一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置的制作方法

本实用新型属涉及废气吸收处理技术领域，具体涉及一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置。

背景技术：

在多晶硅生产过程中，由于生产需要，各工艺装置(如提纯装置、还原尾气干法回收装置、冷氢化装置、还原装置、罐区等)都不可避免的会排放一定量的尾气(也称为废气)，其主要成分为：sicl4、sihcl3、sih2cl2、hcl、h2、n2。随着多晶硅的生产规模的不断扩张，尾气排放量也随之激增，一方面会大量浪费尾气中的氯硅烷资源，另一方面由于氯硅烷具有污染性，如外泄会对环境造成严重污染，因此需要对多晶硅生产过程中形成的尾气进行相应的吸收处理。

传统的氯硅烷废气处理方法因为分散或雾化效果不好，导致局部氯硅烷浓度高，水解不完全，产生的hcl、h2气体弥漫在池面，经常发生燃爆事故，污染环境。

技术实现要素：

本实用新型意在提供一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置，以解决现有技术中氯硅烷水解不完全，产生的hcl、h2气体弥漫在池面，容易发生燃爆事故，污染环境的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置，包括水解反应器，水解反应器连通有水解产物容器，水解反应器顶部开设有第一气孔，靠近水解反应器的位置设有洗涤塔，洗涤塔底部开设有第二气孔，第二气孔与第一气孔之间连接有气管，第二气孔处设有第一单向阀，洗涤塔内设有两个喷头，洗涤塔顶部开设有出气口，洗涤塔底部固定连接有底板。

进一步地，洗涤塔的两侧分别设有收集箱，收集箱内设有过滤器，收集箱与喷头连通，底板上固定连接有支撑板5，支撑板5上端铰接有盖板，支撑板5铰接有用于支撑盖板的支撑杆；通过转动盖板和支撑杆，使得盖板与支撑杆接触，此时支撑杆与盖板保持相互支撑的状态。

进一步地，洗涤塔连通有洗涤剂回收再生装置；再生装置实现资源的充分利用。

进一步地，盖板为弧形，出气口处设有第二单向阀；当洗涤塔放置在户外时，转动弧形盖板能够收集雨水到收集箱内。

进一步地，底板底部安装有滚轮；滚轮便于洗涤塔的移动。

本实用新型的有益效果在于，本实用新型中涉及的设备部件较少，生产流水线的固定资产投入较少。本实用新型改变了传统工艺，其工艺简洁，节能，减轻了环保压力。而且，洗涤剂的循环使用，消耗较少，有效减轻了有机硅生产环保压力。

附图说明

图1为本实用新型实施例一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例洗涤塔的侧视图。

图中，1、水解反应器；2、水解产物容器；3、洗涤塔；4、底板；5、支撑板；6、盖板；7、喷头；8、收集箱；9、回收再生装置；10、滚轮；11、出气口。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或可以互相通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例基本如附图1所示：一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置，包括水解反应器1，水解反应器1连通有水解产物容器2，水解反应器1顶部开设有第一气孔，靠近水解反应器1的位置设有洗涤塔3，洗涤塔3的两侧分别设有收集箱8，收集箱8内设有过滤器，收集箱8与喷头7连通，洗涤塔3底部固定连接有底板4，底板4底部安装有滚轮10，底板4上固定连接有支撑板5，支撑板5上端铰接有弧形的盖板6，支撑板5铰接有用于支撑盖板6的支撑杆。

洗涤塔3底部开设有第二气孔，第二气孔与第一气孔之间连接有气管，第二气孔处设有第一单向阀，洗涤塔3内设有两个喷头7，洗涤塔3顶部开设有出气口11，出气口11处设有第二单向阀，洗涤塔3连通有洗涤剂回收再生装置9。

氯硅烷水解完成后，产生的气体通过气管流向洗涤塔3，喷头7喷出水溶液，将除h2、n2的其它废气过滤反应掉，h2、n2通过出气口11排放到空气中。当洗涤塔3放置在户外时，通过转动盖板6和支撑杆，可将雨水收集到收集箱8内，进行循环利用。洗涤塔3内的洗涤液通过回收再生装置9进行再次利用，减轻了环保压力。

以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。

技术特征：

1.一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置，包括水解反应器，其特征在于：所述水解反应器连通有水解产物容器，水解反应器顶部开设有第一气孔，靠近水解反应器的位置设有洗涤塔，所述洗涤塔底部开设有第二气孔，所述第二气孔与第一气孔之间连接有气管，所述第二气孔处设有第一单向阀，所述洗涤塔内设有两个喷头，所述洗涤塔顶部开设有出气口，洗涤塔底部固定连接有底板。

2.根据权利要求1所述的一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置，其特征在于：所述洗涤塔的两侧分别设有收集箱，收集箱内设有过滤器，所述收集箱与喷头连通，所述底板上固定连接有支撑板5，所述支撑板5上端铰接有盖板，支撑板5铰接有用于支撑盖板的支撑杆。

3.根据权利要求2所述的一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置，其特征在于：所述洗涤塔连通有洗涤剂回收再生装置。

4.根据权利要求3所述的一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置，其特征在于：所述盖板为弧形，所述出气口处设有第二单向阀。

5.根据权利要求4所述的一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置，其特征在于：所述底板底部安装有滚轮。

技术总结
本实用新型公开了一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置，涉及废气吸收处理技术领域，包括水解反应器，水解反应器连通有水解产物容器，水解反应器顶部开设有第一气孔，靠近水解反应器的位置设有洗涤塔，洗涤塔底部开设有第二气孔，第二气孔与第一气孔之间连接有气管，第二气孔处设有第一单向阀，洗涤塔内设有两个喷头，洗涤塔顶部开设有出气口，洗涤塔底部固定连接有底板。本装置解决了氯硅烷水解不完全，产生的HCl、H2气体弥漫在池面，容易发生燃爆事故，污染环境的问题，且整体结构简单，实用性强。

技术研发人员：陶美霞;黄建广;承丽君;王国庆
受保护的技术使用者：无锡希亚诺新材料科技有限公司
技术研发日：2019.12.16
技术公布日：2020.08.14