有机溶剂的脱水装置及精制系统的制作方法

本实用新型涉及从有机溶剂和水的混合物中分离出水而进行有机溶剂的精制的精制装置，特别涉及使用渗透汽化膜等脱水膜进行有机溶剂的脱水的脱水装置、和具备这种脱水装置而进行有机溶剂的精制的精制系统。
背景技术：
：在有机溶剂中，有对水具有高溶解度的物质。在使用了这种水溶性的有机溶剂以后进行回收而再利用的情况下，因为大多回收有机溶剂和水的混合液，所以需要从该混合液中分离出成为再利用对象的有机溶剂进行精制。一直以来，作为从有机溶剂和水的混合液中分离出有机溶剂进行回收的方法之一，已知设备规模小即可并且节能性能优异的渗透汽化(pervaporation：pv)法。在渗透汽化法中，使用对成为分离处理对象的成分(例如，水分)具有亲和性的渗透汽化膜作为分离膜。将夹着分离膜时的一侧称为浓缩侧或浓缩室，将另一侧称为透过侧或透过室，通过将含有成为分离处理对象的成分的混合液(例如，有机溶剂和水的混合液)供给到分离膜的浓缩侧，且在分离膜的透过侧进行减压或者使惰性气体流动，从而利用分离膜中的各成分的透过速度差进行分离。作为用于使水分透过的分离膜，例如可使用沸石膜。如果仅水分通过分离膜向透过侧移动，则会在分离膜的浓缩侧残留有机溶剂，能够回收有机溶剂。特别将用于从有机溶剂中分离出水分进行有机溶剂的脱水的分离膜称为脱水膜。作为提高渗透汽化膜装置的分离性能的方法，有将分别具备渗透汽化膜的渗透汽化膜组件串联地连接的方法。作为从有机溶剂和水的混合液中回收有机溶剂进行精制的例子，可举出来自n-甲基-2-吡咯烷酮(以下，简称为nmp)和水的混合液、即nmp水溶液的nmp的回收。nmp对水具有高溶解性，例如，在锂离子二次电池的制造工序中，在将分散有电极活性物质等粒子的浆料涂布在电极集电体上且使其干燥而形成电极时，被广泛作为浆料的分散介质来使用。在使浆料干燥时，回收nmp，回收后的nmp能够在精制以后进行再利用。在nmp的回收中，汽化后的nmp通过例如水洗涤器来回收。因此，nmp以nmp水溶液的形式被回收。这时，回收后的nmp水溶液中的nmp浓度为70～90质量％左右。专利文献1公开有如下技术，即，在从锂离子二次电池的制造工序中回收的nmp水溶液中得到精制nmp的系统中，以将第一段的渗透汽化膜组件的浓缩侧出口与设置于第二段的渗透汽化膜组件的浓缩侧的入口连接的方式串联连接有两台渗透汽化膜组件，进行nmp水溶液的脱水。同样，专利文献2公开有一种从锂离子二次电池的制造工序中回收的nmp水溶液中得到精制nmp的系统，其串联连接有三台渗透汽化膜组件。在专利文献2的精制系统中，由上游的渗透汽化膜组件进行了脱水而浓缩后的nmp水溶液被供给到后级的渗透汽化膜组件，进一步去除水分。透过至各渗透汽化膜组件的透过室的透过蒸汽通过与透过室连接的热交换器来冷凝，成为透过水。下游的渗透汽化膜组件与上游的渗透汽化膜组件相比，水分的去除效率较低，向透过室漏出的nmp的量相对较多。因此，为了抑制nmp的损失，将由下游的渗透汽化膜组件生成的透过水再次供给到上游的渗透汽化膜组件。另外，与下游的渗透汽化膜组件连接的热交换器使用比上游的冷却液更低温的冷却液，来冷却透过蒸汽。由此，透过室的负压升高，下游的渗透汽化膜组件的水分去除效率升高。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015－071139号公报专利文献2：国际公开第2018/207431号技术实现要素：实用新型所要解决的技术问题在将有机溶剂的水溶液供给到渗透汽化膜装置进行有机溶剂的脱水，且进行有机溶剂的浓缩的情况下，在渗透汽化膜中，实际上存在有机溶剂的泄漏，所以在渗透汽化膜的透过侧，随着水也出现了些许有机溶剂。在渗透汽化膜以外的脱水膜中，也是同样的。在专利文献2公开的精制系统中，为了提高有机溶剂即nmp的回收率，在串联连接的三台渗透汽化膜组件中，对从第一段的渗透汽化膜组件的透过侧排出的气体进行冷却而得到的冷凝液中的nmp的含量相对较少，因此废弃该冷凝液。另一方面，由于对从第二段和第三段的渗透汽化膜组件的透过侧排出的气体进行冷却而得到的冷凝液中的nmp的含量相对较多，因此这里的冷凝液不废弃，而是使其向第一段的渗透汽化膜组件循环。将在渗透汽化膜装置的透过侧出现的有机溶剂废弃是指将与所废弃的有机溶剂相同量的有机溶剂追加到系统中的意思，所以会产生其相应的成本。进而，因为在废弃有机溶剂时，不能直接排放到环境中，所以也会产生与废弃处理相关的成本。因此，优选减少要废弃的有机溶剂的量。在将多个渗透汽化膜组件串联连接而进行有机溶剂的脱水的装置中，为了减少向装置外废弃的有机溶剂的量，只要规定运转条件以使得尽可能地仅将从前级的渗透汽化膜组件的透过侧出口排出的水分浓度高的部分废弃即可。但是，在这种运转条件下，由于从后级的渗透汽化膜组件的透过侧出口得到并向前级的渗透汽化膜组件循环的冷凝液的量增多，因此整体上需要增大渗透汽化膜装置、配管、冷凝器的规模，另外，会需要许多用于冷凝的冷却能量及用于冷凝液的再加热的热能。本实用新型的目的在于，提供一种有机溶剂的脱水装置和具备这种脱水装置的精制系统，该有机溶剂的脱水装置能够减少废弃到系统外的有机溶剂的量，同时能够减小装置规模，且能够降低能量消耗量。用于解决问题的技术方案本实用新型的脱水装置被供给有机溶剂和水的混合液，进行混合液的脱水，将浓缩后的有机溶剂排出，其具备：第一脱水膜组件，其具备脱水膜，供给有混合液；第一冷凝器，其使从第一脱水膜组件的透过室排出的成分以第一冷凝温度冷凝；第二冷凝器，其相对于第一冷凝器串联设置，供给有第一冷凝器中的未冷凝的气相成分，使气相成分以比第一冷凝温度低的第二冷凝温度冷凝，排出单元，其与第一冷凝器及第二冷凝器中的一个冷凝器连接，将由一个冷凝器产生的冷凝液排出到脱水装置的外部；循环单元，其与第一冷凝器及第二冷凝器中的另一个冷凝器连接，回收由所述另一个冷凝器产生的冷凝液，并使其向脱水装置的入口侧循环。基于有机溶剂与水的冷凝难易度之差来确定第一冷凝器和第二冷凝器中的哪个是一个冷凝器、哪个是另一个冷凝器。本实用新型的精制系统被供给含有有机溶剂和水的混合液，精制有机溶剂，其具有：加热器，其对从精制系统的外部供给的含有原液的混合液进行加热；过滤膜装置，其位于加热器的下游，从由加热器加热后的混合液中去除微粒；膜脱气装置，其位于过滤膜装置的下游，从由过滤膜装置去除了微粒后的混合液中去除溶解氧；本实用新型的脱水装置，其位于膜脱气装置的下游，供给有由膜脱气装置去除了溶解氧后的混合液。实用新型效果根据本实用新型，在将有机溶剂和水的混合物脱水而得到有机溶剂的浓缩液时，能够减少废弃到系统外的有机溶剂的量，同时能够减小装置规模，且能够降低能量消耗量。附图说明图1是表示精制系统的整体结构之一例的简要结构图。图2是脱水装置的简要结构图。图3是表示本实用新型的一个实施方式的脱水装置的结构的图。图4是表示另一实施方式的脱水装置的结构的图。图5是第一分析装置的简要结构图。图6是表示切换了容器后的状态的简要结构图。图7是表示进一步切换了容器后的状态的简要结构图。图8是表示容器的切换模式的示意图。图9是第二分析装置的简要结构图。图10是表示切换了容器后的状态的简要结构图。图11是表示进一步切换了容器后的状态的简要结构图。图12是表示进一步切换了容器后的状态的简要结构图。图13是表示容器的切换模式的示意图。图14是表示精制系统中的膜脱气装置和其周边的结构的图。图15是表示精制系统中的真空泵和其周边的结构的图。图16是说明耗材更换方法的图。图17是说明耗材的回收方法的图。图18是说明耗材的回收方法的示意图。具体实施方式接着，参照附图对本实用新型的实施方式进行说明。基于本实用新型的脱水装置是从有机溶剂和水的混合液中去除水而进行有机溶剂的脱水的装置，例如在进行有机溶剂的精制的系统中，用于得到脱水浓缩后的有机溶剂。因此，首先对基于本实用新型的脱水装置可应用即用于精制有机溶剂的精制系统进行说明。图1表示精制系统1的简要结构之一例。图中，cw表示冷却水，br1、br2表示载冷剂，st表示高温蒸汽。作为可通过图1所示的精制系统1来精制的有机溶剂，除甲醇、乙醇、2-丙醇等醇类以外，还可举出大气压(0.1013mpa)下的沸点比水的沸点(100℃)高、优选大气压下的沸点为渗透汽化膜装置的通常运转温度即120℃或其以上的有机溶剂。表1中表示这种有机溶剂的例子。[表1]名称沸点(℃)n-甲基-2-吡咯烷酮(nmp)2021-甲氧基-2-丙醇(pgme)120丙二醇-1-单甲醚-2-乙酸酯(pegmea)146吡啶115二甲基亚砜(dmso)189单乙醇胺(mea)170n,n-二甲基甲酰胺(dmf)153γ-丁内酯(gbl)204二甲基乙酰胺(dma)165下面，举出以有机溶剂为nmp来精制nmp水溶液的情况为例对精制系统1进行说明。精制系统1具有：从nmp水溶液中去除微粒、溶解氧、离子成分等的第一子系统100、由渗透汽化膜装置从去除了微粒、溶解氧、离子成分等的nmp水溶液中去除大部分水分而生成nmp浓缩液的第二子系统200、对nmp浓缩液进行蒸馏而生成nmp精制液的第三子系统300。下面，对各个子系统的结构进行说明。(第一子系统100)第一子系统100具有接收上述那样回收的处理对象nmp水溶液的接收部101。nmp水溶液通过与水洗涤器等nmp回收单元(未图示)连接的第一nmp水溶液供给管路l101，供给到接收部101即原液罐。接收部101具有多个容器(第一、第二、第三容器101a、101b、101c)，这些容器101a、101b、101c可根据向精制系统1供给的nmp水溶液的原液的接收、分析、移送等目的来切换。如果分析的结果没有问题，则nmp水溶液被移送到后级，接受精制处理，在不适合精制处理的情况下，移送到废液槽(未图示)内。接收部101经由第二nmp水溶液供给管路l102与去除nmp水溶液所含的微粒的第一精密过滤膜装置102连接。在第二nmp水溶液供给管路l102上设有压送nmp水溶液的泵107。第一精密过滤膜装置102设置于膜脱气装置103(后述)的上游，但也可以设置于膜脱气装置103的下游，即膜脱气装置103和离子交换装置104(后述)之间，或者，也可以设置于膜脱气装置103的上游、膜脱气装置103和离子交换装置104之间双方。第一精密过滤膜装置102经由第三nmp水溶液供给管路l103，与去除nmp水溶液的溶解氧的膜脱气装置103连接。如后所述，nmp水溶液在导入渗透汽化膜装置201之前，加热到120℃左右。在加热到了120℃左右的nmp水溶液中，nmp水溶液中所含的溶解氧变成过氧化氢，该过氧化氢有可能使nmp氧化且劣化。通过预先去除nmp水溶液中的溶解氧，能够抑制nmp的氧化。为了监测溶解氧的浓度，膜脱气装置103的入口管路l103和出口管路l104上设有溶解氧测定仪(未图示)。另外，在膜脱气装置103的入口管路l103上设有水分浓度测试仪和电阻率测试仪(均未图示)。在接收部101的下游的泵107和第一精密过滤膜装置102之间设有加热器108。向加热器108供给高温蒸汽，由高温蒸汽将nmp水溶液加热。在蒸汽配管上设有调节高温蒸汽的流量的流量调节阀v103。膜脱气装置103的脱气膜可由聚烯烃、聚四氟乙烯(ptfe)、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(pfa)、聚氨酯、环氧树脂等形成。nmp具有溶解一部分有机材料的性质，所以脱气膜优选由聚烯烃、ptfe或pfa形成。脱气膜优选为非多孔性。通过使在中空丝状的脱气膜的内部流动的nmp水溶液的溶解氧向由真空泵109制成负压的脱气膜的外部移动，从而进行脱气即溶解氧的去除。此外，也可以将氮气等惰性气体吹扫到脱气膜的外侧(气体透过侧)而降低氧分压，还可以组合使用真空法和吹扫法。膜脱气装置103经由第四nmp水溶液供给管路l104，与去除nmp水溶液的离子成分的离子交换装置104连接。在离子交换装置104中，单床地填充有阴离子交换树脂或阳离子交换树脂，或者混床或多层床地填充有阴离子交换树脂和阳离子交换树脂。此外，离子交换树脂的种类也可以为凝胶型、mr型中的任一种。离子交换装置104经由第五nmp水溶液供给管路l105，与第二精密过滤膜装置105连接。第二精密过滤膜装置105捕捉有可能从离子交换装置104流出的树脂，防止树脂向下游流出。第二精密过滤膜装置105经由第六nmp水溶液供给管路l106，与初级处理液槽106连接。初级处理液槽106接收由第一精密过滤膜装置102、膜脱气装置103、离子交换装置104及第二精密过滤膜装置105处理后的nmp水溶液，且将所接收的nmp水溶液供给到渗透汽化膜装置201。以下，有时将储备在初级处理液槽106中，且向渗透汽化膜装置201供给的nmp水溶液称为初级处理液。在离子交换装置104的入口管路l104和出口管路l105上设有电阻率测试仪(未图示)。在由离子交换装置104处理后的nmp水溶液的电阻率小于规定值的情况下，即在离子成分未被充分去除时，能够使nmp水溶液沿着穿过离子交换装置104的环路而循环。具体而言，设有从第五nmp水溶液供给管路l105分支并与接收部101连接的返回管路l107。通常，打开第五nmp水溶液供给管路l105的阀v101，关闭返回管路l107的阀v102，但在nmp水溶液的电阻率小于规定值的情况下，关闭第五nmp水溶液供给管路l105的阀v101，打开返回管路l107的阀v102。由此，形成穿过接收部101、第一精密过滤膜装置102、膜脱气装置103、离子交换装置104的循环环路。通过nmp水溶液沿着该循环环路而流动，充分去除nmp水溶液所含的离子成分。此外，在上述的由膜脱气装置103处理后的nmp水溶液的溶解氧大于规定值的情况下，即在溶解氧未被充分去除时，也能够使nmp水溶液沿着上述的穿过离子交换装置104的环路而循环。由此，nmp水溶液所含的溶解氧也被充分去除。(第二子系统200)去除了微粒、溶解氧、离子成分且贮存在初级处理液槽106内的初级处理液接着被供给到第二子系统200中，生成去除了大部分水分的nmp浓缩液。初级处理液槽106经由第七nmp水溶液供给管路l201，与渗透汽化膜装置201连接。在第七nmp水溶液供给管路l201上设有泵224和阀v201。在第七nmp水溶液供给管路l201上设置有使用外部蒸汽的第一加热器205和位于第一加热器205的上游(初级侧)的废热回收热交换器206，通过这些第一加热器205及废热回收热交换器206，nmp水溶液被加热到120℃左右。通过将向渗透汽化膜装置201供给的nmp水溶液加热到120℃左右，能够提高渗透汽化膜装置201的脱水性能。废热回收热交换器206在第七nmp水溶液供给管路l201内流动的nmp水溶液和在nmp浓缩液排出管路l204内流动的nmp浓缩液之间进行热交换。第一加热器205通过从外部蒸汽源(未图示)供给的高温蒸汽，将nmp水溶液加热。在第一加热器205的蒸汽供给管路上设有用于调节蒸汽供给量的阀v202。在第一加热器205的下游设有温度警报显示器223。