专利名称：一种尾气处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及尾气处理技术领域，特别涉及ー种尾气处理装置。
背景技术：
随着石油和煤等传统能源的日益匮乏，太阳能、热能和风能等緑色能源被不断开发和利用，随之产生了一系列的新型产业，如光伏、光纤、LED和多晶硅等产业。但是在上述产业生产エ艺过程中，会产生具有危害性的特种气体的尾气。该尾气的主要成分为PH3 (磷烷)、B2H6 (硼烷)、CH4 (甲烷)、NF3 (三氟化氮)等气体，其中大部分气体为易燃或助燃的有毒 气体。目前，该类行业并没有切实可行的对生产过程中产生的特种气体尾气的处理方法，通常采用直接排放的方式。然而，上述特种气体尾气的组成成分中的PHpB2H6和NF3均为有毒气体，对人体的危害较大，同时还存在易燃或助燃的性能，若将其直接排放会对空气造成极大的污染，随着人们环保意识的不断增强，这种做法显然是不可取的。因此，如何对特种气体进行分解，以避免直接排放对空气造成的污染，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的是提供ー种尾气处理装置，对特种气体进行分解，以避免直接排放对空气造成的污染。为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案ー种尾气处理装置，包括设置有出ロ和至少两个进气ロ，用于加热的高温加热筒，所述进气ロ的位置均高于所述出口的位置；进气端与所述高温加热筒的出口相连的干湿隔离装置，所述进气端设置有供保护气进入的侧口和供中和液进入的第一喷雾器；与所述干湿隔离装置的排气端相连，用于收集污水的污水收集箱；与所述干湿隔离装置的排气端相连，用于过滤烟尘的过滤室，所述过滤室设有用于排放气体的排气ロ。优选地，上述的尾气处理装置中，所述高温加热筒为双层高温加热筒，且中间设置有隔热层。优选地，上述的尾气处理装置中，所述高温加热筒内设置有加热管。优选地，上述的尾气处理装置中，还包括设置在所述高温加热筒内部，用于改变所述进气ロ风向的导流板，所述导流板分别设置在所述进气口下方，且各个所述导流板向下逐渐相互靠近。优选地，上述的尾气处理装置中，所述侧ロ的个数为两个，且对称分布。优选地，上述的尾气处理装置中，所述第一喷雾器向下倾斜伸入到所述干湿隔离装置的内部，所述第一喷雾器的个数为两个，且对称分布。优选地，上述的尾气处理装置中，所述干湿隔离装置为向下逐渐缩小的锥体装置。优选地，上述的尾气处理装置中，所述干湿隔离装置的排气端分别通过连接管的底部排污ロ与所述污水收集箱相连，通过所述连接管的侧边排气ロ与所述过滤室相连；所述连接管设有第二喷雾器。优选地，上述的尾气处理装置中，所述过滤室内设置有用于过滤粉尘的长纤维纺黏聚酯材料的密褶式过滤筒。优选地，上述的尾气处理装置中，还包括设置在所述尾气处理装置外侧的箱体壁组，所述箱体壁组包括顶部箱体壁和侧边箱体壁，其中，所述顶部箱体壁上设有与所述进气ロ相连的进气管和与所述排气ロ相连的排气管，所述侧边箱体壁上设置有操作面板和/或检修门。 从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供了ー种尾气处理装置，包括用于加热的高温加热筒、干湿隔离装置、污水收集装置和过滤室。其中，高温加热筒设置有出口和至少两个进气ロ，且进气ロ的位置均高于出ロ的位置；干湿隔离装置的进气端与高温加热筒的出口相连，且进气端设置有供保护气进入的侧口和供中和液进入的第一喷雾器；污水收集箱与干湿隔离装置的排气端相连；过滤室与干湿隔离装置的排气端相连，且过滤室设置有用于排放气体的排气ロ。工作时，为了防止尾气发生反应，将相互反应的特种气体尾气通过不同的进气ロ进入到高温加热筒，并在高温下发生分解反应，生成的气体和固体颗粒从出ロ进入到干湿隔离装置，通过保护气的搅动，与中和液的降温和吸收作用，使固体颗粒形成液滴并在重力作用下到达污水收集箱；而生成的气体在排气端进入到过滤室，并在过滤室内对残留的烟尘过滤，得到清洁的气体最終从排气ロ排出，上述过程完了对特种气体尾气的处理和排放过程。通过上述工作过程可知，将エ艺过程中生成的特种气体尾气分解为新气体和固体颗粒，且均为对人体无毒害的物质，生成的气体均为空气的组成成分，因此对经处理后的气体直接排放不会对空气造成污染，即有效降低了对环境的污染。
