一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机的制作方法

文档序号:13924881阅读:252来源:国知局

本发明涉及一种设备,属于匀胶技术领域,更具体的说,本发明涉及一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机。



背景技术:

匀胶机又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们的原理是一样的,即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上。

但现有匀胶机托盘无法有效的阻挡胶液在甩动过程中渗入真空吸片口中,现有技术中基片与真空吸片口直接接触,匀胶机在高速旋转过程中,胶液受旋转离心力和表面张力的联合作用,被展开成一层薄膜,其中甩动过程中被甩出至基片边缘的胶滴,由于基片边缘与真空吸片口的压力差和胶体的表面张力的作用,部分基片边缘的胶滴会沿着硅片的背面被吸入真空吸片口中,从而堵塞真空吸片口,造成真空吸片口吸力不足,从而造成“飞片”现象或造成胶液薄膜的均匀性变差。



技术实现要素:

基于以上技术问题,本发明提供了一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机,从而解决了以往胶液进入真空吸片口堵塞真空吸片口,造成真空吸片口吸力不足,从而造成“飞片”现象或胶液薄膜均匀性变差的技术问题。

为解决以上技术问题,本发明采用的技术方案如下:

一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机,包括底座,

所述底座中设有转动电机,底座上设有转轴,转轴内设有真空泵,真空泵上端设有真空吸片口,真空吸片口上端设有托盘,托盘下端通过螺纹与转轴连接,托盘上部设有托盘盖,托盘内部设有多个储胶管,每个储胶管内沿长度方向设有多个倾斜挡片,倾斜挡片上下交错排列并留有缺口,所述储胶管内通过倾斜挡片形成曲线形的空气通道a;

所述托盘上端内侧设有卡槽,托盘盖为可拆卸的盖体,且托盘盖通过卡槽与托盘进行连接。

在以上技术方案基础上:所述真空吸片口与托盘之间留有间隙,并形成连通真空吸片口与托盘的空气通道b。

在以上技术方案基础上:所述多个储胶管并列连接在一起,且多个储胶管的底部与托盘的底部之间留有间隙并形成连通储胶管与托盘的空气通道c。

在以上技术方案基础上:所述托盘盖为均匀布满通孔的盖体。

综上所述,由于采用了上述技术方案,本发明的有益效果是:

1、本发明中,托盘与转轴之间通过螺纹连接,实现了托盘为一个可取托盘,便于将托盘取出进行清洗;

2、本发明中,托盘中设有多个带倾斜挡片的储胶管,储胶管中的倾斜挡片可以有效的阻挡甩出基片的胶液进入真空吸片口,从而造成真空吸片口的堵塞,导致真空吸片口吸力不足,进而造成“飞片”现象或胶液薄膜均匀性变差;

3、本发明中,托盘与托盘盖通过卡槽连接,可以将托盘与托盘盖进行分离,当储胶管中的胶液达到一定量时,可以将托盘盖取下,取出托盘中的储胶管更换新的储胶管,这样的结构保证了储胶管更换方便、快捷。

附图说明

图1是本发明的结构示意图;

图中标记分别为:1、底座;2、转动电机;3、真空泵,4、转轴;5、螺纹;6、托盘;7、卡槽;8、托盘盖;9、储胶管;10、倾斜挡片;11、真空吸片口;12、空气通道a;13、空气通道b;14、空气通道c。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步的说明。本发明的实施方式包括但不限于下列实施例。

具体实施例

如图1所示,一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机,包括底座1,

所述底座1中设有转动电机2,底座1上设有转轴4,转轴4内设有真空泵3,真空泵3上端设有真空吸片口11,真空吸片口11上端设有托盘6,托盘6下端通过螺纹5与转轴4连接,托盘6上部设有托盘盖8,托盘6内部设有多个储胶管9,每个储胶管9内沿长度方向设有多个倾斜挡片10,倾斜挡片10上下交错排列并留有缺口,所述储胶管9内通过倾斜挡片10形成曲线形的空气通道a12;

