含氟气体的分解除去剂,其制造方法,使用其的含氟气体除去方法,和回收氟资源的方法与流程

文档序号:19815806发布日期:2020-01-31 19:07阅读:来源:国知局

技术特征:

1.含氟气体除去剂,其为包含氧化铝和碱土金属化合物的含氟气体除去剂,质荷比为15的借由氨tpd-ms法所得的氨脱附曲线在不足200℃的范围内具有峰,且在200℃以上的范围内具有肩峰。

2.根据权利要求1所述的除去剂,其中上述肩峰存在于230~350℃的范围内。

3.根据权利要求1所述的除去剂,其中在质荷比为15的氨tpd-ms光谱测定中,在100~450℃的范围的温度脱附的氨量为每单位重量除去剂10.0~100.0mmol/kg。

4.根据权利要求1所述的除去剂,其中在质荷比为15的氨tpd-ms光谱测定中,当将在100~450℃的范围的温度脱附的氨量设为100时,在230~450℃的范围的温度脱附的氨量为35.0~55.0。

5.根据权利要求1所述的除去剂,其中氧化铝包括结晶性氧化铝。

6.根据权利要求5所述的除去剂,其中结晶性氧化铝在其x射线衍射图中在2θ=45~47°处具有单峰。

7.根据权利要求5所述的除去剂,其中结晶性氧化铝包括η氧化铝。

8.根据权利要求5所述的除去剂,其中结晶性氧化铝在其x射线衍射图中在2θ=42.6±0.5°处具有峰。

9.根据权利要求5所述的除去剂,其中结晶性氧化铝包括χ氧化铝。

10.根据权利要求1所述的除去剂,其中碱土金属化合物选自氧化镁、氧化钙、碳酸镁、碳酸钙、氢氧化钙和氢氧化镁中的至少一种化合物。

11.根据权利要求1所述的除去剂,其中铝原子:碱土金属原子的摩尔比为1:9~5:5。

12.根据权利要求1所述的除去剂,其中在铝原子按氧化铝(al2o3)进行换算,且碱土金属原子换算为其氧化物时,以除去剂总重量为基准,氧化铝与碱土金属氧化物的重量的合计为70重量%以上。

13.根据权利要求1所述的除去剂,其不含铝和碱土金属以外的金属元素。

14.根据权利要求1所述的除去剂,其中含氟气体选自氟化烃和全氟化合物。

15.根据权利要求14所述的除去剂,其中氟化烃选自chf3、ch2f2、ch3f、c2hf5、c2h2f4、c2h3f3、c2h4f2和c2h5f。

16.根据权利要求14所述的除去剂,其中全氟化合物选自cf4、c2f6、c3f8、c4f10、c4f8、c4f6、c5f12、c5f10、c5f8、sf6和nf3。

17.根据权利要求1所述的除去剂的制造方法,其包括以下步骤:

-将η氧化铝和/或χ氧化铝与碱土金属化合物和任选的分散介质混合和/或混炼;

-将获得的混合物成形;以及

-任选地对成形的混合物进行干燥和/或煅烧。

18.根据权利要求17所述的除去剂的制造方法,其中在100℃~150℃进行干燥。

19.根据权利要求17所述的除去剂的制造方法,其中在550℃~800℃进行煅烧。

20.根据权利要求1所述的除去剂的制造方法,其包括以下步骤:

-将三羟铝石和/或水铝矿与碱土金属化合物和任选的分散介质混合和/或混炼;

-将获得的混合物成形,并任选地进行干燥;以及

-对成形的混合物进行煅烧。

21.根据权利要求20所述的除去剂的制造方法,其中在100~150℃进行干燥。

22.根据权利要求20所述的除去剂的制造方法,其中在550~800℃进行煅烧。

23.分解含氟气体并将由分解生成的氟在除去剂中固定化的方法,其包括以下步骤:

-将根据权利要求1所述的除去剂加热到350~800℃的温度;以及

-一面保持上述温度,一面使含氟气体以100~1000h-1的空速流入上述除去剂中。

24.根据权利要求23所述的方法,其中上述温度为350~600℃。

25.分解并除去含氟气体的方法,其包括使含氟气体与根据权利要求1所述的除去剂在不从外部供给水和氧的情况下接触。

26.从含氟气体中回收氟的方法,其包括以下步骤:

-通过使含氟气体与根据权利要求13所述的除去剂接触来分解含氟气体,并将由分解生成的氟以碱土金属氟化物的形态在除去剂中固定化;

-任选地将固定化了氟的除去剂粉碎,并将碱土金属氟化物与氧化铝分离;以及

-利用可溶解碱土金属氟化物的溶液对固定化了氟的除去剂或者将其粉碎/分离而获得的碱土金属氟化物进行处理,从除去剂中分离氟。

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