图I为本实用新型实施例提供的尾气处理装置的结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的高温加热筒的结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的干湿隔离装置的结构示意图；图4为本实用新型实施例提供的过滤室的结构示意图。其中，I为进气管、2为进气ロ、3为箱体壁组、4为导流板、5为高温加热筒、6为加热管、7为侧ロ、8为第一喷雾器、9为干湿隔离装置、10为第二喷雾器、11为污水收集箱、12为驱动装置、13为排气管、14为过滤筒、15为过滤室、16为连接管、17为溢流管、18为排污管、19为多孔板。
具体实施方式
本实用新型核心是提供一种尾气处理装置，对特种气体进行分解，以避免直接排放对空气造成的污染。为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，
以下结合附图和实施方式对本实用新型作进ー步的详细说明。请參考图1-4，本实用新型实施例公开了ー种尾气处理装置，包括设置有出口和至少两个进气ロ 2，用于加热的高温加热筒5，进气ロ 2的位置均高于出口的位置；进气端与高温加热筒5的出ロ相连的干湿隔离装置9，进气端设置有供保护气进入的侧ロ 7和供中和液进入的第一喷雾器8 ;与干湿隔离装置9的排气端相连，用于收集污水的污水收集箱11 ;与干湿隔离装置9的排气端相连，用于过滤烟尘的过滤室15，过滤室15设有用于排放气体的排气ロ。工作时，为了防止尾气发生反应，将相互反应的特种气体尾气通过不同的进气ロ 2进入到高温加热筒5，技术人员可以根据不同的尾气情况可以将烷类气体分为ー类，将与烷类反应的气体分为另ー类，或将相互发生反应的气体分为不同的类。特种气体在高温下发生分解反应，生成新气体和固体颗粒。在该装置内生成的气体和固体颗粒从出口进入到干湿隔离装置9，通过保护气的搅动，与中和液的降温和吸收作用，使固体颗粒形成液滴并在 重力作用下到达污水收集箱11 ;而生成的气体在排气端进入到过滤室15，并在过滤室15内对残留的烟尘过滤，得到清洁的气体最終从排气ロ排出，上述过程完了对特种气体尾气的处理和排放过程。通过上述工作过程可知，将エ艺过程中生成的特种气体尾气分解单质气体和固体颗粒，且均为对人体无毒害的物质，生成的单质气体均为空气的组成成分，因此对经处理后的气体直接排放不会对空气造成污染，即有效降低了对环境的污染。在具体实施例中，为了保证高温加热筒5内温度维持在恒定的范围内，防止高温加热筒5的内部与外界发生热交換，将高温加热筒5设置为双层高温加热筒，且在中间设置了隔热层。由于高温加热筒5内的特种气体尾气的分解需要維持一定的温度，如果高温加热筒5保温效果差，就需要给高温加热筒5持续加热，从而造成能源的浪费。本实用新型实施例中提供的对高温加热筒5的加热方式为在高温加热筒5内设置加热管6，根据不同的需要，可以将加热管6设置为电加热管或远红外加热管。由于电加热管的成本较低，优选的可使用电加热管加热，本实施例中将三个加热管6竖直的设置在高温加热筒5内。在具体工作过程中，根据处理的特种气体尾气的成分的不同，将高温加热筒5内的温度加热到不同的温度。对于特种气体尾气的成分为磷烷、硼烷、甲烷和三氟化氮等气体时，可将高温加热筒5内的温度加热到800度左右，即可保证上述气体均被分解。在上述技术方案上，为了提高高温加热筒5内的特种气体尾气的热分解效率，在高温加热筒5的内部设置了用于改变进气ロ 2风向的导流板4，上述导流板4分别设置在进气ロ 2的下方，且各个导流板4向下逐渐靠近。