本实施例使用时,转动电机2带动转轴4转动,转轴4带动托盘6转动,在转动过程中,真空泵3工作,通过真空吸片口11在托盘盖8处产生的压力差将放置在托盘盖8的基片牢牢吸附,使基片随托盘6一起做高速转动,在转动过程中使基片上的胶液在离心力的作用下均匀的覆盖在基片上,从而到达匀胶的效果;同时,甩出基片的胶液在基片边缘与真空吸片口的压力差和胶体的表面张力的作用下进入储胶管9中,而不会直接进入真空吸片口中堵塞真空吸片口;托盘6与转轴4之间通过螺纹5进行连接,这样的连接方式便于将托盘6取下,对托盘6和真空吸片口11进行清洗;同时,当甩出基片的胶液在基片边缘与真空吸片口的压力差和胶体的表面张力的作用下进入储胶管9时,落入上方第一个倾斜挡片10与储胶管9之间的夹角中,部分未落入第一个夹角中的胶液继续下落,与第二块倾斜挡块10接触时被第二块倾斜挡块10阻挡,未被阻挡的胶液继续下落,落入最下方的倾斜挡块10与储胶管9之间的夹角中,这样经过几个过程的阻挡,甩出基片进入托盘6内部的胶液被储胶管9完全阻挡而不会进入真空吸片口11中堵塞真空吸片口11。

所述托盘6上端内侧设有卡槽7,托盘盖8为可拆卸的盖体,且托盘盖8通过卡槽7与托盘6进行连接;

本实施例使用时,托盘盖8通过卡槽7与托盘6连接,这样的连接方式方便在储胶管9中的胶液较多时,打开托盘盖8将托盘6中的储胶管9取出更换新的,这样的方式方便、快捷。

作为上述技术方案的进一步描述,所述真空吸片口11与托盘6之间留有间隙,并形成连通真空吸片口11与托盘6的空气通道b13,所述多个储胶管9并列连接在一起,且多个储胶管9的底部与托盘6的底部之间留有间隙并形成连通储胶管9与托盘6的空气通道c14,所述托盘盖8为均匀布满通孔的盖盖体;

本实施例使用时,所述多个储胶管9并列连接在一起,整个托盘6中都有储胶管9,且储胶管9之间没有间隙,这样可以保证甩出基片的胶液在基片边缘与真空吸片口的压力差和胶体的表面张力的作用下全部进入储胶管9中,而不会进入真空吸片口11中;所述匀胶机内部有空气通道a、空气通道b及空气通道c,且托盘盖8上布满通孔,这样可以保证真空吸片口11与托盘盖8之间有空气流通的通道,便于在真空泵3工作时在托盘盖8内外形成一个压强差,利用压强差将基片固定在托盘盖8上。

如上所述即为本发明的实施例。前文所述为本发明的各个优选实施例,各个优选实施例中的优选实施方式如果不是明显自相矛盾或以某一优选实施方式为前提,各个优选实施方式都可以任意叠加组合使用,所述实施例以及实施例中的具体参数仅是为了清楚表述发明人的发明验证过程,并非用以限制本发明的专利保护范围,本发明的专利保护范围仍然以其权利要求书为准,凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化,同理均应包含在本发明的保护范围内。



技术特征:

技术总结
本发明涉及一种可延长真空泵使用寿命的匀胶机,包括底座,所述底座中设有转动电机,底座上设有转轴,所述转轴内设有真空泵,所述真空泵上端设有真空吸片口,真空吸片口上端设有托盘,所述托盘下部通过螺纹与转轴连接,托盘上部设有托盘盖,所述托盘上端的内侧设有卡槽,托盘盖为可拆卸的托盘盖,且托盘盖通过卡槽与托盘进行连接;托盘内部设有储胶管,所述储胶管内设有倾斜挡片,倾斜挡片上下交错排列并有缺口,倾斜挡片与缺口共同形成一个曲线形的空气通道。本发明能够有效的避免被甩出至基片边缘的胶滴,被吸入真空吸片口中,从而堵塞真空吸片口,造成真空吸片口吸力不足,从而造成“飞片”现象或造成胶液薄膜的均匀性变差。

技术研发人员:章显红
受保护的技术使用者:成都融创智谷科技有限公司
技术研发日:2017.10.31
技术公布日:2018.03.13
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