一种CVD设备尾气处理装置的制作方法

本实用新型涉及一种生产热解氮化硼的cvd设备尾气处理装置，属于尾气处理设备领域。

背景技术：

目前在生产热解氮化硼的cvd设备生产中产生的尾气是通过真空泵来抽取的，抽去后的尾气通过喷淋装置对尾气进行吸附排放的，但此方式属于后端处理，尾气在经过真空泵时反应物氯化铵(nh4cl)会附着到所属管道及泵腔内壁，极易造成真空泵卡死等故障的发生，使生产中断，造成产品报废，也大大增加了清理的工作量，故需要重新设计一种前段尾气处理，在尾气出cvd设备后，进入真空泵前进行处理，减少尾气生成颗粒杂质，减少真空泵故障及清理频次。

技术实现要素：

针对现有尾气吸附装置的不足，本发明提供一种前段尾气吸附装置，可在尾气进入真空泵前对其进行吸附，降低真空泵故障。

本实用新型的技术方案如下：

一种生产热解氮化硼的cvd设备尾气处理装置，包括外壳体、内层过滤装置；外壳体为筒状结构，包括盖体和罐体，盖体、罐体之间可拆卸连接；内层过滤装置为环状，内层过滤装置同轴套设于外壳体内，内层过滤装置侧壁由内至外依次为吸附过滤层、精密过滤器层；所述盖体上端设置有进气烟道；罐体上设置有出气烟道。

根据本实用新型，优选的，所述外壳体直径为500-1000mm，高度为1200-1800mm。

根据本实用新型，优选的，所述吸附过滤层直径为200-350mm。

根据本实用新型，优选的，所述精密过滤器层直径为400-450mm。

根据本实用新型，优选的，所述吸附过滤层内含有浸渍型活性炭及催化剂。

尾气首先从进气管道进入内层过滤装置，内层过滤装置为环状结构，尾气进入环状结构内环，进入吸附过滤层，吸附过滤层内部含有浸渍型活性炭及催化剂，催化剂对尾气中的氯化氢(hcl)和氨气(nh3)进行催化、吸附，减少两者的含量；附残余两种的气体结合生成氯化铵颗粒(nh3+hci＝＝nh4cl)，浸渍型活性炭用于进行颗粒的吸附，其中催化剂本化学反应的常用催化剂，优选可以选择山西新华化工有限公司生产的zh09型催化剂)

根据本实用新型，优选的，所述精密过滤器层为聚酯5微米的精密过滤器。

随后进入精密过滤器层，精密过滤器层为圆筒型聚酯5微米的精密过滤器，聚酯5微米的精密过滤器为市场上可以购得的现有装置，可以进行高精度的颗粒过滤，对氯化铵颗粒进行阻拦；经过吸附、颗粒阻拦的尾气自出气管道排出过滤装置，进入后续处理的真空泵中。

根据本实用新型，优选的，所述罐体内底部设置有固定槽，内层过滤装置设置于固定槽内。通过打开罐体和盖体，可以方便替换内层过滤装置，同时内层过滤装置通过固定槽固定放置，使其位置固定。

本实用新型的有益效果在于：

1.本发明将尾气处理前置，有利于减少进入真空泵的氯化铵颗粒，减少真空泵卡死机率，避免故障造成的停产损失；

2.利用先催化、吸附后过滤的双重过滤方式，有效减少氯化铵颗粒的形成及进入真空泵的杂质量，并且方便将过滤器取出更换，大大延长清理周期及清理工作量；

3.由于本装置对尾气有效的进行处理，可有效减少后端尾气处理装置的处理量，节约尾气处理设备运行成本。

附图说明：

图1本实用新型结构示意图；

其中1、出气烟道；2、罐体；3、盖体；4、进气烟道；5、精密过滤器层；6、吸附过滤层；7、固定槽。

具体实施方式

下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。

实施例1：

如图1所示，一种生产热解氮化硼的cvd设备尾气处理装置，包括外壳体，外壳体直径为500mm，高度为1500mm；外壳体为筒状结构，包括盖体3和罐体2，盖体3和罐体2之间活动连接，可以方便打开，更换内层过滤装置。内层过滤装置同轴套设于外壳体内，通过外壳体内底部设置的固定槽7进行固定，内层过滤装置为环状，内层过滤装置侧壁由内至外依次为吸附过滤层6、精密过滤器层5；吸附过滤层6直径为300mm，吸附过滤层6为细网状壳体，内部含有浸渍型活性炭及催化剂，精密过滤器层5直径为400mm。精密过滤器层5为聚酯5微米的精密过滤，选择日本智索牌的聚酯5微米的精密过滤；盖体3上侧面设置有进气烟道4；罐体2上设置有出气烟道1。