基于由温度警报显示器223检测出的温度，调节阀v202的开度，将nmp水溶液的温度控制到120℃左右。在第七nmp水溶液供给管路l201的废热回收热交换器206的上游设有流量警报显示器225。基于由流量警报显示器225检测出的流量，调节阀v201的开度，将nmp水溶液的流量控制在规定的范围内。渗透汽化膜装置201具有串联连接的多个渗透汽化膜组件202、203、204。在这里所示的例子中，三台渗透汽化膜组件即第一渗透汽化膜组件202、第二渗透汽化膜组件203、第三渗透汽化膜组件204从上游向下游依次串联连接，但台数不限定于三台。第一渗透汽化膜组件202经由第一连接管路l202，与第二渗透汽化膜组件203连接。第二渗透汽化膜组件203经由第二连接管路l203，与第三渗透汽化膜组件204连接。第一至第三渗透汽化膜装置202、203、204由分离膜(渗透汽化膜)202c、203c、204c划分为上游侧的浓缩室202a、203a、204a和下游侧的透过室202b、203b、204b。因为分离膜202c、203c、204c对水具有亲和性，所以使水以比nmp大的透过速度透过分离膜202c、203c、204c。通过将透过室202b、203b、204b侧设为负压，透过速度大的水与透过速度小的少量nmp一同以蒸汽(气相)的形态向透过室202b、203b、204b移动，大部分nmp残留在浓缩室202a、203a、204a中。利用该原理，从nmp水溶液中去除一部分水分，生成nmp水溶液的浓缩液。在第三渗透汽化膜组件204的出口处，得到nmp浓度升高到了99.99％左右的nmp浓缩液(水分低于0.01％)。nmp水溶液依次流过第一至第三渗透汽化膜组件202、203、204，逐渐去除nmp水溶液中的水分。为了维持水分的去除效率，在第一连接管路l202和第二连接管路l203上分别设有第二加热器207和第三加热器208。第二及第三加热器207、208与第一加热器205同样，都是热交换器，通过从外部蒸汽源供给的高温蒸汽，将nmp水溶液加热到120℃左右。在第二及第三加热器207、208的蒸汽供给管路上分别设有用于调节蒸汽供给量的阀v203、v204。从第三渗透汽化膜组件204排出的nmp浓缩液穿过nmp浓缩液排出管路l204，被供给到第三子系统300的中继槽301中。如上所述，在nmp浓缩液排出管路l204内流动的nmp浓缩液通过废热回收式热交换器206，在与在第七nmp水溶液供给管路l201内流动的nmp水溶液之间进行热交换，对nmp水溶液进行预热。设有从nmp浓缩液排出管路l204分支并与初级处理液槽106连接的nmp浓缩液的返回管路l215。通常打开nmp浓缩液排出管路l204的阀v205，关闭返回管路l215的阀v206，nmp浓缩液被供给到中继槽301中。另一方面，在不能向中继槽301供给nmp浓缩液的情况下等，关闭阀v205，打开阀v206，nmp浓缩液返回到初级处理液槽106中。此外，在将nmp浓缩液送回到初级处理液槽106中的情况下，通过设置于返回管路l215的冷却器226，利用冷却水进行冷却以使nmp浓缩液的温度达到与nmp水溶液(初级处理液)的温度同程度。第一至第三渗透汽化膜组件202、203、204的透过室202b、203b、204b分别通过第一至第三透过液排出管路l206、l209、l212，与第一至第三透过液罐214、215、216连接。在第一至第三透过液罐214、215、216的上部，设有对透过室202b、203b、204b施加负压，且可将透过室202b、203b、204b的内部维持为负压的第一至第三真空泵217、218、219。气相的水和少量的nmp通过冷却水或载冷剂被冷凝成透过液，被收集到第一至第三透过液罐214、215、216的底部。第一至第三透过液罐214、215、216能够暂时贮存透过液。具体而言，冷却水cw及载冷剂br1、br2分别在覆盖第一至第三透过液罐214、215、216的周围的冷却套(未图示)内流动，对气相的水及nmp进行保冷，进而穿过冷却管路l207、l210、l213，被供给到设置于第一至第三透过液排出管路l206、l209、l212的第一至第三热交换器211、212、213中，使气相的水及nmp冷凝。载冷剂br1、br2的温度优选为0～－20℃左右。第一至第三热交换器211、212、213分别经由第一至第三透过液排出管路l206、l209、l212，与第一至第三渗透汽化膜组件202、203、204的透过室202b、203b、204b连通。第一至第三热交换器211、212、213是对透过到透过室202b、203b、204b的透过蒸汽进行冷却、冷凝，生成透过液的冷却器。透过室202b、203b、204b在第一至第三热交换器211、212、213的下游与第一至第三透过液罐214、215、216连通。在第一至第三透过液罐214、215、216的底部，分别连接有第一至第三透过水排出管路l208、l211、l214。在第一至第三透过液罐214、215、216的上部，分别连接有从后述的惰性气体供给母管l401分支的惰性气体供给管路l406a、406b、406c。冷凝后的水和少量的nmp暂时贮存在第一至第三透过液罐214、215、216中，通过由从惰性气体供给管路l406a、406b、406c供给的惰性气体对第一至第三透过液罐214、215、216的内部进行加压，从第一至第三透过液罐214、215、216排出。从第一透过液罐214排出的透过水被排出到废液槽中，从第二及第三透过液罐215、216排出的透过水如后所述被再利用。冷却了被收集在第一透过液罐214中的气相的水和少量的nmp以后的冷却水cw被排出到第一冷却水排出管路l220中。在第一冷却水排出管路l220内流动的冷却水的一部分穿过从第一冷却水排出管路l220分支的冷却水排出管路l221，被供给到设置于第二透过水排出管路l211的热交换器220中，对在第二透过水排出管路l211内流动的含有nmp的透过水进行加热。冷却水的其余部分被供给到设置于第三透过水排出管路l214的热交换器221中，对在第三透过水排出管路l214内流动的含有nmp的透过水进行加热。在第二及第三透过水排出管路l211、l214的热交换器220、221的下游，设有测量水分浓度、流量等的测量仪222、223。最上游的渗透汽化膜组件即第一渗透汽化膜组件202具有由cha型、t型、y型或mor型的沸石构成的渗透汽化膜202c。最上游的渗透汽化膜组件以外的渗透汽化膜组件即第二及第三渗透汽化膜组件203、204具有由a型沸石构成的渗透汽化膜203c、204c。a型沸石虽然比较便宜且脱水性能高，但在对水分浓度高的nmp水溶液进行处理的情况下，容易发生泄漏或性能降低。与此相对，a型以外的沸石能够在上述环境下更长期地保持性能。因此，对含有10～20重量％的水的nmp水溶液进行处理的第一渗透汽化膜组件202的渗透汽化膜202c使用cha型、t型、y型或mor型的沸石，对水分含量少的nmp水溶液进行处理的第二及第三渗透汽化膜组件203、204的渗透汽化膜203c、204c使用a型沸石。应予说明，构成第一渗透汽化膜组件202的多个渗透汽化膜不需要全都由cha型、t型、y型或mor型的沸石构成，一部分膜也可以由a型沸石构成。在第三透过液排出管路l212上设有冷却器209和机械增压泵210。冷却器209对从第三渗透汽化膜组件204排出的透过液进行预冷。机械增压泵210及冷却器209为对第三渗透汽化膜组件204的透过室204b施加大的负压而设置。因为向第三渗透汽化膜组件204供给的nmp水溶液的水分含量非常少，所以通过除由第三真空泵219以外还由机械增压泵210施加足够的负压，能够有效地将水从nmp水溶液中分离。冷却器209及机械增压泵210可省略。另外，也可在冷却器209和机械增压泵210之间设置用于储备由冷却器209冷凝的透过水的容器(未图示)。第二及第三渗透汽化膜组件203、204的透过液被回收到渗透汽化膜装置201的上游侧。具体而言，第二及第三透过液排出管路l211、l214与透过液回收管路l205连接，透过液回收管路l205与初级处理液槽106连接。从第二及第三透过液排出管路l211、l214排出的透过液因为nmp的含量比从第一透过液排出管路l208排出的透过液高，所以通过回收该透过液，能够提高nmp的回收率。回收透过液的渗透汽化膜组件不限定于第二及第三渗透汽化膜组件203、204，只要至少最下游的渗透汽化膜组件(第三渗透汽化膜组件204)的透过液被回收到渗透汽化膜装置201的上游侧即可。透过液也可以回收到接收部101，还可以通过在透过液回收管路l205上设置分支管路(未图示)，有选择地回收到初级处理液槽106和接收部101。(第三子系统300)由第二子系统200生成的nmp浓缩液被去除了大部分水分。但是，nmp浓缩液因为少量含有色度成分、或从渗透汽化膜组件溶出的渗透汽化膜202c、203c、204c的微粒及离子成分，所以会进一步被位于渗透汽化膜装置201的下游的第三子系统300蒸馏，生成nmp精制液。第三子系统300因为通过对nmp浓缩液进行蒸馏、冷凝而生成nmp的精制液，所以作为nmp浓缩液的蒸馏精制装置发挥功能。应予说明，下述的第三子系统300使用单级蒸馏方式，但只要能够对nmp浓缩液进行蒸馏，则蒸馏方法没有限定。例如，也可使用精密蒸馏方式。其中，从能量消耗少、装置尺寸小、操作简单等理由出发，优选单级蒸馏方式。另外，在单级蒸馏方式中，从能够防止热劣化的观点来看，特别优选这里所示之例所使用的减压单级蒸馏方式。如上所述，nmp浓缩液临时储备在中继槽301中。第三子系统300是从第二子系统200中独立出来的子系统，例如，有时在第二子系统200的运转中进行暂时停止第三子系统300的运转这样的运用。因此，通过设置中继槽301，能够将第二子系统200和第三子系统300一边维持彼此的独立性一边更灵活地运用。中继槽301经由第一nmp浓缩液供给管路l301与再生器302连接。在第一nmp浓缩液供给管路l301上设有泵306和阀v301。再生器302是热交换器，在与后述的由蒸发罐303蒸发的nmp浓缩液(以下，称为nmp精制气体)之间进行热交换。由此，能够降低蒸发罐303的热负荷。再生器302经由第二nmp浓缩液供给管路l302与蒸发罐303连接。蒸发罐303通过从外部蒸汽源(未图示)供给的高温蒸汽，对nmp浓缩液进行加热使其蒸发。在蒸发罐303的蒸汽供给管路上设有用于调节蒸汽供给量的阀v302。在蒸发罐303的底部滞留有高温的液相的nmp浓缩液，在其上部形成有去除了微粒的气相的nmp精制气体。因为液相的nmp浓缩液所含的色度成分也难以蒸发，所以蓄积在蒸发罐303的底部。此外，这里作为本实施方式的蒸发罐303，以下以液膜下流式蒸发罐为例进行说明，但也可以使用液膜下流式以外的蒸发罐，例如闪蒸式、排管加热器式等的蒸发罐。在蒸发罐303的底部和顶部连接有循环管路l303，包含蒸发罐303在内的循环路径由循环管路l303形成。在循环路径上，重复进行如下循环，即，将液相的nmp浓缩液取出而返回到蒸发罐303中，通过液膜下流的方式再次进行加热。在蒸汽取出罐304(后述)的底部设有与循环管路l303汇合的nmp浓缩液取出管路l306。滞留于蒸汽取出罐304的底部的nmp浓缩液也穿过nmp浓缩液取出管路l306和循环管路l303，返回到蒸发罐303中，再次被加热。在循环管路l303上设有循环泵307和阀v303。从循环管路l303中分支出设有阀v304的nmp浓缩液的杂质排出管路l309。蒸发罐303的nmp精制气体被从蒸发罐303的气相部取出，通过第一nmp精制气体取出管路l304，取出到蒸汽取出罐304中。蒸汽取出罐304经由第二nmp精制气体取出管路l305，与再生器302连接。nmp精制气体的热量在再生器302中与液相的nmp浓缩液进行热交换。从再生器302出来的nmp精制气体进一步通过第三nmp精制气体取出管路l307，导入到冷凝器305中，通过冷却水cw，冷凝成nmp精制液。在冷凝器305的内部，在底部储备有nmp精制液，其上成为由nmp精制气体构成的气相部。冷凝器305的气相部通过负压管路l310，与真空泵309连通，冷凝器305的气相部由真空泵309制成负压。包含蒸发罐303在内的第三子系统300的气相部也由真空泵309制成负压，在蒸发罐303中，进行减压蒸发。由此，促进nmp浓缩液的蒸发。在负压管路l310的冷凝器305和真空泵309之间设有气体冷却器310，对从冷凝器305向真空泵309排出的、含有nmp精制气体的气体进行冷却。冷凝器305的冷却水被排出到与冷凝器305连接的冷却水排水管路l311中。在冷却水排水管路l311上设有热交换器311，在杂质排出管路l309内流动的nmp浓缩液在排出之前由热交换器311冷却。在冷凝器305的出口处连接有nmp精制液取出配管l308。nmp精制液通过设置于nmp精制液取出配管l308的泵308，被输送到分配部311。分配部311与接收部101同样地具有多个容器(第一、第二及第三容器311a、311b、311c)，这些容器311a、311b、311c可根据从精制系统1分配的nmp精制液的接收、分析、移送等目的来切换。如果分析结果没有问题，则nmp精制液穿过排出管路l312，被移送到锂离子二次电池的制造系统中，在该制造系统中被再利用。在有问题的情况下，nmp精制液被移送到废液槽(未图示)中。(惰性气体供给单元)本实施方式的精制系统1还具备惰性气体供给单元，该惰性气体供给单元由惰性气体填充容器的气相部。如上所述，在渗透汽化膜装置201的上游及下游设有储备nmp水溶液、nmp浓缩液或nmp精制液的各种容器。这些容器中的一些容器在内部形成nmp水溶液、nmp浓缩液或nmp精制液和气相部的界面。作为满足该条件的容器，可举出以下这些。(1)nmp水溶液的接收部101的第一至第三容器101a、101b、101c(2)初级处理液槽106(3)中继槽301(4)再生器302(5)蒸发罐303(6)蒸汽取出罐304(7)冷凝器305(8)nmp精制液的分配部311的第一至第三容器311a、311b、311c现有的容器(在与惰性气体供给单元有关的以下记载中，容器是指容器101a、101b、101c、106、301、302、303、304、305、311a、311b、311c)的气相部由空气形成。但是，发明人员发现，在这些容器中填充有空气的情况下，nmp就会与气相部的空气结合，生成nmp的过氧化物(nmp－o－o－h；5-氢过氧基-1-甲基-2-吡咯烷酮)。当nmp的过氧化物被蓄积时，有可能发生爆炸。因此，在本实施方式中，在这些容器内设有惰性气体供给单元。作为惰性气体，优选使用氮气，也可使用氩气。惰性气体供给单元由下述的惰性气体供给母管l401、从母管l401分支且向各容器供给惰性气体的惰性气体供给管路、设置在各惰性气体供给管路上的气体密封单元构成。