装置。
背景技术：
在硅片的湿法处理设备的工艺过程中，经常会遇到硅片在工艺腔内碎掉的问题。由于硅片非常薄，一旦碎片后，会产生许多细小且锋利的碎屑，这种情况发生后需立即停止设备并对设备工艺腔进行清理，由于湿法处理设备用到多种化学药液，因此在硅片碎掉的同时，会有一部分碎屑在化学药液的带动下通过工艺腔内的排液口排走，这样碎屑会进入到与工艺腔连接的阀体内部，造成对阀体的损坏。通常一个工艺腔排液口之后可能会接有
多个阀，如果碎屑对这些阀造成损坏会使得设备检修非常费时，而且湿法处理设备中用到的阀价格都比较昂贵，造成大量经济损失。
发明内容
(一)要解决的技术问题本发明的目的是，提供一种过滤装置，以解决湿法处理设备中工艺腔内发生碎片后，硅片碎屑的处理问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本发明提供了一种过滤装置，包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，所述进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接所述进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，所述排液口接头的一端连接所述排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，所述过滤件设置在所述进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。优选地，所述进液口接头和排液口接头均为直通接头或弯头。优选地，所述进液口接头的口径尺寸小于或等于所述排液口接头的口径尺寸。优选地，所述进液口接头连接件和排液口接头连接件的内壁均为光滑曲面，曲面的形式为圆锥面或带弧度面或不规则曲面。优选地，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接处的口径尺寸大于其与所述进液口接头连接处的口径尺寸，所述排液口接头连接件与所述进液口接头连接件连接处的口径尺寸大于其与所述排液口接头连接处的口径尺寸。 优选地，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件的连接方式为螺纹连接或焊接。优选地，所述进液口接头与所述进液口接头连接件以及所述排液口接头与所述排液口接头连接件的连接方式均为螺纹连接。所述螺纹连接的形式为NPT螺纹或RC螺纹等。优选地，所述过滤件开有多个细小的孔，所述孔为圆锥孔或圆柱孔或不规则曲面孔，其排列形式为环形阵列或矩形阵列或不规则阵列；所述多个孔的截面积之和等于所述工艺腔排液口的口径尺寸。优选地，所述过滤件与所述排液口接头连接件的连接方式为焊接或粘接。(三)有益效果本发明的过滤装置连接在工艺腔排液口和切换阀之间，当工艺腔内发生碎片后，硅片碎屑被化学药液带至过滤装置，通过过滤件将碎屑过滤掉，从而减少了碎屑对阀体的损害，在碎片后做维修时，只需对过滤装置进行维修、清理或更换，而不需要对过滤装置之后的阀做维修，这样降低了维修时间和维修成本，提高了阀的使用寿命。
图I为本发明实施例过滤装置的内部结构图；
图2为本发明实施例过滤装置的外部结构图；图3为本发明实施例过滤装置的实际连接图。图中，I :进液口接头；2 :进液口接头连接件；3 :排液口接头连接件；4 :排液口接头；5 :过滤件；6 :工艺腔；7 :工艺腔排液口接头；8 :连接管；9 :切换阀；10 :过滤装置。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于
附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。如图I所示,本实施例的过滤装置包括进液口接头I、进液口接头连接件2、过滤件
5、排液口接头连接件3和排液口接头4，进液口接头I的一端外接工艺腔6的排液口，其另一端连接进液口接头连接件2，进液口接头连接件2与排液口接头连接件3连接，排液口接头4的一端连接排液口接头连接件3，其另一端外接切换阀9，过滤件5设置在进液口接头连接件2和排液口接头连接件3之间。本过滤装置的进液口接头I和排液口接头4均为直通接头或弯头,其形状可以为圆柱管状或方形管状等其它形状，它们的口径尺寸范围控制在O. 125英寸 I英寸范围内，其中，进液口接头I的口径尺寸应小于或等于排液口接头4的口径尺寸，以便液体能及时排放。
本过滤装置的进液口接头连接件2和排液口接头连接件3的内壁均为光滑曲面，所述曲面的形式可以为圆锥面或带弧度面或不规则曲面等，其中，进液口接头连接件2与排液口接头连接件3连接处的口径尺寸大于其与进液口接头I连接处的口径尺寸，排液口接头连接件3与进液口接头连接件2连接处的口径尺寸大于其与排液口接头4连接处的口径尺寸；进液口接头连接件2与排液口接头连接件3的连接方式可以为螺纹连接或焊接。上述进液口接头I与进液口接头连接件2以及排液口接头4与排液口接头连接件3的连接方式均为螺纹连接，所述螺纹连接的样式可以为NPT螺纹或RC螺纹。本过滤装置的过滤件5开设有多个细小的孔，这些孔为圆锥孔或圆柱孔或不规则曲面孔等，其排列形式可以为环形阵列或矩形阵列或不规则阵列；所述的多个孔的截面积之和等于与进液口接头I连接的工艺腔排液口的口径尺寸；过滤件5与排液口接头连接件的连接方式可以为焊接或粘接。本过滤装置在工作时可以竖直放置、水平放置或带一定角度的倾斜放置。
