辐射源与光刻设备的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，该辐射源燃料微滴流产生器包括容纳燃料毛细管以及压电致动器(500)。该方法包括分析包含该容纳燃料毛细管以及该压电致动器的系统的谐振频谱，尤其以寻找声学系统的谐振频率的改变，该改变可指示需要调查的该系统的属性的改变。
【专利说明】福射源与光刻设备
[0001] 相关申请的夺叉引用
[0002] 本申请要求于2012年3月7日提交且全文以引用方式并入本文中的美国临时申 请案61/607, 745的权益。
【技术领域】
[0003] 本发明涉及一种辐射源以及一种光刻设备。
【背景技术】
[0004] 光刻设备是将期望的图案施加至衬底上的机器，通常施加至衬底的目标部分上。 光刻设备例如可用于集成电路（1C)的制造中。在该情形下，图案形成装置，其或者被称作 掩膜或掩膜板，可用于产生待形成于1C的个别层上的电路图案。可将该图案转移至衬底 (例如，硅晶片）上的目标部分（例如，包含一个或多个管芯的部分）。通常经由成像向提 供在衬底上的辐射敏感材料（抗蚀剂）层上进行图案的转移。一般而言，单一衬底将含有 依次图案化的邻近目标部分的网络。
[0005] 光刻被广泛地认为是在1C以及其他器件和/或结构的制造中的关键步骤之一。然 而，随着使用光刻所制造的特征尺寸变得越来越小，光刻正在变为用于能够制造小型1C或 其他器件和/或结构的更具有决定性的因素。
[0006] 图案印刷的极限的理论估计可以经由针对解析度的瑞立（Rayleigh)准则给出， 如方程式（1)所示：
[0007]
【权利要求】
1. 一种监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，所述辐射源燃料微滴流产生器包 括容纳燃料毛细管以及附接至所述毛细管的压电致动器，所述方法包括分析包含所述容纳 燃料毛细管以及所述压电致动器的系统的谐振频谱。
2. 根据权利要求1所述的监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，进一步包括检 测所述谐振频谱的改变。
3. 根据权利要求2所述的监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，进一步包括分 析所述谐振频谱以检测由所述产生器的振动造成的所述频谱的改变。
4. 根据权利要求2所述的监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，进一步包括分 析所述谐振频谱以检测由所述毛细管的出口喷嘴的至少部分阻挡造成的所述频谱的改变。
5. 根据权利要求2所述的监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，进一步包括分 析所述谐振频谱以检测由所述毛细管的损害造成的所述频谱的改变。
6. 根据权利要求2所述的监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，进一步包括分 析所述谐振频谱以检测由所述压电致动器至所述毛细管的所述附接的强度的改变造成的 所述频谱的改变。
7. 根据前述权利要求中任一项所述的监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，进 一步包括在所述压电致动器的驱动电路中对信号进行采样。
8. 根据权利要求7所述的监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，其中在所述电 路的驱动侧对所述信号进行采样。
9. 根据权利要求7所述的监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，其中在所述电 路的共同侧对所述信号进行采样。
10. 根据权利要求2所述的监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，其中间歇地 分析所述谐振频谱。
11. 根据权利要求1至6中任一项所述的监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法， 其中连续地分析所述谐振频谱。
12. -种辐射源燃料微滴流产生器，包括：被配置为容纳燃料的毛细管、被紧固至所述 毛细管的压电致动器、被配置为驱动所述致动器的电路、以及分析器，所述分析器被配置为 分析包括容纳燃料毛细管以及所述压电致动器的系统的谐振频谱。
13. 根据权利要求12所述的辐射源燃料微滴流产生器，其中所述分析器包括被配置为 在所述驱动电路中对信号进行采样的采样器。
14. 根据权利要求13所述的辐射源燃料微滴流产生器，其中所述采样器包括频率响应 分析器。
15. 根据权利要求13或14所述的辐射源燃料微滴流产生器，其中所述采样器位于所述 驱动电路的驱动侧。
16. 根据权利要求13或14所述的辐射源燃料微滴流产生器，其中所述采样器位于所述 驱动电路的共同侧。
17. -种光刻投影设备，包括： 根据权利要求12至16中任一项所述的辐射源燃料微滴流产生器； 辐射产生器，被配置为从燃料微滴流产生辐射； 照明系统，被配置为调整辐射光束； 支撑件，被构造成支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够在所述辐射光束的横截 面中向所述辐射光束给予图案以形成图案化的辐射光束； 衬底台，被构造成保持衬底；以及 投影系统，被配置为将所述图案化的辐射光束投影至所述衬底的目标部分上。
18. -种器件制造方法，包括： 使用燃料微滴产生器产生燃料微滴流，所述燃料微滴产生器具有被配置为容纳燃料的 毛细管、附接至所述毛细管的压电致动器、被配置为驱动所述致动器的电路、以及被配置为 分析包括容纳燃料毛细管以及所述压电致动器的系统的谐振频谱的分析器； 从所述燃料微滴流产生辐射；以及 将图案化的辐射光束通过投影系统中的开口投影至衬底上。
【文档编号】B01L3/02GK104160337SQ201380012738
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2013年2月7日 优先权日:2012年3月7日
【发明者】A·肯彭, J·迪杰克斯曼, W·梅特斯洛姆 申请人:Asml荷兰有限公司