特种气体尾气从进气ロ进入到高温加热筒5内部，然后与导流板4发生碰撞并使特种气体尾气的运动方向发生改变，由于各个导流板4向下逐渐相互靠近，即不同进气ロ 2进入的特种气体尾气形成飓风式进气。飓风式进气可使特种气体尾气反应均匀，提高了热分解效率。分解后的特种气体尾气包括新生产的气体和固体颗粒，为了保证排放的气体较清洁，需要将新生产的气体和固体颗粒进行分离。因此设置了干湿隔离装置9，且在干湿隔离装置9上设置了供保护气进入的侧ロ 7和供中和液进入的第一喷雾器8。根据不同的特种气体尾气的成分，可选择不同的保护气和中和液。本具体实施例中，将保护气设置为氮气，将中和液设置为水，为了使高温加热筒5内分解后形成的固体颗粒与干湿隔离装置9内的中和液充分接触，即利用保护气的搅动，使固体颗粒最大限度的被中和液吸收，以保证后续排放的气体的清洁度，优选地实施例中，设置了两个侧ロ 7，且对称分布。本实施例中提供的第一喷雾器8有两个目的，其ー是对分解后生成的固体颗粒进行吸附收集，另ー个目的是对在高温加热筒5内分解后生成的高温气体和固体颗粒进行降温。为了使中和液在干湿分离装置9内填充均匀，具体实施例中将第一喷雾器8设置为向下倾斜伸入到干湿隔离装置9的内部，且该第一喷雾器8的个数为两个，对称分布在干湿分离装置9上。根据上述布置可使从第一喷雾器8喷出的中和液在干湿分离装置9内部形成均匀的涡流状液膜，有效增加了中和液与固体颗粒的接触面积，提高了尾气处理效果，同时更好的提高了降温效果。为了便于将干湿隔离装置9靠近外围的中和液和靠近中间部分的中和液混合均 匀，具体实施例中，将干湿隔离装置9设置为向下逐渐缩小的锥体装置。为了保证最终直接排放到空气中的气体的清洁度，需要对经过干湿分离装置9处理后的气体和悬浮液体进行不同的收集，因此，将干湿隔离装置9的排气端分别与污水收集箱11和过滤室15相连。具体实施例中，将排气端通过连接管16的底部排污ロ与污水收集箱11相连，通过侧边排气ロ与过滤室15相连。工作吋，固体颗粒根据重力的作用向下排放，到达污水收集箱11，该污水收集箱11的侧壁上设置有防止溢流的溢流管17，同时在污水收集箱11上还设置有用于将收集的污水排出的排污管18 ;聚集在上端的气体通过侧边排气ロ到达过滤室15内。为了进一歩降低气体中的固体颗粒的含量，在连接管16上设置了第二喷雾器10，用于对固体颗粒的收集，可以理解的是根据不同的特种气体尾气的成分，选择不同的液体，以达到对生成的固体颗粒和气体的中和。本实施例中使用液压泵作为驱动装置12为第一喷雾器8和第二喷雾器10的工作提供动力。本实施例公开的过滤室15内设置有用于过滤粉尘的长纤维纺黏聚酯材料的密褶式过滤筒14。即使对固体颗粒使用中和液进行收集也很难将极其细小的粉尘进行收集，由于长纤维纺黏聚酯材料的过滤精度可达到O. 2 μ m，且过滤效率可达99. 99%，因此具体实施例中在过滤室15内设置长纤维纺黏聚酯材料的过滤筒14，以完成对超细粉尘的过滤。为了便于维护和更换过滤筒14,本实施例中将过滤筒14设置为密裙式过滤筒,且在过滤筒14上方设置多孔板19，以便于对过滤筒14进行维护或更换，有效降低了生产成本。本领域技术人员可以理解的是，还可设置不同的过滤介质和不同结构的过滤筒14，且均在保护范围内。在实际使用时，需要给该尾气处理装置提供ー个工作空间，鉴于此，本实用新型实施例中提供的尾气处理装置还包括设置在该尾气处理装置外侧的箱体壁组3。其中，上述箱体壁组3包括设有与进气ロ 2相连的进气管I和与排气ロ相连的排气管13的顶部箱体壁和设置有操作面板和检修门侧边箱体壁。实际生产中，设置ー个顶部箱体壁和四个侧边箱体壁，且四个箱体壁上可分别设置操作面板或检修门，优选地，在位于正面的侧边箱体壁上设置触摸式操作界面，在其他三个侧边箱体壁上均设置检修门。