该尾气处理装置的进气烟道与cvd生产设备的出气管道连接，该尾气处理装置的出气烟道与真空泵的进气管道连接。尾气首先通过进气烟道4进入内层过滤装置，内层过滤装置为环状结构，尾气进入环状结构内环，进入吸附过滤层6，吸附过滤层6内部含有浸渍型活性炭及催化剂，催化剂对尾气中的氯化氢(hcl)和氨气(nh3)进行催化、吸附，减少两者的含量；附残余两种的气体结合生成氯化铵颗粒(nh3+hci＝＝nh4cl)，浸渍型活性炭用于进行颗粒的吸附，其中催化剂本化学反应的常用催化剂，可以选择山西新华化工有限公司生产的zh09型催化剂，随后进入精密过滤器层5，精密过滤器5为圆筒型聚酯5微米的精密过滤器，聚酯5微米的精密过滤器为市场上可以购得的现有装置，可以进行高精度的颗粒过滤，对氯化铵颗粒进行阻拦；经过吸附、颗粒阻拦的尾气自出气管道4排出过滤装置，进入后续处理的真空泵中。实施例2：

一种生产热解氮化硼的cvd设备尾气处理装置，其结构如实施例1一致，不同的是，外壳体高度为1200mm，吸附过滤层6直径为350mm，精密过滤器层5直径为450mm。

实施例3：

一种生产热解氮化硼的cvd设备尾气处理装置，其结构如实施例1一致，不同的是，外壳体高度为1800mm，吸附过滤层6直径为200mm。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种cvd设备尾气处理装置，其特征在于：包括外壳体、内层过滤装置；外壳体为筒状结构，包括盖体和罐体，盖体、罐体之间可拆卸连接；内层过滤装置为环状，内层过滤装置同轴套设于外壳体内，内层过滤装置侧壁由内至外依次为吸附过滤层、精密过滤器层；所述盖体上端设置有进气烟道；罐体上设置有出气烟道。

2.根据权利要求1所述的cvd设备尾气处理装置，其特征在于：外壳体直径为500-1000mm，高度为1200-1800mm。

3.根据权利要求1所述的cvd设备尾气处理装置，其特征在于：所述吸附过滤层直径为200-350mm。

4.根据权利要求1所述的cvd设备尾气处理装置，其特征在于：所述精密过滤器层直径为400-450mm。

5.根据权利要求1所述的cvd设备尾气处理装置，其特征在于：所述吸附过滤层内含有浸渍型活性炭及催化剂。

6.根据权利要求1所述的cvd设备尾气处理装置，其特征在于：所述精密过滤器层为聚酯5微米的精密过滤器。

7.根据权利要求1所述的cvd设备尾气处理装置，其特征在于：所述罐体内底部设置有固定槽，内层过滤装置设置于固定槽内。

技术总结
本实用新型提供了一种CVD设备尾气处理装置，包括外壳体、内层过滤装置；外壳体为筒状结构，包括盖体和罐体，盖体罐体之间活动连接；内层过滤装置为环状，内层过滤装置同轴套设于外壳体内，内层过滤装置侧壁由内至外依次为吸附过滤层、精密过滤器层；本发明将尾气处理前置，有利于减少进入真空泵的氯化铵颗粒，减少真空泵卡死机率，避免故障造成的停产损失；利用先催化、吸附后过滤的双重过滤方式，有效减少氯化铵颗粒的形成及进入真空泵的杂质量，并且方便将过滤器取出更换，大大延长清理周期及清理工作量；由于本装置对尾气有效的进行处理，可有效减少后端尾气处理装置的处理量，节约尾气处理设备运行成本。

技术研发人员：刘汝强;王殿春;宋琪;周清波
受保护的技术使用者：山东国晶新材料有限公司
技术研发日：2020.06.28
技术公布日：2021.04.09