本实施例的过滤装置应用于硅片湿法处理领域，其设置在硅片湿法处理设备的工艺腔和废液排放切换阀之间，当工艺腔内的硅片在工艺过程中发生碎片后，可通过本过滤装置将硅片的残屑先过滤掉，以阻止其对与工艺腔连接的阀体的损坏，提高阀的使用寿命的同时减少设备腔室维修和清理的时间。当然，在类似的领域或类似的设备中也可以应用本发明的过滤装置进行过滤。如图I所示，本实施例的过滤装置的内部工作过程为本过滤装置需连接在工艺腔和废液排放切换阀之间，通过进液口接头I与工艺腔排液口连接，通过排液口接头4与切换阀连接，当工艺腔内发生碎片后，硅片的碎屑首先通过工艺腔的排液口被化学药液带至本过滤装置内部,然后被过滤件5将碎屑过滤掉，过滤掉碎屑后的化学药液再通过本过滤装置的排液口接头4流至后续的阀体中。图2中示出了工艺腔6、工艺腔排液口接头7、连接管8、切换阀9，以及本实施例的过滤装置10。硅片在工艺腔6内部进行湿法处理，工艺腔6底部开有排液口以供不同种化学药液的排放，工艺腔6的排液口处设有工艺腔排液口接头7，工艺腔排液口接头7通过连接管8与过滤装置10的进液口接头I连接，过滤装置10的排液口接头4与切换阀9对应接头相连；一旦工艺腔6内部发生碎片后，硅片的碎屑会随着化学药液从工艺腔6的排液口流到过滤装置10内部，通过过滤装置10内部的过滤件5将碎屑过滤掉，被过滤掉碎屑后的化学药液通过过滤装置10的排液口 4再流经切换阀9时就不会对阀体造成损伤；在设备停机后做维修时，只需对过滤装置10进行维修、清理或更换，而不需要像以往的方法一样对切换阀9做维修。本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
权利要求
1.一种过滤装置，其特征在于包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，所述进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接所述进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，所述排液口接头的一端连接所述排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，所述过滤件设置在所述进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。
2.根据权利要求I所述的过滤装置，其特征在于所述进液口接头和排液口接头均为直通接头或弯头。
3.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于所述进液口接头的口径尺寸小于或等于所述排液口接头的口径尺寸。
4.根据权利要求I所述的过滤装置，其特征在于所述进液口接头连接件和排液口接头连接件的内壁均为光滑曲面，曲面的形式为圆锥面或带弧度面或不规则曲面。
5.根据权利要求4所述的过滤装置，其特征在于所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接处的口径尺寸大于其与所述进液口接头连接处的口径尺寸，所述排液口接头连接件与所述进液口接头连接件连接处的口径尺寸大于其与所述排液口接头连接处的口径尺寸。
6.根据权利要求5所述的过滤装置，其特征在于所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件的连接方式为螺纹连接或焊接。
7.根据权利要求1飞中任何一项所述的过滤装置，其特征在于所述进液口接头与所述进液口接头连接件以及所述排液口接头与所述排液口接头连接件的连接方式均为螺纹连接。
8.根据权利要求I所述的过滤装置，其特征在于所述过滤件开有多个细小的孔，所述孔为圆锥孔或圆柱孔或不规则曲面孔，其排列形式为环形阵列或矩形阵列或不规则阵列；所述多个孔的截面积之和等于所述工艺腔排液口的口径尺寸。
9.根据权利要求8所述的过滤装置，其特征在于所述过滤件与所述排液口接头连接件的连接方式为焊接或粘接。
全文摘要
本发明涉及硅片湿法处理领域，具体公开了一种过滤装置，其包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，排液口接头的一端连接排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，过滤件设置在进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。本发明通过过滤件将碎屑过滤掉，从而减少了碎屑对阀体的损害，在碎片后做维修时，只需对过滤装置进行维修、清理或更换，而不需要对过滤装置之后的阀做维修，这样降低了维修时间和维修成本，提高了阀的使用寿命。
文档编号B01D35/04GK102940991SQ20121045765
公开日2013年2月27日 申请日期2012年11月14日 优先权日2012年11月14日
发明者王波雷, 张豹, 贾星杰, 高 浩 申请人:北京七星华创电子股份有限公司