为了快速连接，将进气管I与进气ロ 2之间和排气管13与排气ロ之间均通过快速接盘连接，还可以将高温加热筒5的出口与干湿隔离装置9的进气端通过快速连接盘连接，将连接管16的两端均通过快速连接盘与干湿隔离装置9的排气端和过滤室15相连。[0043]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相參见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定 义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括 设置有出口和至少两个进气口(2)，用于加热的高温加热筒(5)，所述进气口(2)的位置均高于所述出口的位置； 进气端与所述高温加热筒(5)的出口相连的干湿隔离装置(9)，所述进气端设置有供保护气进入的侧口(7)和供中和液进入的第一喷雾器(8); 与所述干湿隔离装置(9)的排气端相连，用于收集污水的污水收集箱(11)； 与所述干湿隔离装置(9)的排气端相连，用于过滤烟尘的过滤室(15)，所述过滤室(15)设有用于排放气体的排气口。
2.根据权利要求I所述的尾气处理装置，其特征在于，所述高温加热筒(5)为双层高温加热筒，且中间设置有隔热层。
3.根据权利要求I所述的尾气处理装置，其特征在于，所述高温加热筒(5)内设置有加热管(6)。
4.根据权利要求I所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括设置在所述高温加热筒(5)内部，用于改变所述进气口(2)风向的导流板(4)，所述导流板(4)分别设置在所述进气口(2)下方，且各个所述导流板(4)向下逐渐相互靠近。
5.根据权利要求I所述的尾气处理装置，其特征在于，所述侧口(7)的个数为两个，且对称分布。
6.根据权利要求I所述的尾气处理装置，其特征在于，所述第一喷雾器(8)向下倾斜伸入到所述干湿隔离装置(9)的内部，所述第一喷雾器(8)的个数为两个，且对称分布。
7.根据权利要求I所述的尾气处理装置，其特征在于，所述干湿隔离装置(9)为向下逐渐缩小的锥体装置。
8.根据权利要求I所述的尾气处理装置，其特征在于，所述干湿隔离装置(9)的排气端分别通过连接管(16)的底部排污口与所述污水收集箱(11)相连，通过所述连接管(16)的侧边排气口与所述过滤室(15)相连；所述连接管(16)设有第二喷雾器(10)。
9.根据权利要求1-8任一项所述的尾气处理装置，其特征在于，所述过滤室(15)内设置有用于过滤粉尘的长纤维纺黏聚酯材料的密褶式过滤筒(14)。
10.根据权利要求9所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括设置在所述尾气处理装置外侧的箱体壁组(3)，所述箱体壁组(3)包括顶部箱体壁和侧边箱体壁，其中，所述顶部箱体壁上设有与所述进气口(2)相连的进气管(I)和与所述排气口相连的排气管(13)，所述侧边箱体壁上设置有操作面板和/或检修门。
专利摘要本实用新型公开了一种尾气处理装置，包括设置有出口和至少两个进气口，用于加热的高温加热筒，进气口的位置均高于出口的位置；进气端与高温加热筒的出口相连的干湿隔离装置，进气端设置有供保护气进入的侧口和供中和液进入的第一喷雾器；与干湿隔离装置的排气端相连，用于收集污水的污水收集箱；与干湿隔离装置的排气端相连，用于过滤烟尘的过滤室，过滤室设有用于排放气体的排气口。将工艺过程中生成的特种气体尾气分解为新气体和固体颗粒，且均为对人体无毒害的物质，生成的气体均为空气的组成成分，因此对经处理后的气体直接排放不会对空气造成污染，即有效降低了对环境的污染。
文档编号B01D53/72GK202638248SQ20122020038
公开日2013年1月2日 申请日期2012年5月4日 优先权日2012年5月4日
发明者吴海华, 徐力, 连海洲 申请人:上海至纯洁净系统科技股份有限公司