具体而言，在惰性气体的供给源(未图示)上连接有惰性气体供给母管l401，惰性气体供给母管l401与接收部101、初级处理液槽106、中继槽301、分配部311分别通过惰性气体供给管路l402、l403、l404、l407连接。惰性气体供给管路l402、l403、l404、l407与容器的顶部连接。在惰性气体供给管路l402、l403、l404、l407上分别设有气体密封单元u402、u403、u404、u405。进而，在冷凝器305(更准确地说，是气体冷却器310)和真空泵309之间的负压管路l310上连接有吹扫用的惰性气体供给管路l405。惰性气体从惰性气体供给管路l405被供给到冷凝器305中，进而穿过管路l307、l302、l304、l305，也向再生器302、蒸发罐303及蒸汽取出罐304供给惰性气体。虽然省略了图示，但在再生器302、蒸发罐303、蒸汽取出罐304上也可设置同样的真空泵和吹扫用的惰性气体供给管路。惰性气体在精制系统1最初运行时被填充于容器。这时，因为容器的内部充满空气，所以通过气体密封单元u402、u403、u404、u405将惰性气体送入容器内，强制地将容器内部的空气置换为惰性气体。气体密封单元u402、u403、u404、u405当下游侧的容器的压力降低时就自动打开，将惰性气体填充在容器内。因此，当容器内的nmp水溶液、nmp浓缩液及nmp精制液的量降低时，容器的压力就下降，经由气体密封单元u402、u403、u404、u405向容器内补充惰性气体。对于其他气体密封单元也同样。通过在容器内填充惰性气体，不仅能够降低nmp过氧化物的爆炸的可能性，还能够抑制向容器内的nmp水溶液、nmp浓缩液及nmp精制液中溶入的水分量及溶解氧量。其结果，能够减轻渗透汽化膜组件的负荷。另外，因为容器内几乎不存在氧，所以也可得到防止nmp水溶液、nmp浓缩液及nmp精制液的氧化的效果。(关于第一子系统100中的加热器108的设置位置)如上所述，在本实施方式中，在接收部101的下游的泵107和第一精密过滤膜装置102之间设有加热器108。接收部101接收从锂离子二次电池的制造设备供给的nmp水溶液的原液和从返回管路l107返回的nmp水溶液。因此，加热器108对含有从精制系统1的外部供给的原液的nmp水溶液进行加热。nmp水溶液的原液有可能通过各种方法供给到精制系统1中。例如，在锂离子二次电池的制造设备具备nmp水溶液的原液的储备槽的情况下，原液被从储备槽中送来。但是，储备槽有可能设置在实施有温度管理的环境中，也有可能设置在室外等未实施温度管理的环境中。特别是在后者的情况下，原液的温度也有可能因季节而大大地波动。另一方面，因为nmp水溶液的原液在低温下粘性会增加，所以当供给低温的原液时，在第一精密过滤膜装置102或膜脱气装置103等具备膜的装置、及填充有离子交换树脂的离子交换装置104中，压力损失有可能增加。其结果，不能确保规定的流量，有可能招致处理量的降低。在本实施方式中，如上所述，因为在第一精密过滤膜装置102的上游侧设有加热器108，所以不管贮存于接收部101的nmp水溶液的温度如何，都能够将nmp水溶液调节到规定范围的温度。加热器108优选将nmp水溶液加热到15℃以上40℃以下的范围内。在15℃以上时能够将nmp水溶液的粘度设为优选的范围内，能够抑制第一精密过滤膜装置102、膜脱气装置103、离子交换装置104等的压力损失。另外，在40℃以下的范围内时，能够抑制离子类从填充于离子交换装置104的树脂的泄漏，并且与离子交换装置104的容器的耐热性有关的制约也得到缓和。此外，nmp水溶液的温度可通过调节加热器108的设置于蒸汽配管的流量调节阀v103的开度来控制。在nmp水溶液的温度为15℃以上时，可以关闭阀v103，停止高温蒸汽的供给。因此，图1所示的精制系统是一种含有有机溶剂和水的混合液的精制系统，其具有：加热器，其对含有从上述精制系统的外部供给的原液的上述混合液进行加热；过滤膜装置，其位于上述加热器的下游，从由上述加热器加热后的上述混合液中去除微粒；膜脱气装置，其位于上述过滤膜装置的下游，从由上述过滤膜装置去除微粒后的上述混合液中去除溶解氧；渗透汽化膜装置，其位于上述膜脱气装置的下游，从由上述膜脱气装置去除溶解氧后的上述混合液中去除水分。在该精制系统中，上述过滤膜装置可以为精密过滤膜装置。另外，上述加热器优选将上述混合液加热到15℃以上40℃以下。上述有机溶剂例如是nmp。(气体冷却器310)如上所述，在第三子系统300中设置有气体冷却器310。气体冷却器310设置在冷凝器305和真空泵309之间，使通过由真空泵309产生的负压而从冷凝器305的气相部流入的蒸汽冷凝。冷凝器305通过冷却水使nmp精制气体冷凝，但冷却能力往往会因冷却水的温度、nmp精制气体的循环流量的波动等而暂时降低。另外，在冷却水的流量因冷凝器305自身的经时压力损失的增加而降低的情况下，冷却能力也降低。由此，冷凝器305内部的温度上升，nmp的饱和蒸汽压增加。其结果，未冷凝而是滞留在冷凝器305内的nmp精制气体的量增加。因为真空泵309与冷凝器305的气相部连接，所以利用真空泵309从冷凝器305吸取的nmp的量增加。另外，在使用干式真空泵的情况下，在存在液体的环境下使用时，有时可靠性会降低，所以不优选吸取大量的nmp精制气体。由于气体冷却器310设置在冷凝器305和真空泵309之间，且在真空泵309吸取nmp精制气体之前使nmp精制液冷凝，所以能够抑制真空泵309吸取的nmp精制气体的量。气体冷却器310的构造只要能够使nmp精制气体冷凝，就没有限定，可使用通常的管壳式热交换器，该管壳式热交换器使用冷却水。虽然省略了图示，但冷却水可与冷凝器305的冷却水共用。另外，冷却排水也能够与冷凝器305的冷却排水一同通过以下说明的方法进行再利用。(杂质排出管路l309的热交换器311)蒸发罐303使在循环管路l303内循环的nmp浓缩液蒸发，所以在蒸发罐303的底部会滞留高密度地含有高沸点的色度成分或金属离子等杂质的nmp浓缩液。因为滞留的nmp浓缩液所含的杂质有可能会飞散，而混入在循环管路l303内循环的nmp浓缩液中，所以蒸发罐303的底部的含有杂质的nmp浓缩液需要排出。在排出时，因为循环管路l303向大气开放，所以排出操作间歇地进行。具体而言，通过关闭常开的循环管路l303的阀v303，且打开常闭的杂质排出管路l309的阀v304，使在循环管路l303内循环的nmp浓缩液从杂质排出管路l309排出。但是，因为在循环管路l303内循环的nmp浓缩液被加热到高温(80～120℃左右)，所以不优选直接排出。例如，在设置接收槽的情况下，需要确保接收槽的耐热性，在杂质排出管路l309上设有流量仪等仪器的情况下，有时难以确保仪器的可靠性。在本实施方式中，在杂质排出管路l309上设有热交换器311，通过与在冷却排水排出管路l311内流动的冷却排水进行热交换，来冷却nmp浓缩液。冷凝器305的冷却水在将nmp浓缩液排出时也流通。因为关闭了循环管路l303的阀v303，所以不进行循环管路l303中的nmp浓缩液的循环。因此，nmp精制气体几乎不供给到冷凝器305中，冷却排水在温度不怎么上升的情况下从冷凝器305被排出。即，nmp浓缩液不是被温暖的冷却排水冷却，而是被比较低温的冷却排水冷却，所以冷却效率升高。即使将冷凝器305的冷却水供给管路与热交换器311的冷却水供给管路并行设置，冷却效率也几乎相同。但是，如本实施方式所述，通过由依次穿过冷凝器305和热交换器311的一根管路l311构成冷却水供给管路，且将循环管路l303的阀v303和杂质排出管路l309的阀v304制成在一个打开时另一个关闭的状态，能够削减配管、阀的成本。因此，图1所示的精制系统可以说是一种蒸馏精制装置，该蒸馏精制装置具有：蒸发罐，其使有机溶剂蒸发；冷凝器，其使由上述蒸发罐产生的有机溶剂的蒸汽冷凝；真空泵，其与上述冷凝器的气相部连通；气体冷却器，其设置在上述冷凝器和上述真空泵之间，使通过由上述真空泵产生的负压而从上述气相部流入的上述蒸汽冷凝。在该蒸馏精制装置中，还可设置：循环管路，其与上述蒸发罐的底部和上部连接，形成包含上述蒸发罐在内的循环路径；杂质排出管路，其从上述循环管路分支，将滞留在上述蒸发罐的上述底部的含有杂质的有机溶剂排出；冷却排水排出管路，其与上述冷凝器连接，将冷却了上述有机溶剂的蒸汽后的冷却排水排出；热交换器，其设置于上述杂质排出管路，通过与在上述冷却排水排出管路内流动的上述冷却排水进行热交换，来冷却含有上述杂质的有机溶剂。在该蒸馏精制装置中，也可以在上述循环管路和上述杂质排出管路上分别设置阀，使上述循环管路的上述阀和上述杂质排出管路的上述阀在一个打开时另一个关闭。另外，上述有机溶剂例如是nmp。(脱水装置600)接着，对图1所示的精制系统1的脱水装置600进行说明。图2是脱水装置600的简要结构图。脱水装置600包括第二子系统200中的、第一至第三渗透汽化膜组件202、203、204和其附带设备。在第二及第三透过液罐215、216的下游设有对透过液进行加热的加热器220、221。加热器220、221的结构只要能够将透过液加热，就没有限定，例如也可以是电加热器等。在这里所示的例子中，为了使用作为热源的第一热交换器211的冷却排水，加热器220、221被设为热交换器220、221。因此，热交换器220、221与将第一热交换器211的冷却排水排出的第一冷却水排出管路l220连接。如上所述，第一热交换器211与第一渗透汽化膜组件202的第一透过室202b连接，通过与冷却水cw进行热交换来冷却透过到第一透过室202b的透过蒸汽。加热器220、221通过与在第一冷却水排出管路l220及冷却水排出管路l221内流动的冷却排水进行热交换，来加热由第二及第三渗透汽化膜组件203、204生成的透过液。由热交换器220、221加热后的透过液通过使透过液返回到第一渗透汽化膜组件202的入口侧的返回管路即透过液回收管路l205来回收。第一至第三透过液罐214、215、216中的透过液的温度按第一透过液罐214、第二透过液罐215、第三透过液罐216的顺序降低。这是因为在后级的渗透汽化膜组件中，nmp水溶液中的水分量减少，nmp浓度升高。为了使水分量较少的nmp水溶液脱水，需要增大渗透汽化膜组件的入口侧和透过侧的压力差。因为透过侧的压力与水的饱和蒸汽压相等，所以为了增大入口侧和透过侧的压力差，需要降低透过侧的温度，且降低水的饱和蒸汽压。因此，在第一热交换器211中，可使用常温的水作为冷却水，但在第二热交换器212中，使用更低温的制冷剂即载冷剂br1，在第三热交换器213中，使用比载冷剂br1更低温的制冷剂即载冷剂br2。其结果，在一例中，透过水的温度在第一透过液罐214中成为约40℃，在第二透过液罐215中成为约2℃，在第三透过液罐216中成为约－10℃。另外，在一例中，在第一冷却水排出管路l220及冷却水排出管路l221内流动的冷却排水的温度为约37℃。因此，在第一冷却水排出管路l220及冷却水排出管路l221内流动的冷却排水具有加热第二及第三透过液罐215、216的透过水的足够的热能。透过水优选被加热到超过20℃的温度。应予说明，因为在第一冷却水排出管路l220内流动的冷却排水被冷却到常温左右而废弃，所以也不需要用于对冷却排水进行冷却的冷却塔等附带设备，或者能够小型化。这里，对将第二及第三透过液罐215、216的透过水加热的理由进行说明。在使第二及第三透过液罐215、216的透过水从第二及第三透过水排出管路l211、l214返回到第一渗透汽化膜组件202的上游侧时，在这里所示的例子中，在返回到初级处理液槽106时，如后所述，通过惰性气体的压力，将透过水挤出。其结果，第二及第三透过液罐215、216的负压、及第二及第三透过室203b、204b的负压被解除，第二及第三渗透汽化膜组件203、204的性能降低。因此，不能连续进行该操作。因此，需要如下操作，即，使透过水滞留在第二及第三透过液罐215、216中，暂时解除负压，使透过水返回到初级处理液槽106中。如果使用泵来代替惰性气体，则有可能能够连续地排出透过水，但为了确保泵的吸头，需要在第二及第三透过液罐215、216和泵之间设置大的高低差，这是不现实的。由于这种理由，储备于第二及第三透过液罐215、216的透过水间歇地返回到初级处理液槽106中。因此，在不将第二及第三透过液罐215、216的透过水加热的情况下，低温的透过水暂时返回到初级处理液槽106中，贮存于初级处理液槽106的nmp水溶液的温度降低。nmp水溶液由第一加热器205和废热回收热交换器206来加热，但控制第一加热器205和废热回收热交换器206以使得将nmp水溶液加热到120℃左右变得困难。因此，向第一渗透汽化膜组件202供给的nmp水溶液的温度暂时低于120℃，第一渗透汽化膜组件202的脱水膜的温度、透过侧的温度发生波动，脱水性能变得不稳定。在这里所示的例子中，因为对第二及第三透过液罐215、216的透过水进行加热，所以能够抑制向第一渗透汽化膜组件202供给的nmp水溶液的温度变化，得到更稳定的脱水性能。通过将第二及第三透过液罐215、216的透过水加热，也容易维持测量仪222、223的性能。测量仪222的种类没有限定，但在这里所示的例子中，测量仪222是设置于第二透过水排出管路l211的流量仪222a及水分浓度测试仪222b，测量仪223是设置于第三透过水排出管路l214的流量仪223a及水分浓度测试仪223b。这些测量仪222、223大多不能保证对低于0℃的液体进行操作，对低温的液体使用在可靠性方面是不利的。在这里所示的例子中，因为透过水被加热到接近常温的温度，所以也容易维持测量仪222、223的性能。接着，对来自第一至第三透过液罐214、215、216的透过液的排出方法进行说明。如上所述，在第一至第三透过液罐214、215、216的上部，连接有从惰性气体的供给单元即惰性气体供给母管l401分支的惰性气体供给管路l406a、406b、406c。另外，在第一至第三透过液排出管路l206、l209、l212上分别设有第一至第三截止阀v207、v208、v209。第一至第三截止阀v207、v208、v209分别是截止第一至第三透过液罐214、215、216和第一至第三渗透汽化膜组件202、203、204的透过室202b、203b、204b的连通的单元之一例。例如，在从第二透过液罐215排出透过液时，首先，关闭第二截止阀v208，截止第二透过液罐215和透过室203b的连通。同时，使第二真空泵218停止。接着，从惰性气体供给管路406b供给惰性气体。惰性气体供给管路406b能够对第二透过液罐215施加可将储备于第二透过液罐215的内部的透过液排出到透过液回收管路l205的压力。由此，来自第二透过液罐215的透过液返回到初级处理液槽106中。惰性气体的一部分有可能会流入初级处理液槽106中，但因为初级处理液槽106的气相部如上所述已被惰性气体置换，所以没有问题。此外，如图2的虚线所示，也可在第二透过液罐215和热交换器220之间、及在第三透过液罐216和热交换器221之间设置透过液排出用的泵p。在这种情况下，惰性气体仅解除第一至第三透过液罐214、215、216的内部的真空即可，不需要用于排出的加压能力。因此，在不能充分确保惰性气体的压力的情况下，泵p的设置是有效的。但是，因为移送－10℃左右的低温的透过液，所以有可能因透过液的冻结而引起泵p的损坏，且泵p自身会花费设置成本，所以优选用惰性气体来移送透过液。在这里所示的例子中，使用三台渗透汽化膜组件202、203、204，但渗透汽化膜组件的台数没有限定。因此，更通常的是，可在第二渗透汽化膜组件203的下游设置至少一个其他渗透汽化膜组件，该其他渗透汽化膜组件与第一及第二渗透汽化膜组件202、203一同串联地配置且从有机溶剂的浓缩液中进一步去除水分。设有分别与其他渗透汽化膜组件的透过室连通的至少一个其他冷却器，该其他冷却器对透过到该其他渗透汽化膜组件的透过室的透过蒸汽进行冷却、冷凝，生成透过液。进而，在该其他冷却器的下游，设有分别与该其他冷却器连通的至少一个其他透过液罐。该其他透过液罐可将内部维持为负压，能够贮存透过液。在该其他透过液罐的下游，分别设有对透过液进行加热的至少一个其他加热器。冷却排水的排出管路具有分别与该其他加热器连接的分支管路，该其他加热器通过与在分支管路内流动的冷却排水进行热交换来加热透过液。因此，图1及图2所示的精制系统中的脱水装置具有：第一渗透汽化膜组件，其从含有有机溶剂和水的混合液中去除一部分水分，生成上述有机溶剂的浓缩液；第二渗透汽化膜组件，其位于上述第一渗透汽化膜组件的下游，从上述有机溶剂的浓缩液中进一步去除水分；冷却器，其与上述第二渗透汽化膜组件的透过室连通，对透过到上述透过室的透过蒸汽进行冷却、冷凝，生成透过液；透过液罐，其在上述冷却器的下游与上述冷却器连通，可将内部维持为负压，可贮存上述透过液；加热器，其位于上述透过液罐的下游，对上述透过液进行加热；返回管路，其使由上述加热器加热后的上述透过液返回到上述第一渗透汽化膜组件的入口侧。该脱水装置也可以为如下脱水装置，即，具有：热交换器，其与上述第一渗透汽化膜组件的透过室连接，通过与冷却水进行热交换，对透过到上述第一渗透汽化膜组件的透过室的透过蒸汽进行冷却，将比从上述透过液罐排出的透过液更高温的冷却排水排出；以及上述冷却排水的排出管路，上述加热器通过与在上述排出管路内流动的上述冷却排水进行热交换，来加热上述透过液。这些脱水装置也可以为如下脱水装置，即，具有：至少一个其他渗透汽化膜组件，其与上述第一及第二渗透汽化膜组件一同串联配置在上述第二渗透汽化膜组件的下游，从上述有机溶剂的浓缩液中进一步去除水分；至少一个其他冷却器，其分别与上述其他渗透汽化膜组件的透过室连通，对透过到上述其他渗透汽化膜组件的透过室的透过蒸汽进行冷却、冷凝，生成透过液；至少一个其他透过液罐，其在上述其他冷却器的下游分别与上述其他冷却器连通，可将内部维持为负压，可贮存上述透过液；至少一个其他加热器，其分别位于上述其他透过液罐的下游，对上述透过液进行加热，上述冷却排水的排出管路具有与各个上述其他加热器连接的分支管路，上述其他加热器通过与在上述分支管路内流动的上述冷却排水进行热交换，来加热上述透过液。上述的各脱水装置也可以为如下脱水装置，即，具有：截止单元，其截止上述透过液罐和上述第二渗透汽化膜组件的透过室的连通；惰性气体的供给单元，其与上述透过液罐连接，上述惰性气体的供给单元在截止了上述透过液罐和上述透过室的连通时，可对上述透过液罐施加可使储备于上述透过液罐的内部的透过液排出到上述返回管路的压力。上述有机溶剂例如是nmp。接着，对本实用新型的一个实施方式的脱水装置进行说明。在图1所示的精制系统中，在第二子系统200中，使用渗透汽化膜，使nmp水溶液脱水，生成nmp浓缩液。在第二子系统200中，第一至第三渗透汽化膜组件202、203、204串联连接而构成渗透汽化膜装置201，从第一渗透汽化膜组件202的透过室202b排出并进行了冷凝的液体被输送到废液槽中，从第二及第三渗透汽化膜组件203、204的透过室203b、204b排出并进行了冷凝的液体为了作为含有nmp的液体而再次通过渗透汽化膜装置201进行处理，而被输送到初级处理液槽106中。本实施方式的脱水装置可替换使用这种第二子系统200。图3表示本实施方式的脱水装置。该脱水装置具备与图1所示的精制系统中的第二子系统200中的渗透汽化膜组件相同结构的三台渗透汽化膜组件202、203、204，这些渗透汽化膜组件202、203、204分别具备渗透汽化膜202c、203c、204c，与图1中的同样，相互串联连接。在图3中，为了简单地进行说明，未描绘出对向各渗透汽化膜组件202、203、204的浓缩室202a、203a、204a供给的液体进行加热的机构、使透过室202b、202b、204b减压的机构，但如果是本领域技术人员，则能够参照图1而理解加热机构、减压机构是怎样设置的。从第七nmp水溶液供给管路l201对第一渗透汽化膜组件202的浓缩室202a供给nmp水溶液，由该浓缩室202a产生的浓缩液经由第一连接管路l202被供给到第二渗透汽化膜组件203的浓缩室203a内。由第二渗透汽化膜组件203的浓缩室203a浓缩后的浓缩液经由第二连接管路l203被供给到第三渗透汽化膜组件204的浓缩室204a内，由第三渗透汽化膜组件204进一步浓缩而得到的nmp浓缩液从浓缩室204a穿过nmp浓缩液排出管路l204被输送到第三子系统(参照图1)中。在第一至第三渗透汽化膜组件202、203、204的透过室202b、203b、204b内分别连接有第一至第三透过液排出管路l206、l209、l212。关于本实施方式的脱水装置，以上说明的结构与图1所示的精制系统中的第二子系统200中的相同。透过了渗透汽化膜202c的水分以气相状态(即，水蒸汽)从第一渗透汽化膜组件202的透过室202b排出，并且泄漏出的nmp以与水蒸汽混合在一起的气相状态，或者以在气相中混有若干液相的状态被排出。换句话说，水和nmp混合在一起的流体被排出。由于第一透过液排出管路l206与供给冷却水作为制冷剂的冷凝器(condenser)251连接，因此这些水分及nmp经由第一透过液排出管路l206被供给到冷凝器251，在冷凝器251中，通过由冷却水进行冷却，而成为冷凝液。在冷凝器251的出口处连接有罐252，由冷凝器251产生的冷凝液暂时贮存在罐252中。同样，水和nmp的混合物经由第二透过液排出管路l209也从第二渗透汽化膜组件203的透过室203b排出，但在本实施方式中，从第二透过液排出管路l209排出的混合物使用冷凝温度不同的两级冷凝器261、271来冷凝。即，冷凝器261相对于第二透过液排出管路l209而连接，并且冷凝器271相对于从冷凝器261分支的配管270而连接。从第二透过液排出管路l209排出的水及nmp首先被供给到冷凝器261。向冷凝器261供给冷水a作为制冷剂，冷凝器261利用冷水a进行冷却，从而使从第二透过液排出管路l209供给的气相成分以规定的冷凝温度t1冷凝。在冷凝器261的冷凝液出口处连接有罐262，由冷凝器261产生的冷凝液暂时贮存在罐262中。冷凝温度t1是不足以使为了减压而由未图示的真空泵吸取的那部分等以外的所有气相成分冷凝的温度，在冷凝器261内会残留有未冷凝的气相成分。该未冷凝的气相成分经由配管270被输送到冷凝器271中。向冷凝器271也供给冷水a作为制冷剂，使气相成分以比冷凝温度t1低的冷凝温度t2进行冷凝。冷凝温度t2设定为使残余气体完全冷凝那样的温度。在冷凝器271的出口处连接有罐272，在冷凝器271内产生的冷凝液暂时贮存在罐272中。在本实施方式中，冷凝器261、271的冷凝温度t1、t2、特别是高温侧的冷凝温度t1是决定要废弃的有机溶剂的量的重要参数，需要在冷凝器261、272的运转管理中正确地控制。因此，在向冷凝器261供给的冷水的配管上设有电磁调节阀265，并且在将冷凝器261、271连接的配管270上设有对穿过该配管的气体的温度进行测量的温度传感器264。而且，以由温度传感器264测定的温度成为冷凝温度t1的方式根据温度传感器264的检测值来调节电磁调节阀265的开度，执行使向冷凝器261供给的冷水a的供给量发生变化的控制。也同样地，水和nmp的混合物经由第三透过液排出管路l212，从第三渗透汽化膜组件204的透过室204b排出，但由于第三透过液排出管路l212与冷凝器281连接，因此水分及nmp被供给到冷凝器281中。冷凝器281供给冷水b作为制冷剂，水分及nmp在冷凝器281内进行冷凝，生成冷凝液。在冷凝器281的出口处连接有罐282，在冷凝器281内产生的冷凝液暂时贮存在罐282中。这里，对脱水装置内的各场所的流体中的nmp浓度进行研究。认为从渗透汽化膜组件202、203、204的透过室202b、203b、204b排出的流体中的nmp浓度越是后级的渗透汽化膜组件越高。而且，当考虑从第二渗透汽化膜组件203的透过室203b排出的水和nmp的混合物时，该混合物首先在冷凝器261中以冷凝温度t1进行冷凝，在这里未冷凝的气相成分接着在冷凝器271中以冷凝温度t2进行冷凝。即使考虑到大气压(101.3kpa)下的nmp的沸点比水的沸点足够高，且冷凝器261、271内已被减压，也可以说nmp比水更容易冷凝。由于t1＞t2，因此在冷凝温度为t1的冷凝器261内产生的冷凝液中的nmp浓度比在冷凝温度为t2的冷凝器271内产生的冷凝液中的nmp浓度高。这样，基于冷凝液中的nmp浓度因脱水装置内的场所而不同，在本实施方式的脱水装置中，回收在冷凝器261内产生的冷凝液和由从第三渗透汽化膜组件204的透过室204b排出的成分产生的冷凝液，使其向第一渗透汽化膜组件202的入口循环。然后，在冷凝器271内产生的冷凝液和由从第一渗透汽化膜组件202的透过室202b排出的成分产生的冷凝液都排出到脱水装置的外部。因此，在脱水装置上设有与第七nmp水溶液供给管路l201汇合的循环管路l254、用于将冷凝液排出到装置外的排出管路l255、用于将罐262、282内的冷凝液分别供给到循环管路l254的泵263、283、用于将罐252、272内的冷凝液经由排出管路l255而排出的泵253、273。循环管路l254与图1所示的结构中的透过液回收管路l205对应。在图3中，循环管路l254直接与第七nmp水溶液供给管路l201汇合，但也可以如图1所示，将循环管路l254与初级处理液槽106连接。排出管路l255与图1所示的结构中的第一透过水排出管路l208对应。作为一例，对从脱水装置的外部向第七nmp水溶液供给管路l201供给的nmp水溶液中的nmp浓度为90％(即，水分浓度为10％)的情况进行研究。应予说明，由于在该nmp水溶液中经由循环管路l254而添加有冷凝液，因此第一渗透汽化膜组件202的入口处的nmp浓度不一定是90％。这里，利用质量百分率来表示浓度。在将来自第二渗透汽化膜组件203的透过室203b的nmp和水分的混合物冷凝的冷凝器261、271中的、第一级冷凝器261的冷凝温度t1为13℃、第二级冷凝器271的冷凝温度t2为3℃时，贮存在与第一渗透汽化膜组件202对应的罐252中的冷凝液的nmp浓度成为12％，从第二渗透汽化膜组件203的透过室203b排出的水和nmp的混合物中的nmp浓度成为52％，由第三渗透汽化膜组件204的浓缩室204a得到的nmp浓缩液的nmp浓度成为99.99％以上。而且，关于与第二渗透汽化膜组件203连接的两级冷凝器261、271，贮存在与冷凝器261对应的罐262中的冷凝液的nmp浓度成为85％，贮存在与冷凝器271对应的罐272中的冷凝液的nmp浓度成为5％。在本实施方式的脱水装置中，在将3台渗透汽化膜组件202、203、204串联连接的情况下，关于第一级渗透汽化膜组件202，在从其透过室202b排出的成分中的nmp浓度低的条件下、即在还没怎么进行脱水的条件下运转，在第二级渗透汽化膜组件203中，进行充分脱水。当以进行充分脱水的方式使第二级渗透汽化膜组件203运转时，在从其透过室203b排出的流体中含有相当多的nmp。因此，在本实施方式中，对从透过室203b排出的流体应用两级冷凝过程，在第一级冷凝过程中，将冷凝温度t1设定得较高，得到富含nmp的冷凝液，回收该富含nmp的冷凝液。在第二级冷凝过程中，利用较低的冷凝温度t2，使残余气体完全冷凝，但由于这些冷凝液以水为主体，因此废弃。由于向第三级渗透汽化膜组件204供给已经进行了充分脱水的nmp水溶液，因此这里通过进行最终脱水，从该渗透汽化膜组件204中得到高浓度的nmp浓缩液。上述的本实施方式的脱水装置不仅能够用于从水和nmp的混合液中得到浓缩nmp，还能够用于从nmp以外的有机溶剂和水的混合液中得到脱水的有机溶剂。在大气压下的沸点低于水的有机溶剂的情况下，认为由与第二渗透汽化膜组件203的透过室203b连接的两级冷凝器261、271产生的冷凝液中的、由第二级冷凝器271产生的冷凝液的有机溶剂浓度比由第一级冷凝器261产生的冷凝液高。因此，在这种情况下，只要将贮存在与第一渗透汽化膜组件202对应的罐252和与冷凝器261对应的罐262中的冷凝液废弃，且将贮存在与冷凝器271对应的罐272和与第三渗透汽化膜组件204对应的罐282中的冷凝液回收，并使其向第一渗透汽化膜组件202的入口循环即可。在基于本实用新型的脱水装置中，串联连接的渗透汽化膜组件的数量不局限于三台，也可设为四台以上。在那种情况下，在图3所示的结构中，只要在第一渗透汽化膜组件202的前级及第三渗透汽化膜组件204的后级中的至少一处设置一个以上的渗透汽化膜组件即可。关于设置于第一渗透汽化膜组件202的前级的渗透汽化膜组件，将从其透过室排出的流体废弃，关于设置于第三渗透汽化膜组件204的后级的渗透汽化膜组件，将从其透过室排出的流体回收，并使其向最初级的渗透汽化膜组件的入口循环。进而，在基于本实用新型的脱水装置中，串联连接的渗透汽化膜组件的数量也可以为两台。图4表示本实用新型的另一实施方式的脱水装置，即串联连接的渗透汽化膜组件的数量为两台的脱水装置。图4所示的脱水装置被供给有机溶剂和水和混合液即有机溶剂水溶液，进行有机溶剂水溶液的脱水，然后将脱水后的有机溶剂浓缩液排出。该脱水装置相当于在图3所示的脱水装置中撤去了第一渗透汽化膜组件202和与其相关的冷凝器251、罐252及泵253以后的脱水装置。有机溶剂水溶液经由供给管路l291，供给到该脱水装置中的第一级渗透汽化膜组件203的浓缩室203a，有机溶剂浓缩液经由浓缩液管路l292，从第二级渗透汽化膜组件204的浓缩室204a供给到装置外部。设有用于使冷凝液向供给管路l291循环的循环管路l293，并且也设有用于将冷凝液废弃到装置外的废弃管路l294。相对于第一级渗透汽化膜组件203的透过室203b，串联地设有两级冷凝器261、271，但这里，第一级冷凝器261的冷凝温度t1也比第二级冷凝器271的冷凝温度t2高。在第一级渗透汽化膜组件203中，进行充分脱水，减少带入到第二级渗透汽化膜组件204的水分量。当有机溶剂为nmp等其大气压下的沸点高于水的溶剂时，在较高的冷凝温度下，有机溶剂比水容易冷凝，在由冷凝器261生成的冷凝液中，以比在冷凝器271中生成的冷凝液还高的浓度含有有机溶剂。因此，通过泵273将贮存在与冷凝器271连接的罐272中的冷凝液经由废弃管路l294排出到脱水装置的外部。将贮存在与冷凝器261连接的罐262中的冷凝液和贮存在与第二级渗透汽化膜组件204的透过室204b对应的罐282中的冷凝液分别经由泵263、283输送到循环管路l293中，使这些冷凝液向第一级渗透汽化膜组件203的入口循环。当有机溶剂为其大气压下的沸点低于水的溶剂时，由于在较高的冷凝温度下，水比有机溶媒容易冷凝，因此在那种情况下，将贮存在与冷凝器261连接的罐262中的冷凝液废弃，使贮存在与冷凝器271连接的罐272中的冷凝液和贮存在罐282中的冷凝液向第一级渗透汽化膜组件203的入口循环。进而，在图4所示的结构中，在第二级渗透汽化膜组件204的后级设有一个以上的附加渗透汽化膜组件，关于附加设置的渗透汽化膜组件，也可以将从其透过室排出的流体回收，并使其向第一级渗透汽化膜组件203的入口循环。在本实用新型中，串联连接的渗透汽化膜组件的数量为两台的结构不限定于图4所示的结构。例如，在图3所示的结构中，可不设置第三渗透汽化膜组件204，而是以从第二渗透汽化膜组件203的浓缩室排出的流体为有机溶剂浓缩液。在这种情况下，也可以在第一渗透汽化膜组件202的前级设置一个以上的附加渗透汽化膜组件，将从附加渗透汽化膜组件的透过室排出的流体废弃。进而，在基于本实用新型的脱水装置中，也可以仅具备单独的渗透汽化膜组件。在这种情况下，只要从该单独的渗透汽化膜组件的透过室排出的液体通过与上述同样的两级冷凝器进行冷凝，然后将含有更多水分的一方的冷凝液废弃，使含有更多有机溶剂的一方的冷凝液向渗透汽化膜组件的入口循环即可。以上，以使用渗透汽化膜进行脱水的情况为例对基于本实用新型的脱水装置进行了说明。但是，在基于本实用新型的脱水装置中，可使用渗透汽化膜以外的脱水膜进行脱水。作为这样的脱水膜之一例，例如，有蒸汽透过(vp：vaporpermeation)膜。本实用新型的脱水装置可使用具备任意脱水膜的脱水膜组件而构成。(分析装置)在将利用图1至图4进行了说明的各精制系统用于nmp水溶液的精制的情况下，当接收了难以精制或不可能精制的水平的品质的nmp水溶液时，在锂离子二次电池的制造系统中再利用了由精制系统得到的nmp精制液时，有可能会给要制造的锂离子二次电池的品质造成重大影响。因此，在接收nmp水溶液时，要确认品质水平，优选仅接收容许范围内的品质的nmp水溶液。但是，因为在nmp水溶液的分析上需要花费一定时间，所以例如在专利文献2记载的nmp水溶液的精制系统中，为了确认nmp水溶液的品质水平，需要暂时停止nmp水溶液的接收。在将nmp精制液分配给锂离子二次电池的制造系统时也同样，为了确认nmp精制液的品质水平，需要暂时停止nmp精制液的分配。关于以上方面，含有nmp以外的有机溶剂和水的混合液也是同样的。因此，对利用图1至图4进行了说明的各精制系统中的分析装置进行说明。分析装置是着眼于接收部101和分配部311的分析功能的别称。在这里所示的例子中，具备与接收部101对应的分析装置101和与分配部311对应的分析装置311，两者都具有相同的结构。也可以仅设置与接收部101对应的分析装置和与分配部311对应的分析装置中的任一个。另外，与接收部101对应的分析装置和与分配部311对应的分析装置也可以由各不相同的实施方式构成。各分析装置以被精制系统接收的nmp水溶液、或从精制系统分配的nmp精制液为分析对象液进行分析。但是，分析对象液不限于nmp水溶液及nmp精制液，也可以为被含有有机溶剂和水的混合液的精制系统接收的混合液、或从该精制系统分配的精制后的有机溶剂。具体的有机溶剂的种类如上所述。(第一分析装置)下面，参照图5对第一分析装置进行说明。这里，以与接收部101对应的分析装置101为例进行说明。分析装置具有可储备分析对象液即nmp水溶液的第一至第三容器101a、101b、101c。第一至第三容器101a、101b、101c具有相同的形状及相同的容量。如后所述，因为有可能向第一至第三容器101a、101b、101c供给低品质的nmp水溶液，所以底部优选为圆锥形的形状等容易清洗的形状。因为贮存有害的nmp，所以第一至第三容器101a、101b、101c由罐等可密闭的容器构成。从第一nmp水溶液供给管路l101中分支出了第一至第三单独的供给管路l501a、l501b、l501c，第一至第三单独的供给管路l501a、l501b、l501c分别与第一至第三容器101a、101b、101c连接。在第一至第三单独的供给管路l501a、l501b、l501c上分别设有阀v501a、v501b、v501c。因此，分析对象液的供给管路即第一nmp水溶液供给管路l101可切换地与第一至第三容器101a、101b、101c连接。另外，在第一至第三容器101a、101b、101c上分别连接有第一至第三单独的排出管路l505a、l505b、l505c。第一至第三单独的排出管路l505a、l505b、l505c与第二nmp水溶液供给管路l102汇合，在单独的排出管路l505a、l505b、l505c上分别设有阀v502a、v502b、v502c。因此，分析结束液的排出管路即第二nmp水溶液供给管路l102可切换地与第一至第三容器101a、101b、101c连接。第一容器101a与由管路l503－1、l503－2、l504a、l505a、l503－3构成的第一循环管路一同形成分析对象液的第一循环路径。在管路l504a和管路l505a上分别设有阀v503a、v504a。第一循环路径由第一容器101a和第一循环管路构成。同样，第二容器101b与由管路l503－1、l503－2、l504b、l505b、l503－3构成的第二循环管路一同形成分析对象液的第二循环路径。在管路l504b和管路l505b上分别设有阀v503b、v504b。第二循环路径由第二容器101b和第二循环管路构成。同样，第三容器101c与由管路l503－1、l504c、l505c构成的第三循环管路一同形成分析对象液的第三循环路径。在管路l504c和管路l505c上分别设有阀v503c、v504c。第三循环路径由第三容器101c和第三循环管路构成。管路l503－1、l503－2、l503－3、l504a、l504b、l504c、l505a、l505b、l505c构成可有选择地切换到第一循环管路、第二循环管路、第三循环管路上的循环管路形成单元。在第一至第三循环路径所共用的流路即管路l503－1上设有使循环路径的分析对象液循环的循环泵504。在第一至第三循环路径上设有对第一至第三循环路径内的分析对象液进行分析的分析单元。分析单元包括采样点505、测定水分浓度的水分浓度测试仪506、测定导电率(电阻率)的导电率测试仪(电阻率测试仪)507。采样点505设置于从管路l503－1分支的采样管路l506的端部，通过打开阀v505，能够采集试样。从试样中能够测定出分析对象液的纯度、色度。水分浓度测试仪506和导电率测试仪507以联机方式设置，能够分别连续地测定水分浓度和导电率。这些分析单元505、506、507优选设置在管路l503－1中。由此，能够使分析单元505、506、507的数量最小化。但是，分析单元505、506、507也可分别设置在第一至第三循环路径中的任意场所。例如，也可将采样管路l506分别设置在第一至第三容器101a、101b、101c中。从第二nmp水溶液供给管路l102的泵107的下游侧分支出了不良液移送管路l507。不良液移送管路l507与储备不良液的不良液储备容器502连接。不良液储备容器502储备判断为分析结果不良的nmp水溶液。在第二nmp水溶液供给管路l102的与不良液移送管路l507的分支部的下游侧设有阀v506，在不良液移送管路l507上设有阀507。这些阀v506、v507构成第二nmp水溶液供给管路l102和不良液移送管路l507的切换单元。在第一容器101a的上部连接有第一惰性气体供给管路l512a，在第二容器101b的上部连接有第二惰性气体供给管路l512b，在第三容器101c的上部连接有第三惰性气体供给管路l512c。第一至第三惰性气体供给管路l512a、l512b、l512c与母管l511连接，在母管l511上，经由气体密封单元u402连接有惰性气体的供给单元即惰性气体供给母管l401。另外，在母管l511上连接有气流管路l513。第一至第三惰性气体供给管路l512a、l512b、l512c、母管l511、气流管路l513相互连通。因此，第一至第三容器101a、101b、101c的上部气相部经由第一至第三惰性气体供给管路l512a、l512b、l512c和母管l511相互连通。阀v501a、v501b、v501c、v502a、v502b、v502c、v503a、v503b、v503c、v504a、v504b、v504c构成可切换供给管路即第一nmp水溶液供给管路l101、排出管路即第二nmp水溶液供给管路l102、循环管路形成单元的切换单元。在图5中，阀v501a、v502c、v503b、v504b打开，阀v501b、v501c、v502a、v502b、v503a、v503c、v504a、v504c关闭。由此，第一容器101a作为接收容器发挥功能，第二容器101b作为分析容器发挥功能，第三容器101c作为储备分析结束液并且与排出管路连接的移送容器发挥功能。在图6中，阀v501c、v502b、v503a、v504a打开，阀v501a、v501b、v502a、v502c、v503b、v503c、v504b、v504c关闭。由此，第二容器101b作为接收容器发挥功能，第三容器101c作为分析容器发挥功能，第一容器101a作为储备分析结束液并且与排出管路连接的移送容器发挥功能。在图7中，阀v501b、v502a、v503c、v504c打开，阀v501a、v501c、v502b、v502c、v503a、v503b、v504a、v504b关闭。由此，第三容器101c作为接收容器发挥功能，第一容器101a作为分析容器发挥功能，第二容器101b作为储备分析结束液并且与排出管路连接的移送容器发挥功能。即，通过操作切换单元，第一容器101a、第二容器101b和第三容器101c交替地切成换接收容器、分析容器及移送容器。这些切换按时间顺序依次进行。图8是示意地表示第一至第三容器101a、101b、101c的切换模式的图。在图5所示的状态下，nmp水溶液的接收在第一容器101a内进行，分析在包含第二容器101b在内的循环路径上进行。即，第一容器101a作为接收容器发挥功能，第二容器101b作为分析容器发挥功能。分析包含两个步骤。在最初的步骤中，在形成了包含第二容器101b在内的循环路径以后，通过循环泵504，使循环路径内的nmp水溶液流动一定时间。由此，使nmp水溶液搅拌、均匀化，缓和nmp水溶液的浓度不均，能够提高分析精度。在下一个步骤中，使用分析单元505、506、507测定nmp水溶液的性状。如上所述，水分浓度、导电率(电阻率)可通过联机方式来测定，所以分析会在短时间内结束，但纯度、色度的分析需要通过采样来进行，所以需要花费更多的时间。关于以联机方式测定的水分浓度、导电率(电阻率)，优选在nmp水溶液流动的状态下进行测定，所以在测定中，也优选循环泵504持续运行。在第三容器101c内储备有已经结束了分析的nmp水溶液，从第三容器101c向下游侧以一定流量供给nmp水溶液。即，第三容器101c作为移送容器发挥功能。当第一容器101a充满nmp水溶液时，进行第一至第三容器101a、101b、101c的切换操作。第一容器101a成为分析容器，第二容器101b成为移送容器，第三容器101c成为接收容器。判断为分析结果不满足规定品质的nmp水溶液通过打开阀v507，且关闭阀v506，从而被移送到不良液储备容器502中。通过以上的切换操作，成为图6所示的状态，重新开始nmp水溶液的接收、分析和分配。当作为接收容器发挥功能的第三容器101c充满nmp水溶液时，如图7所示，第一容器101a成为移送容器，第二容器101b成为接收容器，第三容器101c成为分析容器，重复同样的过程。第一至第三容器101a、101b、101c的容量考虑接收量和分析所需要的时间来决定。在这里所示的例子中，在第一至第三容器101a、101b、101c的上游侧设有废液接收槽501，因为从废液接收槽501供给nmp水溶液，所以能够以一定流量进行接收。在这种情况下，也可将在一定时间例如分析所需要的时间内接收的nmp水溶液的量设为第一至第三容器101a、101b、101c的容量。但是，当考虑到废液的产生量有可能波动、有时也未设置废液接收槽501、废液也有可能因分批处理而一次性流入接收容器内等时，优选在接收容器充满的时刻进行切换。因为分析需要一定时间，所以当未经过一定时间时，不能进行分析容器向移送容器的切换，但在分析结束的时刻接收容器还未充满的情况下，可等待到接收容器充满为止。关于分配，如果在接收容器充满时分配还未结束，则不能进行移送容器向接收容器的切换。但是，如果考虑到分配流量的调节可通过泵107的控制来进行、精制系统的处理容量相对于接收量以有余量来决定等，则分配成为容器容量的决定要因的可能性较小。当考虑以上情况时，则第一至第三容器101a、101b、101c只要具有如下容量即可，即，在进行分析期间可接受接收容器所接收的分析对象液的总量、或从供给管路供给的分析对象液的总量的容量。例如，如果设第一至第三容器101a、101b、101c的容量为q，且设在进行分析期间被接收容器接收的分析对象液的量为q1，则只要是q≥q1即可。如果是q＝q1，则在分析结束的同时，接收容器充满，如果是q＞q1，则在分析结束时，接收容器还未充满。在这种情况下，如上所述，分析容器待机到接收容器充满为止。此外，也可以以分配完成为条件，在该时刻进行容器的切换。关于分配，因为优选尽量以恒定流量且连续地进行，所以也可以按照切换的时机来调节分配流量，以使移送容器刚好变空。因上述理由，向第一至第三容器101a、101b、101c内导入氮气等惰性气体。在图5所示的运转模式中，因为向第一容器101a供给nmp水溶液，所以填充于第一容器101a的惰性气体被清扫。因为第二容器101b没有nmp水溶液的进出，所以填充于内部的惰性气体的量大致不变。因为第三容器101c排放nmp水溶液，所以向第三容器101c填充惰性气体。通过母管l511，向第三容器101c供给从第一容器101a清扫出的惰性气体。在向第一容器101a导入的nmp水溶液的流量(或第一容器101a的气相部容积的每单位时间的增大量)比从第三容器101c排出的nmp水溶液的流量(或第三容器101c的气相部容积的每单位时间的减少量)少时，不足部分的惰性气体从惰性气体供给母管l401导入，在多时，多余部分的惰性气体从气流管路l513排放。由以上可知，在这里所示的例子中，能够削减从惰性气体供给母管l401供给的惰性气体的量。在图6及图7所示的运转模式中，也依次切换清扫了惰性气体的容器、导入有惰性气体的容器、大致没有惰性气体的进出的容器，发生与图5同样的现象。虽然省略了图示，但上述的分析装置也能够应用于分配部311。在这种情况下，图1所示的分配部311的第一至第三容器311a、311b、311c分别与上述的分析装置的第一至第三容器101a、101b、101c对应。(第二分析装置)下面，参照图9对第二分析装置进行说明。这里，以与分配部311对应的分析装置为例进行说明。在这里所示的例子中，设有可相互切换的第一及第二容器311a、311b和仅具有回收功能的nmp的回收容器508。第一及第二容器311a、311b作为接收容器发挥功能，并且作为分析、移送容器发挥功能。即，在这里所示的例子中，第一分析装置中的分析容器和移送容器的功能集中于一个容器。另外，在这里所示的例子中，循环路径和向下游侧移送的移送管路的一部分被共用化。下面，以与第一分析装置的差异为中心进行说明。关于与第一分析装置中的管路、阀具有相同功能的管路、阀等，使用与第一分析装置的说明中使用的符号相同的符号，适当省略说明。从nmp精制液取出配管l308中分支出了第一及第二单独的供给管路l501a、l501b，第一及第二单独的供给管路l501a、l501b分别与第一及第二容器311a、311b连接。在第一及第二单独的供给管路l501a、l501b上分别设有阀v501a、v501b。因此，分析对象液的供给管路即nmp精制液取出配管l308可切换地与第一及第二容器311a、311b连接。另外，在第一及第二容器311a、311b上分别连接有第一及第二单独的排出管路l502a、l502b。第一及第二单独的排出管路l502a、l502b与管路l508汇合，在第一及第二单独的排出管路l502a、l502b上分别设有阀v502a、v502b。从管路l508分支出了管路l509，管路l509与回收容器508连接。回收容器508与排出管路l312连接。从管路l509分支出了管路l507，管路l507与不良液储备容器502连接。因此，分析结束液的排出管路即排出管路l312可切换地与第一及第二容器311a、311b连接。与第一及第二容器311a、311b连接的第一及第二单独的供给管路l501a、l501b及第一及第二单独的排出管路l502a、l502b构成循环管路的一部分。第一循环管路由管路l508、管路l504a、第一单独的排出管路l502a构成，第二循环管路由管路l508、管路l504b、第二单独的排出管路l502b构成。管路l502a、l502b、l504a、l504b、l508构成可有选择地切换到第一循环管路、第二循环管路上的循环管路形成单元。阀v501a、v501b、v502a、v502b、v503a、v503b构成可切换供给管路即nmp精制液取出配管l308、排出管路即管路l508、循环管路形成单元的切换单元。在图9中，阀v501a、502b、503b打开，阀v501b、v502a、v503a关闭。由此，第一容器101a作为接收容器发挥功能，第二容器101b作为分析容器发挥功能。图13是示意性地表示第一及第二容器311a、311b的切换模式的图。如上所述，因为回收容器508仅具有nmp精制液的回收功能，所以不会随着时间而切换功能。在图9所示的状态下，nmp精制液的接收在第一容器311a内进行，分析在包含第二容器311b在内的循环路径上进行。即，第一容器311a作为接收容器发挥功能，第二容器311b作为分析容器发挥功能。当分析结束时，第二容器311b的nmp精制液被移送到回收容器508中。具体而言，如图10所示，阀v501a、v502b打开，阀v501b、v502a、v503a、v503b关闭。由此，由循环管路形成单元形成的循环路径被截止，第二容器311b作为移送容器发挥功能。在这期间，第一容器311a作为接收容器发挥功能。判断为分析结果不满足规定品质的nmp精制液通过打开阀v507，且关闭阀v506，被移送到不良液储备容器502中。当第一容器311a充满nmp精制液时，进行第一及第二容器311a、311b的切换操作。具体而言，打开阀v501b、v502a、v503a，关闭阀v501a、v502b、v503b。第一容器311a成为分析容器，第二容器311b成为接收容器。因此，第一及第二容器311a、311b的容量优选设定为在分析和从排出管路的排出所需要的时间期间，可接收被上述接收容器接收的分析对象液的总量、或从供给管路供给的分析对象液的总量。通过以上的切换操作，成为图11所示的状态，nmp精制液的接收在第二容器311b内进行，分析在包含第一容器311a在内的循环路径上进行。即，第一容器311a作为分析容器发挥功能，第二容器311b作为接收容器发挥功能。当分析结束时，第一容器311a的nmp精制液就被移送到回收容器508中。具体而言，如图12所示，打开阀v501b、502a，关闭阀v501a、v502b、v503a、v503b。由此，第一容器311a作为移送容器发挥功能。在此期间，第二容器311b作为接收容器发挥功能。当作为接收容器发挥功能的第二容器311b充满时，如图9所示，第一容器311a成为接收容器，第二容器311b成为分析容器，重复同样的过程。如上所述，切换单元能够以交替地将第一容器311a和第二容器311b中的一方切换成与供给管路即nmp精制液取出配管l308连接的接收容器，并将另一方切换成形成循环路径的分析容器的方式切换供给管路和循环管路形成单元。另外，切换单元能够在分析结束后，在作为接收容器发挥功能的容器与供给管路连接的状态下，切换循环管路形成单元及排出管路即排出管路l312，以使作为分析容器发挥功能的容器与排出管路连接。也可删除回收容器508。例如，锂离子二次电池的制造系统有时具有nmp精制液的接收槽。不仅向接收槽内补充再循环的nmp，还补充新的nmp。在这种接收槽中，有时能够以大流量一次性地供给来代替以恒定流量持续地供给nmp精制液。在将分析装置应用于分配部311的情况下，如果增大泵的容量，且一次性地将分析结束后的nmp精制液进行分配，则不需要设置回收容器508。在这种情况下，也认为移送结束后的移送罐会空到下一个切换时机，但由此会产生运用上的优点。在将分析装置应用于接收部101的情况下，如果nmp精制系统具备同样的接收槽，则也可省略回收容器508。判定为分析结果不良且储备于不良液储备容器502的nmp精制液的处理可根据分析结果来决定。在通过再次进行处理而满足判断基准的可能性高的品质水平的情况下，不良nmp精制液可返回到接收部101。在水分量过多且满足其他判断基准的情况下，通过进行脱水处理而满足判断基准的可能性较高。因此，在这种情况下，可省略第一子系统100中的再处理，向初级处理液槽106移送不良nmp精制液。纯度不满足规定值的不良nmp精制液可返回到离子交换装置104的入口侧。另外，在不良程度高且通过再次进行处理来满足判断基准的可能性较低的情况下，也可采用废弃处置。因此，这里已说明的分析装置以被含有有机溶剂和水的混合液的精制系统接收的上述混合液、或从上述精制系统分配出的精制后的有机溶剂为分析对象液进行分析，其具有：第一及第二容器，其可储备上述分析对象液；上述分析对象液的供给管路，其可切换地与上述第一容器或上述第二容器连接；循环管路形成单元，其可切换到与上述第一容器一同形成上述分析对象液的循环路径的第一循环管路、和与上述第二容器一同形成上述分析对象液的循环路径的第二循环管路中；分析单元，其对由上述循环管路形成单元形成的上述循环路径内的上述分析对象液进行分析；切换单元，其能够以交替地将上述第一容器和上述第二容器中的一方切换成与上述供给管路连接的接收容器，并将另一方切换成形成上述循环路径的分析容器的方式切换上述供给管路和上述循环管路形成单元。在该分析装置中，上述循环管路形成单元也可以具有使上述循环路径的上述分析对象液循环的循环泵。另外，在分析装置中，上述第一循环管路和上述第二循环管路具有共用的流路，上述分析单元也可以设置在上述共用的流路上。这些分析装置具备可切换地与上述第一容器或上述第二容器连接的分析结束液的排出管路，上述切换单元也可以在上述分析结束后，在作为上述接收容器发挥功能的容器与上述供给管路连接的状态下，可切换上述循环管路形成单元及排出管路，以使由上述循环管路形成单元形成的上述循环路径被截止，且作为上述分析容器发挥功能的容器与上述排出管路连接。这时，上述第一及上述第二容器也可以具有在上述分析和从上述排出管路的排出所需要的时间期间，接收被上述接收容器接收的上述分析对象液的总量的容量。进而，分析装置也可以具有与上述第一容器连接的第一惰性气体供给管路、与上述第二容器连接的第二惰性气体供给管路、与上述第一及第二惰性气体供给管路连接的母管、与上述母管连接的惰性气体的供给单元及气流管路，上述第一惰性气体供给管路、上述第二惰性气体供给管路、上述母管、和上述气流管路相互连通。或者，这些分析装置也可以具有可储备分析结束液的第三容器、可切换地与上述第一至第三容器连接的上述分析结束液的排出管路，上述供给管路也可以可切换地与上述第一至第三容器连接，上述循环管路形成单元也可以有选择地形成上述第一循环管路、上述第二循环管路、与上述第三容器一同形成上述分析对象液的循环路径的第三循环管路，对于上述切换单元，也可以切换上述供给管路、上述排出管路和上述循环管路形成单元，以使得交替地替换上述第一至第三容器中的一个作为上述接收容器发挥功能，另一个作为上述分析容器发挥功能，其余一个作为储备上述分析结束液并且与上述排出管路连接的移送容器。这时，上述第一至第三容器也可以具有在进行上述分析期间，接收被上述接收容器接收的上述分析对象液的总量的容量。进而，该分析装置也可以具有：第一惰性气体供给管路，其与上述第一容器连接；第二惰性气体供给管路，其与上述第二容器连接；第三惰性气体供给管路，其与上述第三容器连接；母管，其与上述第一至第三惰性气体供给管路连接；惰性气体的供给单元及气流管路，其与上述母管连接，上述第一惰性气体供给管路、上述第二惰性气体供给管路、上述第三惰性气体供给管路、上述母管和上述气流管路也可以相互连通。具有这种分析装置的精制系统除具有分析装置以外，还具有：储备判断为上述分析结果不良的不良液的不良液储备容器、从上述排出管路分支并与上述不良液储备容器连接的不良液移送管路、上述排出管路和上述移送管路的切换单元。(冷凝液的去除)利用图1至图4进行了说明的精制系统1具备膜脱气装置103。在膜脱气装置103中，由于在作为脱气对象的液体为有机溶剂或者为有机溶剂的水溶液的情况下，有机溶剂也经由脱气膜而泄漏，因此真空泵109会吸取含有有机溶剂的蒸汽的气体。在膜脱气装置的减压以外的用途中使用真空泵时，真空泵有时也因使用条件而吸取含有有机溶剂的蒸汽的气体。作为用于将膜脱气装置的气体侧减压的真空泵，通常使用液封型的真空泵。但是，在以液封型真空泵吸取了含有有机溶剂的蒸汽的气体的情况下，有机溶剂会溶解在真空泵的密封液中。因为有机溶剂是有害物质，另外在液封式真空泵中，需要在排气的同时也时常进行密封液的排出，所以会由真空泵产生有害废液。另外，也有可能因有机溶剂的蒸汽压而得不到足够的真空度。因此，难以在存在有机溶剂的蒸汽的条件下使用液封式真空泵。因此，希望能够防止冷凝液进入干式真空泵中，由干式真空泵来持续吸取含有有机溶剂的蒸汽的气体。接着，对用于从图1所示的精制系统1的真空泵109中去除冷凝液的结构进行说明。图14详细表示图1所示的精制系统1中的膜脱气装置103和其周边的结构，图15详细表示同一真空泵109和其周边的结构。图14和图15是以整体上成为一张图的方式连续绘制的，在图中，标记有数字“1”或“2”的圆的符号表示在该符号的位置连接图14及图15。在图1中，仅绘制出了一个膜脱气装置103，但实际上，如图14所示，经由连接配管620而串联连接有两个膜脱气装置103a、103b。各膜脱气装置103a、103b构成为能够一边用氮气等惰性气体进行吹扫，一边进行液体的脱气。下面，使用氮气作为吹扫气体进行说明。不过，作为吹扫气体，如果是对有机溶剂的反应性小的气体，则也可使用其他气体，例如也可使用氩气。在图中，膜脱气装置103a、103b中的虚线表示脱气膜，虚线夹着的区域为液体侧，即液体的通路，虚线外侧的区域成为气体侧，即气体透过侧。在图1中，作为用于使nmp水溶液返回到接收部101即原液罐的管路，仅绘制出了来自离子交换装置104的返回管路l107，但在这里所示的例子中，也设有与接收部101连接的两个返回管路l107a、l107b。首先，利用图14对膜脱气装置103a、103b和其周边的、主要与液体流动的部分相关的结构进行说明。在第一膜脱气装置103a上，相对于设置在其底部的液体入口，连接有入口配管611，相对于设置在顶部的液体出口，连接有出口配管614。从第一精密过滤膜装置102供给nmp水溶液的第三nmp水溶液供给管路l103依次经由阀601、配管605及膨胀管612与入口配管611连接。为了测量向第一膜脱气装置103a供给的nmp水溶液的压力，在配管605上经由阀606连接有压力传感器607，进而经由阀608连接有采样点s。第一膜脱气装置103a的出口配管614经由膨胀管617连接有上述的连接配管620的一端，并且连接有大气连通阀615。同样，在第二膜脱气装置103b上，相对于设置在其底部的液体入口，连接有入口配管621，相对于设置在顶部的液体出口，连接有出口配管624。连接配管620的另一端经由膨胀管622与入口配管621连接。在出口配管624上经由膨胀管627连接有配管630的一端，并且连接有大气连通阀625。配管630的另一端经由阀631与对离子交换装置104供给膜脱气处理后的nmp水溶液的第四nmp水溶液供给管路l104连接。为了测量从第二膜脱气装置103a排出的nmp水溶液的压力，在配管630上经由阀634连接有压力传感器635，进而经由阀636连接有采样点s。设有用于将膜脱气装置103a、103b内的液体排出的排出配管602，第一膜脱气装置103a的入口配管611经由阀613与排出配管602连接，第二膜脱气装置103b的入口配管621经由阀623与排出配管602连接。设有用于将排出配管602内的液体排出到外部的排泄阀603。进而，排出配管602经由阀604与返回管路l107a连接。为了根据需要使从第二膜脱气装置103b经由出口配管624而排出的液体流向排出配管602，在配管630和排出配管602之间设有阀632。进而，为了不经由膜脱气装置103a、103b就使来自第三nmp水溶液供给管路l103的nmp水溶液流向第四nmp水溶液供给管路l104，设有旁通配管609，在旁通配管609上设有旁通阀610。为了测量向第一膜脱气装置103a供给的nmp水溶液的溶解氧浓度来产生警报，设有从第三nmp水溶液供给管路l103分支的配管641，在配管641上，从第三nmp水溶液供给管路l103侧起依次设有阀642、泄漏阀643、电磁阀644、溶解氧警报传感器645，该配管641经由止回阀646与返回管路l107b连接。同样，为了测量从第二膜脱气装置103a排出的nmp水溶液的溶解氧浓度来产生警报，设有从配管630分支的配管651，在配管651上，从配管630侧起依次设有阀652、泄漏阀653、电磁阀654、溶解氧警报传感器655，该配管651经由止回阀656与返回管路l107b连接。接着，对膜脱气装置103a、103b和其周边的与气体流动相关的结构进行说明。在膜脱气装置103a、103b的底部设有用于使其气体侧排气的排气出口，这些排气出口与通过后述的真空泵109来排气的排气管路600连接。在本实施方式中，如上所述，在膜脱气装置103a、103b中，一边利用氮气进行吹扫，一边进行膜脱气。因此，引入了惰性气体供给母管l401，相对于惰性气体供给母管l401，连接有阀660的入口，在阀660的出口处经由电磁阀662，连接有配管661，并且也连接有配管663。配管661是用于为了吹扫而向膜脱气装置103a、103b供给氮气的配管。在配管661和第一膜脱气装置103a的吹扫气体的入口之间，从配管661侧起依次设有流量传感器666、压力调节阀667及节流阀668。同样。在配管661和第二膜脱气装置103b的吹扫气体的入口之间，从配管661侧起依次设有流量传感器671、压力调节阀672及节流阀673。配管663是为了利用氮气来挤出并去除残留于膜脱气装置103a、103b的液体侧的液体而设置的配管，经由阀616相对于第一膜脱气装置103a的出口配管614连接，并且经由阀626相对于第二膜脱气装置103b的出口配管624连接。接着，利用图15对真空泵109和其周边的结构进行说明。作为真空泵109，使用干式真空泵。在本实施方式的情况下，由于膜脱气装置103a、103b进行含有有机溶剂的液体即nmp水溶液的膜脱气，因此在从膜脱气装置103a、103b经由排气管路600流向真空泵109侧的气体中含有有机溶剂的蒸汽。而且，有机溶剂从该气体中冷凝，成为冷凝液，当冷凝液流入真空泵109时，就会成为干式真空泵即真空泵109的故障原因。因此，在本实施方式中，在真空泵109的初级侧(流入侧)设有捕捉并暂时储备冷凝液的排泄罐711。另外，在真空泵109的二级侧(排气侧)，通过将排气压缩到大气压，从而有机溶剂的沸点上升，排气所含的有机溶剂急剧冷凝，因此在真空泵109的二级侧，也同样地设有排泄罐751。由于排泄罐711、751可储备的冷凝液的量有限，因此在本实施方式中，能够自动排出排泄罐711、751内的冷凝液，冷凝液不会从排泄罐711、751溢出。排气管路600经由电磁阀713与第一排泄罐711即泵初级侧的排泄罐的入口连接。排泄罐711例如为圆筒形，其入口设置于作为圆筒的侧面。在第一排泄罐711上附属设置有监测其内部的冷凝液的液位而输出警报的液位警报传感器712。在第一排泄罐711的底部连接有用于排出冷凝液的排泄管715，在顶部连接有用于排出在该排泄罐中被气液分离后的气体的排气管714。在排气管路600上，经由阀701连接有监测真空度而产生警报的真空度警报传感器702。第一排泄罐711的排气管714经由电磁阀723与真空泵109的初级侧即进气口连接。在真空泵109的初级侧连接有串联地设有阀726和电磁阀727的大气连通管725，经由节流阀728连接有泄漏阀729，经由阀730还连接有压力传感器731。在真空泵109的二级侧即排气口处设有消音器740，真空泵109的废气经由与消音器740连接的配管741被排出到外部。虽然在图15中未图示，但在废气中也含有有机溶剂的蒸汽，因此要在向外部排出时进行适当的废气处理。在配管741上，从消音器740侧起依次设有膨胀管742及阀743。为了将通过真空泵109的废气被压缩到大气压而产生的冷凝液导入第二排泄罐751中，设有将消音器740和第二排泄罐751的入口之间连接的配管744。在配管744上设有阀745和电磁阀753。第二排泄罐751也为圆筒形状，其入口设置于作为圆筒的侧面。在第二排泄罐751上附属设置有监测其内部的冷凝液的液位而输出警报的液位警报传感器752，并且在其底部连接有用于将冷凝液排出的排泄管755。排泄罐711、751内的冷凝液基本上是含有水分的有机溶剂(这里为nmp)，在将冷凝液从排泄罐711、751排出时，不优选工作人员等接触，另外，也不优选直接排放到环境中。因此，将从排泄罐711、751内排出的冷凝液作为nmp水溶液而回收在接收部101即原液罐中。另外，来自排泄罐711、751的冷凝液的排出通过将氮气导入排泄罐711、751中将冷凝液挤出来进行。因此，引入了惰性气体供给母管l401，惰性气体供给母管l401经由阀766及压力调节阀767与配管770连接。配管770和第一排泄罐711的排气管714经由串联连接的节流阀771、电磁阀772及阀773而连接。同样，配管770和与第二排泄罐751的顶部连接的配管754经由串联连接的节流阀774及电磁阀775而连接。第一排泄罐711的排泄管715连接有排泄阀716，并且经由配管717与返回管路l107b连接。在配管717上，从第一排泄罐711侧起依次设有阀718、电磁阀719及止回阀720。同样，第二排泄罐751的排泄管755连接有排泄阀756，并且经由配管757与返回管路l107b连接。在配管757上，从第二排泄罐751侧起依次设有阀758、电磁阀759及止回阀760。进而，为了基于液位警报传感器712、752的输出来控制电磁阀713、719、723、753、759、772、775的开闭，设有控制装置790。接着，对本实施方式的膜脱气进行说明。在进行经由第三nmp水溶液供给管路l103而供给的nmp水溶液的脱气时，关闭阀610、613、615、616、623、625、626、632，打开阀601、631，nmp水溶液从第三nmp水溶液供给管路l103经过配管605、第一膜脱气装置103a、连接配管620、第二膜脱气装置103b及配管630而流到第四nmp水溶液供给管路l104中。打开与惰性气体供给母管l401连接的阀660，使真空泵109工作，经由排气管路600将膜脱气装置103a、103b的气体侧减压，与此同时，打开电磁阀662，使氮气流向膜脱气装置103a、103b的气体侧作为吹扫气体。由此，nmp水溶液在穿过膜脱气装置103a、103b时被脱气，脱气处理后的nmp水溶液被供给到第四nmp水溶液供给管路l104中。这时，在真空泵109的周围，阀716、756关闭，阀743、745、756打开，利用控制装置790，电磁阀713、723、753被控制为开，电磁阀719、759、772、775被控制为闭。位于来自惰性气体供给母管l401的氮气的路径上的阀766、773、设置于配管717、757上的阀718、758、设置于大气连通管725上的阀726也打开。在图14及图15中，用实线箭头表示进行膜脱气处理时的nmp水溶液流，用虚线箭头表示气体流。接着，对各排泄罐711、751内的冷凝液的自动排出进行说明。当使真空泵109工作而在膜脱气装置103a、103b中进行膜脱气处理时，就会在排泄罐711、751内逐渐积存冷凝液。在第一排泄罐711内的冷凝液的液位超过规定的第一上限值时，从液位警报传感器712输出警报。该警报由控制装置790接收。当控制装置790接收了来自第一排泄罐711的液位警报传感器712的警报时，就进行将电磁阀713、723关闭，且将电磁阀719、727、772打开的控制。其结果，第一排泄罐711从排气管路600被断开，也从真空泵109被断开。然后，从惰性气体供给母管l401经过排气管714向第一排泄罐711导入氮气。通过该氮气，将第一排泄罐711内的冷凝液挤出，冷凝液从排泄管715经由配管717流向返回管路l107b。冷凝液经过返回管路l107b，被回收到nmp水溶液的接收部101即原液罐中。由于第一排泄罐711内的冷凝液的回收工作所需要的时间为短时间，因此，在膜脱气装置103a、103b中，也可以使nmp水溶液持续流动。虽然真空泵109也持续工作，但真空泵109会经由大气连通管725将大气吸入。当液位警报传感器712检测到第一排泄罐711内的冷凝液的液位低于规定的下限值时，控制装置790就进行将电磁阀713、723打开，且将电磁阀719、727、772关闭的控制。其结果，真空泵109返回到经由排气管路600将膜脱气装置103a、103b的气体侧减压这样的最初的工作中。当第二排泄罐751内的冷凝液的液位超过规定的第二上限值，且从液位警报传感器752输出了警报时，接收了该警报的控制装置790就进行将电磁阀753关闭，且将电磁阀759、775打开的控制。其结果，第二排泄罐751与真空泵109的排气侧分离，取而代之，经由设置于第二排泄罐751的上部的配管754向第二排泄罐751内导入氮气。通过该氮气，第二排泄罐751内的冷凝液被挤出，冷凝液从排泄管755经由配管757流向返回管路l107b，被回收到nmp水溶液的接收部101即原液罐中。在进行第二排泄罐751的冷凝液的回收工作时，真空泵109经由排气管路600将膜脱气装置103a、103b的气体侧持续减压。第二排泄罐751从真空泵109被断开，虽然会在消音器740内产生冷凝液，但由于第二排泄罐751的冷凝液的回收工作所需要的时间为短时间而在该时间内产生的冷凝液的量很少，且在回收工作结束后流入第二排泄罐751内，因此不会因该冷凝液的产生而发生问题。当液位警报传感器752检测到第二排泄罐751内的冷凝液的液位低于规定的下限值时，控制装置790就进行将电磁阀753打开，且将电磁阀759、775关闭的控制。其结果是，返回到在真空泵109的二级侧产生的冷凝液流入并贮存在第二排泄罐751中这样的最初的工作中。在图15中，点划线所示的箭头表示进行冷凝液的回收工作时的氮气流，双线所示的箭头表示从排泄罐711、751挤出并回收在接收部101即原液罐中的冷凝液的流动。根据以上说明的冷凝液的去除方法，通过在干式真空泵109的初级侧配置排泄罐711而在排泄罐711中进行气液分离，且冷凝液暂时贮存在排泄罐711中而仅气体流入真空泵109，从而能够抑制由冷凝液的流入引起的真空泵109的故障发生。同样，通过在真空泵109的二级侧也设置排泄罐751，也能够防止通过二级侧的废气利用大气压被压缩而产生的冷凝液流入真空泵109中，能够进一步抑制真空泵109的故障发生。因此，难以应用液封式真空泵，可利用干式真空泵来实施含有有机溶剂的蒸汽的气体的吸取。将排泄罐711、751内的冷凝液的量分别由液位警报传感器712、752监测，在冷凝液的量超过了规定的上限值时，通过向排泄罐711、751内导入惰性气体而使冷凝液从排泄罐711、751中自动排出，从而不用担心排泄罐711、751中的冷凝液的溢出等，能够使真空泵109连续运转。以上，对设置于精制有机溶剂的精制系统的用于将膜脱气装置的气体透过侧减压的真空泵中的冷凝液的去除方法进行了说明，但冷凝液的去除方法设为对象的真空泵不限定于膜脱气装置的运转所使用的干式真空泵。例如，对于在渗透汽化膜装置中用于将渗透汽化膜的透过侧减压的真空泵、在蒸发器或减压蒸馏装置中用于减压的干式真空泵，也能够应用这里已说明的冷凝液的去除方法。另外，因为通过真空泵来减压，所以作为吸取对象的气体是含有有机溶剂的蒸汽的气体，但作为有机溶剂，不限定于甲醇、乙醇、2-丙醇等各种醇类或上述表1记载的溶剂。例如可举出苯及其衍生物、萘及其衍生物、丙酮或甲基乙基酮等各种酮类、四氢呋喃等各种杂环化合物、二乙醚等各种醚类、乙醛等各种醛类等。设置于膜脱气装置103a、103b的脱气膜是在经过了规定的使用时间或确认了脱气性能的降低时进行更换的耗材。在更换脱气膜的情况下，必须将残留于膜脱气装置103a、103b的nmp水溶液排出，但由于nmp水溶液是含有有机溶剂的液体，因此在其排出时必须防止工作人员接触或者吸入nmp的蒸汽。另外，为了将nmp水溶液排放到环境中，需要进行废液处理，并且nmp水溶液自身也是宝贵资源。因此，在本实施方式中，在膜脱气装置103a、103b中进行脱气膜的更换时，在该时刻将残留于膜脱气装置103a、103b内的nmp水溶液回收在接收部101即原液罐中。在将残留于膜脱气装置103a、103b内的nmp水溶液回收时，关闭阀601、603、615、625、631、632、652，打开阀604、613、616、623、626、660。这时，电磁阀662被控制为闭。由此，从惰性气体供给母管l401经由配管663、阀616、626及出口配管614、624向膜脱气装置103a、103b内导入氮气，该氮气在膜脱气装置103a、103b中将存在于比脱气膜更靠液体侧的nmp水溶液挤出。被挤出的nmp水溶液经由入口配管611、621及阀613、623流入排出配管602，进而流入返回管路l107a，被回收至接收部101。如果来自膜脱气装置103a、103b的nmp水溶液的回收已完成，则只要将所有阀都关闭，然后打开膜脱气装置103a、103b的盖，从中取出脱气膜，并将新的脱气膜安装在膜脱气装置103a、103b内即可。在图14中，点划线箭头表示将nmp水溶液回收在原液罐时的氮气流，双线的箭头表示回收于原液罐的nmp水溶液的流动。因此，这里已说明的干式的真空泵中的冷凝液的去除方法是吸取含有有机溶剂的蒸汽的气体的干式真空泵中的冷凝液的去除方法，其中，在上述真空泵的初级侧设有第一排泄罐，将上述气体导入上述第一排泄罐中，进行气液分离，仅将气液分离后的气体成分吸入上述真空泵中，监测上述第一排泄罐内的液体的液位，在上述液位超过规定的第一上限值时，停止上述气体向上述第一排泄罐的流入，并且将上述第一排泄罐从上述真空泵断开，向上述第一排泄罐内导入惰性气体，通过上述惰性气体，从上述第一排泄罐内将上述液体挤出而排出。含有上述有机溶剂的蒸汽的气体例如是从膜脱气装置的气体透过侧吸取的气体。在该去除方法中，也可以将从上述第一排泄罐中挤出的上述液体回收在罐中。在这些去除方法中，也可以在上述真空泵的二级侧设置第二排泄罐，将由上述真空泵的废气产生的冷凝液贮存在上述第二排泄罐中。在设有第二排泄罐的情况下，也可以监测上述第二排泄罐内的液体的液位，在上述第二排泄罐内的液体的液位超过规定的第二上限值时，停止上述冷凝液向上述第二排泄罐的流入，并且向上述第二排泄罐内导入惰性气体，通过上述惰性气体，从上述第二排泄罐中将上述液体挤出而排出。进而，也可以将从上述第二排泄罐中挤出的上述液体回收在罐中。这里已说明的干式的真空泵中的冷凝液的去除装置具备：第一排泄罐，其在上述真空泵的初级侧，设置于被上述真空泵吸入的气体的路径上，进行气液分离，仅将气体成分输送到上述真空泵；第一传感器，其检测上述第一排泄罐内的液体的量；惰性气体的供给源；控制装置，其进行如下控制，即，在上述第一排泄罐内的液体的量超过规定的第一上限值时，停止上述气体向上述第一排泄罐的导入，并且将上述第一排泄罐从上述真空泵断开，从上述供给源向上述第一排泄罐导入上述惰性气体，通过上述惰性气体，将上述液体从上述第一排泄罐内挤出而排出。该去除装置还具备：第二排泄罐，其设置在上述真空泵的二级侧，贮存由上述真空泵的废气产生的冷凝液；第二传感器，其检测上述第二排泄罐内的液体的量，上述控制装置也可以进行如下控制，即，在上述第二排泄罐内的液体的量超过规定的第二上限值时，停止上述冷凝液向上述第二排泄罐的导入，从上述供给源向上述第二排泄罐导入上述惰性气体，通过上述惰性气体，从上述第二排泄罐内将上述第二排泄罐内的上述液体挤出而排出。(耗材的更换和回收)上述的精制系统采用组合对液体进行处理的多个处理装置而成的结构，通常在对液体进行处理的处理装置中，有如下装置，即，通过在容器形态的装置内填充耗材，并使液体与该耗材接触，来进行液体的处理的装置。作为这样的装置，有例如具有离子交换树脂作为耗材的离子交换装置、具有脱气膜的膜脱气装置、具有精密过滤膜的精密过滤膜装置、具有活性炭的活性炭装置等。这些装置的耗材需要在装置不能实现所期望的性能时，或者在经过了一定的更换间隔时进行更换。这种装置中的作为处理对象的液体有时是城市用水或井水，有时是有机溶剂自身或者水和有机溶剂的混合液等。在填充有耗材而对液体进行处理的装置中，为了更换该耗材，需要将已存在于装置内的处理对象液体排出。目前，打开设置于容器形态的装置的底部的排出阀(排泄阀)，通过重力将液体排出到装置外。这时，工作人员等有可能与处理对象的液体接触。在处理对象液体是例如含有nmp等有机溶剂的液体时，需要工作人员不要与从排出阀排出的液体接触，且需要工作人员不要吸入有机溶剂的蒸汽。在将处理对象液体排出到外部环境的情况下，除了花费该液体的废液处理费用以外，在处理对象液体是宝贵资源时，还会造成其相应的经济损失。因此，寻求到了一种填充有耗材而对液体进行处理的装置中的耗材的更换方法，其在更换耗材之前，在从装置中排出处理对象液体时，能够降低与该液体接触等风险，同时能够回收该液体进行再利用。进而，也寻求到了一种填充有耗材而对液体进行处理的装置中的耗材的更换所使用的回收装置，其在更换耗材之前，在从装置中排出处理对象液体时，能够降低与该液体接触等风险，同时能够回收该液体进行再利用。这样的更换方法、回收装置在本说明书所述的精制系统中极其有用。因此，对上述的精制系统1中的耗材的更换和回收进行说明。在精制系统1中，精密过滤膜装置102、105、膜脱气装置103、及离子交换装置104都是通过在容器形态的装置内填充耗材并使液体与该耗材接触来进行液体处理的装置。例如，在离子交换装置104中，进行通过填充离子交换树脂且使nmp水溶液与离子交换树脂接触，来去除nmp水溶液中的离子性杂质的处理。离子交换树脂因为在超过其离子交换容量时就不能吸附去除离子性杂质，所以需要在适当的时机更换离子交换装置104内的离子交换树脂。下面，作为图1所示的精制系统1中的耗材的更换的例子，对填充于离子交换装置104内的离子交换树脂的更换进行说明。图16是对耗材更换方法进行说明的图，详细表示出了图1所示的精制系统1中的离子交换装置104的部分。这里，出于提高系统的运转率等目的，并列配置两个离子交换装置，在一个离子交换装置中，进行来自nmp水溶液的离子性杂质的去除，同时在另一个离子交换装置中，进行耗材即离子交换树脂的更换，通过由两个离子交换装置交替地进行离子交换处理，从而在整体上连续地进行处理。另外，根据需要，将两个离子交换装置串联连接，使nmp水溶液能够通液于这两个离子交换装置。因此，在图16所示的例子中，设有分别具有一个离子交换装置104的两个处理单元800a、800b。而且，为了离子交换装置104可串联连接，设有处理单元800a、800b共用的共用管路l160。虽然在上述已说明的图1中未进行图示，但会从惰性气体供给母管l104向各处理单元800a、800b供给氮气。另外，将第五nmp水溶液供给管路l105中的、阀v101和其后级的精密过滤膜装置105之间的部分表示为供给管路l151。虽然在图1中未进行图示，但为了绕过离子交换装置104，设有使第四nmp水溶液供给管路l104和供给管路l151短路的旁通阀v152，在返回管路l107上设有用于防止nmp水溶液的倒流的止回阀v153。由于第一处理单元800a和第二处理单元800b的结构相同，因此这里对第一处理单元800a的结构进行说明。设置于处理单元800a的离子交换装置104具备与其塔顶部连接的入口配管805，在入口配管805上设有与大气连通的大气连通阀806和与惰性气体供给母管l104连接的惰性气体导入阀807。为了经由入口配管805将nmp水溶液供给到离子交换装置104，在入口配管805上也连接有由柔性管、膨胀管构成的连接部件804的出口端。连接部件804的入口端经由阀801与来自前级的膜脱气装置103的第四nmp水溶液供给管路l104连接，并且经由阀802与共用管路l160连接。在离子交换装置104中的入口配管805的连接部设有适当的过滤器，以使离子交换装置104内的离子交换树脂不进入入口配管805内。在离子交换装置104也安装有溢流阀808。在离子交换装置104的塔底部安装有排泄阀811。作为排泄阀811，使用球阀，以使离子交换装置104内的粒状的离子交换树脂可穿过。进而，在离子交换装置104的下部连接有上述的第五nmp水溶液供给管路l105。在离子交换装置104中，在第五nmp水溶液供给管路l105的安装位置设有适当的过滤器，以使其内部的离子交换树脂不向第五nmp水溶液供给管路l105侧流出。在第五nmp水溶液供给管路l105上经由阀814连接有采样点s，经由阀812连接有压力传感器813，进而，也设有对要穿过的nmp水溶液的导电率进行测量并发生警报的导电率警报传感器815。第五nmp水溶液供给管路l105经由上述的阀v102与返回管路l107连接。在第五nmp水溶液供给管路l105中，在比阀v101更靠跟前侧的位置配置有膨胀管816，且设有从膨胀管816和阀v101的中间位置分支并与共用管路l160连接的配管，在该配管上设有阀817。在图16中，用虚线箭头表示由设置于第二处理单元800b的离子交换装置800b进行nmp水溶液的离子交换处理时的nmp水溶液的流动。在这种情况下，在第一处理单元800a中，阀801、802、807、817、v101、v102关闭。在第二处理单元800b中，阀801、812、v101打开，其余阀都关闭。旁通阀v152也关闭。在以第一处理单元800a为前级且以第二处理单元800b为后级而将两个离子交换装置104串联连接来执行离子交换处理时，关闭旁通阀v152，在第一处理单元800a中，打开阀801、812、817，关闭其余阀，在第二处理单元800b中，打开阀802、812、v101，关闭其余阀。应予说明，在进行离子交换处理时，在进行从离子交换装置104排出的nmp水溶液的分析等时，只要打开阀814从采样点s采集nmp水溶液即可。接着，利用图17对第一处理单元800a的离子交换装置104内的离子交换树脂的更换进行说明。这时，第二处理单元800b可以持续进行nmp水溶液的离子交换处理。为便于说明，图17仅表示出了与第一处理单元800a相关的部分。在从进行了nmp水溶液的离子交换处理的状态到更换离子交换装置104内的离子交换树脂的情况下，必须将离子交换装置104内的nmp水溶液排出。由于nmp水溶液含有有机溶剂即nmp，因此应避免与所排出的nmp水溶液接触，另外，在向系统的外部排出的情况下，必须经过废液处理。因为图1所示的精制系统1原本也是以再利用宝贵的有机溶剂为目的的，所以从离子交换装置104排出的nmp水溶液也优选再利用。因此，在本实施方式中，将从离子交换装置104排出的nmp水溶液回收在图1所示的接收部101即原液罐中。在该回收时，需要防止nmp的氧化。因此，在本实施方式中，通过利用惰性气体、此时为氮气的挤出，从离子交换装置104中排出nmp水溶液，回收到接收部101。在图17中，点划线所示的箭头表示氮气从惰性气体供给母管l401向离子交换装置104的流动，虚线所示的箭头表示利用氮气从离子交换装置104挤出的nmp水溶液的流动。在从第一处理单元800a的离子交换装置104挤出nmp水溶液时，只要在第一处理单元800a中，打开阀807、v102，且关闭其余阀即可。通过以上处理，残留于离子交换装置104内的nmp水溶液被回收到原液罐即接收部101，不需要将离子交换装置104内的nmp水溶液排出到精制系统1的外部。其结果，例如能够防止随着经由排泄阀511排出离子交换装置104内的nmp水溶液而与nmp水溶液接触等，能够实现宝贵资源即nmp的有效利用。这里，使用氮气将离子交换装置104内的nmp水溶液挤出，但用于挤出的气体不限定于氮气。如果是对处理对象液体的反应性低的惰性气体，则可使用任意气体。例如，可使用氩气来代替氮气。虽然在nmp水溶液的情况下不能说是优选，但如果处理对象液体是不易氧化的液体，则也可使用空气作为挤出用的气体。如果将离子交换装置104内的nmp水溶液回收到了接收部101侧，则接着将离子交换装置104内的离子交换树脂取出。在该离子交换树脂上附着有nmp等，需要避免与取出后的离子交换树脂的接触。因此，在本实施方式中，着眼于离子交换树脂例如是直径1mm以下的粒状物质，添加水等作为分散用液体，将离子交换树脂制成浆料，以浆料形态从离子交换装置4中排出离子交换树脂而回收。图18是对将第一处理单元800a的离子交换装置104内的离子交换树脂回收的工序进行说明的图。通常，在装置、罐的排泄阀的下方设有用于接住从排泄阀排出的液体的排泄罐、排泄槽。在本实施方式的精制系统1中，如图18所示，在离子交换装置104的排泄阀811的下方设有排泄槽820，在排泄槽820上设有用于将排泄槽820内的液体排出的排出阀821。如上所述，由于从离子交换装置104中去除了nmp水溶液，因此在离子交换装置104内基本上成为仅存在离子交换树脂的状态。因此，在回收离子交换树脂时，在关闭了阀801、802、807、811、812、814、816、817、v101、v102的状态下，经由大气连通阀806向离子交换装置104内注入纯水等水。其结果是，离子交换装置104内的离子交换树脂成为浆料状。在该状态下打开排泄阀811时，成为浆料状的离子交换树脂从排泄阀811排出。通过在排泄阀811的出口和排泄槽820之间配置具有不使粒状的离子交换树脂穿过那样大小的网眼的网状袋822，从而仅离子交换树脂蓄积在袋822内，从浆料中分离出的水滞留在排泄槽820内。即，通过向袋822内导入浆料，进行离子交换树脂和水的固液分离。仅对离子交换装置104注入一次水，不一定能够回收离子交换装置104内的全部离子交换树脂。因此，临时设置泵823，通过软管824将排泄槽820的排出阀821的出口与泵823的初级侧即流入侧连接，通过软管825将泵823的二级侧即排出侧与大气连通阀806连接，使泵823运转，从而使排泄槽820内的水向离子交换装置104循环。在图18中，实线箭头表示泵823运转时的水、浆料的流动。利用泵823使水循环的结果是，最终将离子交换装置104内的全部离子交换树脂都回收在袋822内。如果离子交换树脂的回收已结束，则关闭排出阀821，并且使泵823停止，撤去泵823及软管824、825。由于滞留在排泄槽820内的水含有nmp，因此也可以在进行了适当的废液处理以后再排放到外部，还可以供给到原液罐即接收部101，还可以在下次进行离子交换树脂的回收时，作为用于向离子交换装置104内注入的水来保管。根据这里所述的离子交换树脂的回收方法，由于将离子交换树脂以浆料的形式从离子交换装置104排出，且利用袋822来回收，因此在取出离子交换树脂时，能够降低与离子交换树脂接触的可能性。另外，由于使为了制成浆料而添加在离子交换树脂中的水进行循环，因此与不循环而是连续地注入纯水等相比，能够降低被nmp污染的水的产生量。应予说明，泵823也可以为常设的泵。从离子交换装置104回收了离子交换树脂后，接着打开离子交换装置104的盖(未图示)等，将新品或再生的离子交换树脂填充在离子交换树脂105内，由此耗材即离子交换树脂的更换结束。以上，对更换离子交换装置104中的耗材即离子交换树脂的情况下的消耗品更换方法进行了说明，但该耗材更换方法也可应用于离子交换装置以外的装置。例如，在膜脱气装置中更换脱气膜时的来自膜脱气装置的处理对象液体的去除、在精密过滤膜装置中更换精密过滤膜时的来自精密过滤膜装置的处理对象液体的去除、在活性炭装置中更换活性炭时的来自活性炭装置的处理对象液体或活性炭的去除等方面，可应用该耗材更换方法。处理对象液体不限定于nmp和水的混合液即nmp水溶液。在对应该避免接触或向外部环境排放的液体进行处理的装置中，可优选使用该耗材更换方法。耗材也可以为沸石、合成吸附剂、螯合材料等粒状的过滤(过滤)材料。如果是粒状耗材，则可在从装置中去除了处理对象液体以后，通过图18所示的顺序，从装置中回收耗材。因此，上述的消耗品更换方法是一种更换填充在对液体进行处理的装置内的耗材的耗材更换方法，其中，从上述装置的上部向上述装置内导入气体，通过上述气体，将残留在上述装置内的液体挤出，从上述装置的下部排出而回收。上述气体例如是对上述液体非活性的气体。在该耗材更换方法中，也可以将从上述装置排出的液体回收在罐内，上述罐例如是为了对上述装置供给上述液体而设置的罐。在上述的消耗品更换方法中，上述耗材例如为粒状。在上述耗材为粒状的情况下，也可以在从上述装置排出了上述液体以后，向上述装置导入分散用液体，将上述耗材制成浆料，然后将上述浆料从上述装置的下部排出，来回收上述耗材。在这种情况下，也可以将从上述装置排出的上述浆料分离成上述耗材和上述分散用液体，使上述分散用液体向上述装置循环。上述耗材例如是离子交换树脂。更换填充在对液体进行处理的处理装置内的耗材时所使用的回收装置例如具有：第一阀，其设置在向上述处理装置供给上述液体的路径上；第二阀，其与为了将由上述耗材处理过的液体排出而设置于上述处理装置的下部的出口连接；气体的供给源；第一配管，其将上述供给源和上述处理装置的上部连接；第三阀，其设置于上述第一配管；第四阀，其设置在上述出口和回收上述液体的管路之间。在该回收装置中，在对上述液体进行处理时，打开上述第一阀和上述第二阀，关闭上述第三阀和上述第四阀，在进行上述耗材的更换时，关闭上述第一阀和上述第二阀，打开上述第三阀和上述第四阀，将上述气体导入上述处理装置内，通过上述气体，将残留在上述处理装置内的液体挤出，从上述出口回收在上述管路中。符号说明102、105精密过滤膜装置103、103a、103b膜脱气装置104离子交换装置108加热器202、203、204渗透汽化膜组件202a、203a、204a浓缩室202b、203b、204b透过室202c、203c、204c渗透汽化膜251、261、271、281冷凝器252、262、272、282罐253、263、273、283泵264温度传感器265电磁调节阀。当前第1页12